• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Статьи
  • Функциональное моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
1 июля 2026 г.
Ученые НИУ ВШЭ выяснили, кто и почему в России питается вне дома
Около трети населения (31,3%) практически не едят вне дома и не покупают готовую еду. Ядро активных потребителей — тех, кто питается вне дома или покупает готовое почти ежедневно или несколько раз в неделю, — составляет всего около 9%. Таковы результаты исследования, проведенного Институтом социальной политики НИУ ВШЭ. Как отмечают авторы, питание вне дома в России перестало быть маркером высокого статуса.
30 июня 2026 г.
Аспирантка НИУ ВШЭ получила премию за выдающуюся научную статью
Международное научное общество по коллективному выбору и экономике благосостояния — Society for Social Choice and Welfare (SSCW) — присудило награду для молодых исследователей Ангелине Юдиной, аспирантке и преподавателю департамента математики ФЭН, младшему научному сотруднику Международного центра анализа и выбора решений НИУ ВШЭ. Ученые отметили ее статью, посвященную решениям задачи выбора наилучших альтернатив на основании результатов их попарных сравнений.
30 июня 2026 г.
«Я хотела бы, чтобы мои исследования помогали делать мир спокойнее и лучше»
Какую бы задачу ни решала младший научный сотрудник Лаборатории методов анализа больших данных Института искусственного интеллекта и цифровых наук ФКН ВШЭ Сараа Али, она думает, какую пользу она может принести людям. О своей большой семье, диагностике трехфазных двигателей и мечте построить на родине детский приют она рассказала проекту «Молодые ученые Вышки».

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Функциональное моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии

МГОУ-XXI - Новые технологии. 2012. № 2. С. 9–16.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.

Рассмотрена IDF0 функциональная модель применительно к процессу формирования топологии объектов методом ультрафиолетовой иммерсионной литографии, являющаяся структурированным изображением производственной системы или среды. 

Приоритетные направления: инженерные науки
Язык: русский
Полный текст
Ключевые слова: автоматизированное проектированиеfunctional modelingфункциональное моделированиеиммерсионная ультрафиолетовая литографияcomputer-aided designimmersion ultraviolet lithographyimage device on substrateустройство формирования изображения на подложке
Похожие публикации
Perovskite nanoparticles Cs4PbBr6 and CsPbBr3: synthesis, analysis and peculiar optical properties
Гущина В. А., / Series chemrxiv-2023-vpzhz-v2 "ChemRxiv". 2023.
Наночастицы полностью неорганических перовскитов CsPbBr3 и Cs4PbBr6 интенсивно изучаются благодаря их уникальным свойствам и широкому спектру применений; однако природа их оптических свойств до сих пор полностью не изучена из-за сложности синтеза однофазных наночастиц. В данной статье мы описываем особенности синтеза однофазных частиц и результаты их химического и фазового анализа. Используя данные о концентрациях наночастиц, мы ...
Добавлено: 14 мая 2026 г.
Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena
Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning
Чернышов Д. П., Сатанин А. М., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2025.
Добавлено: 21 ноября 2025 г.
Проектирование в электронной инженерии: комплексное моделирование физических процессов телекоммуникационных устройств
Сотникова С. Ю., М.: Грифон, 2024.
В данной монографии изложены основы и современные возможности компьютерного моделирования при проектных исследованиях комплекса разнородных процессов: электрических, тепловых, механических и пр., – которые, как правило, одновременно протекают в телекоммуникационных устройствах систем связи и управления подвижными объектами. Научные положения монографии содержатся при каждом описании теории построения моделей на основе комплексного подхода к проектированию телекоммуникационных устройств, а также ...
Добавлено: 31 января 2025 г.
Doping dependence of low-energy charge collective excitations in high-Tc cuprates
Каган М. Ю., Silkin V. M., Efremov D. V., / Series arXiv "math". 2024. No. 2411.12836.
Добавлено: 27 ноября 2024 г.
Influence of anisotropy on the study of critical behavior of spin models by machine learning methods
Суховерхова Д. Д., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2410.14523.
...
Добавлено: 21 октября 2024 г.
«Живые артефакты»: перспективы развития цифровых технологий в биодизайне
Дьяченкова О. В., Международный журнал исследований культуры 2025 Т. 58 № 1 С. 6–17
Биодизайн является новой промышленной парадигмой материальных артефактов XXI века. Эта новая практика проектирования предполагает интеграцию в дизайн живых организмов, таких как бактерии, микроводоросли, грибы и растения, в качестве источников материалов, генераторов энергии и пищи, источников света, очистителей воды и воздуха, регуляторов тепла и т. д. Сегодня биодизайн вступает в игру с цифровой реальностью на стыке ...
Добавлено: 12 сентября 2024 г.
Comparison of the microcanonical population annealing algorithm with the Wang-Landau algorithm
Мозоленко В. К., Fadeeva Marina, Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2405.10865.
Добавлено: 20 мая 2024 г.
Majorana modes and Fano resonances in Aharonov- Bohm ring with topologically nontrivial superconducting bridge
Каган М. Ю., Аксёнов С. В., / Series Research Square "Research Suqare". 2024. No. 1.
Добавлено: 10 апреля 2024 г.
High-frequency dielectric anomalies in a highly frustrated square kagome lattice nabokoite family compounds ACu7(TeO4)(SO4)5Cl (A=Na, K, Rb, Cs)
Ребров Я. В., Глазков В. Н., Murtazoev A. F. и др., / Series cond-mat "arxiv.org". 2023.
Добавлено: 29 января 2024 г.
Nondestructive KPFM-assisted Quality Control in Fabrication of GaAs High-Speed Electronics
Shurakov A., Kaurova N., Belikov I. и др., / Series Physics "arxiv.org". 2022.
Добавлено: 15 сентября 2023 г.
Superconducting spin valves based on a single spiral magnetic layer
Пугач Н. Г., Safonchik M. O., Belotelov V. и др., / Series "cond-mat". 2022. No. 2110.00369.
Добавлено: 16 ноября 2022 г.
Charge transport in the spatially correlated exponential random energy landscape: effect of the non-positive correlation function
Новиков С. В., / Series cond-mat "arxiv.org". 2022. No. 2209.14955.
Добавлено: 1 ноября 2022 г.
Structural and functional modeling of processes with a dedicated control subject
Мыльников Л. А., Automatic Documentation and Mathematical Linguistics 2022 Vol. 56 No. 1 P. 42–54
Добавлено: 6 октября 2022 г.
Software Complex for the Numerical Solution of the Isotropic Imaginary-Axis Eliashberg Equations
Ихсанов Р. Ш., Mazur E., Каган М. Ю., / Series "Working papers by Cornell University". 2022. No. 2202.01452.
Добавлено: 4 февраля 2022 г.
Theory of Ionic Liquids with Polarizable Ions on a Charged Electrode
Будков Ю. А., Zavarzin S., Kolesnikov A. L., Journal of Physical Chemistry C 2021 Vol. 125 No. 38 P. 21151–21159
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
Synthesis, structure, and PDE inhibiting activity of the anionic DNIC with 5-(3-pyridyl)-4H-1,2,4-triazole-3-thiolyl, the nitric oxide donor.
Sanina N., Isaeva U., Utenyshev A. и др., Inorganica Chimica Acta 2021 Vol. 527 Article 120559
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
Импорт данных из САПР Altium Designer в систему АСОНИКА-К-СЧ для автоматизации исследований надежности радиоэлектронных средств
Жаднов В. В., Зотов А. Н., Вестник компьютерных и информационных технологий 2020 Т. 17 № 6 С. 31–41
Рассмотрены вопросы импорта данных из систем автоматизированного проектирования электронных модулей первого уровня в автоматизированные системы проектных исследований надежности. Очевидно, что чем полнее и достовернее исходная информация, которую пользователь введет в программу, тем точнее результат. На основе анализа существующих способов, применяемых для обмена данными между программами разных производителей, обоснована возможность использования Excel-файла и настраиваемого шаблона для ...
Добавлено: 31 мая 2020 г.
Тезисы докладов. XXI Научно-технической конференции молодых ученых и специалистов. Том 2
Королев: ПАО "РРК "Энергия им. С.П. Королева", 2017.
Сборник тезисов докладов. XXI Научно-технической конференции молодых ученых и специалистов. В 2-х Томах. В шестнадцати секциях было представлено 327 докладов по научным исследованиям, проектно-конструкторским и методическим разработкам, экспериментальным работам, а также работам по созданию и внедрению в производство прогрессивных технологических процессов, материалов, совершенствованию методов управления и организации разработок. Около половины представленных докладов подготовлены сотрудниками РКК «Энергия» ...
Добавлено: 26 февраля 2018 г.
Method of increasing the reliability of on-board electronic equipment with an analysis of reserves for the electrical, thermal and mechanical loads
Кофанов Ю. Н., Сотникова С. Ю., Субботин С. А., , in: Proceedings of the 2016 IEEE Conference on Quality Management, Transport and Information Security, Information Technologies (IT&MQ&IS-2016).: St. Petersburg: IEEE, 2016. P. 94–98.
Добавлено: 10 декабря 2016 г.
Увеличение эффективности проектирования с использованием непараметрических методов обработки информации
Ивашов Е. Н., Яговцев В. О., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы международной научно-технической конференции INTERMATIC-2015Ч. 3: Материалы и технологии.: М.: Редакционно-издательский отдел МИРЭА, 2015. С. 213–215.
При автоматизированном проектировании элементов, узлов и устройств технологического оборудования разработчик встречается с проблемой малых выборок, т.е. отсутствия необходимого количества эмпирических данных для принятия рационального конструктивно-технологического решения. ...
Добавлено: 6 декабря 2015 г.
Технологии углеродных материалов и структур в наноинженерии
Воротилов К. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., М.: Редакционно-издательский отдел МИРЭА, 2015.
Рассмотрены некоторые вопросы информационных технологий проектирования в микро- и наноинженерии, в частности формирование углеродных нанообъектов в тонкоплёночных структурах, автоматизированное проектирование процесса получения углеродных нанотрубок и фуллеренов, моделирование процесса управления качеством электронных устройств, функциональное моделирование системы менеджмента качества, математическое моделирование управления качеством электронных устройств на основе углеродных структур. Учебное пособие рекомендовано студентам вуза, обучающимся по направлениям: 210100 ...
Добавлено: 4 ноября 2015 г.
Стратегия технического обслуживания систем управления
Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. и др., Вестник машиностроения, СТИН 2015 № 7 С. 3–5
Рассмотрена стратегия технического обслуживания сложной технической системы, обеспечивающая максимальную эффективность ее эксплуатации. Решенная оптимизационная задача целочисленного программирования позволяет объединить структурные элементы проекта в группы, оптимальные с позиции минимизации межгрупповых связей. ...
Добавлено: 23 сентября 2015 г.
Автоматизированная система АСОНИКА в проектировании радиоэлектронных средств
Кофанов Ю. Н., М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012.
В учебно-методическом пособии описывается программное обеспечение Автоматизированной системы обеспечения надёжности и качества аппаратуры АСОНИКА, которая применяется в информационных технологиях проектирования радиоэлектронных средств, изучаемых студентами МИЭМ НИУ ВШЭ в соответствующих дисциплинах. Пособие предназначено для помощи студентам в выполнении, прежде всего, самостоятельных и курсовых работ на кафедре «Радиоэлектроника и телекоммуникации» в «Научной школе АСОНИКА», проводимых в Московском ...
Добавлено: 16 марта 2015 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору