• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Статьи
  • Функциональное моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
19 мая 2026 г.
Физики НИУ ВШЭ выяснили, что происходит внутри устойчивого вихря
В атмосфере и в океане часто наблюдаются крупные вихри с характерными спиральными рукавами. Физики из НИУ ВШЭ объяснили, как они формируются и почему сохраняют свою структуру. Оказалось, что скорости в точках, расположенных вдоль одной дуги вихря, остаются связанными даже на больших расстояниях. При этом в направлении от центра вихря эта связь быстро ослабевает. Такие различия помогают объяснить образование рукавов и могут улучшить модели атмосферных и океанических течений. Результаты опубликованы в Physical Review Fluids.
18 мая 2026 г.
В Вышке прошла XXX юбилейная научно-техническая конференция имени Е.В. Арменского
Организатором научного события выступает Московский институт электроники и математики им. А.Н. Тихонова ВШЭ. В этом году главный инженерный студенческий форум проходил 30-й раз и собрал рекордное число участников. Студенты, аспиранты и молодые специалисты из 50 вузов и организаций России представили научно-исследовательские доклады в ИТ-области. Отдельная секция была посвящена научно-исследовательским работам школьников.
15 мая 2026 г.
В НИУ ВШЭ разрабатывают нейросеть для сферы науки и инноваций
Исследователи НИУ ВШЭ учат большие языковые модели понимать русскоязычную научную терминологию, увеличивая при этом их энергоэффективность. Адаптированная модель работает в 2,7 раза быстрее и требует на 73% меньше памяти, чем исходная открытая модель, что позволяет запускать ее на более доступном оборудовании. Программа прошла государственную регистрацию.

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Функциональное моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии

МГОУ-XXI - Новые технологии. 2012. № 2. С. 9–16.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.

Рассмотрена IDF0 функциональная модель применительно к процессу формирования топологии объектов методом ультрафиолетовой иммерсионной литографии, являющаяся структурированным изображением производственной системы или среды. 

Приоритетные направления: инженерные науки
Язык: русский
Полный текст
Ключевые слова: автоматизированное проектированиеfunctional modelingфункциональное моделированиеиммерсионная ультрафиолетовая литографияcomputer-aided designimmersion ultraviolet lithographyimage device on substrateустройство формирования изображения на подложке
Похожие публикации
Perovskite nanoparticles Cs4PbBr6 and CsPbBr3: synthesis, analysis and peculiar optical properties
Гущина В. А., / Series chemrxiv-2023-vpzhz-v2 "ChemRxiv". 2023.
Наночастицы полностью неорганических перовскитов CsPbBr3 и Cs4PbBr6 интенсивно изучаются благодаря их уникальным свойствам и широкому спектру применений; однако природа их оптических свойств до сих пор полностью не изучена из-за сложности синтеза однофазных наночастиц. В данной статье мы описываем особенности синтеза однофазных частиц и результаты их химического и фазового анализа. Используя данные о концентрациях наночастиц, мы ...
Добавлено: 14 мая 2026 г.
Ising models on the hydrogen peroxide and other lattices
Qin X., Deng Y., Щур Л. Н. и др., / Series arXiv "math". 2026. No. 2603.02962.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena
Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning
Чернышов Д. П., Сатанин А. М., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2025.
Добавлено: 21 ноября 2025 г.
Проектирование в электронной инженерии: комплексное моделирование физических процессов телекоммуникационных устройств
Сотникова С. Ю., М.: Грифон, 2024.
В данной монографии изложены основы и современные возможности компьютерного моделирования при проектных исследованиях комплекса разнородных процессов: электрических, тепловых, механических и пр., – которые, как правило, одновременно протекают в телекоммуникационных устройствах систем связи и управления подвижными объектами. Научные положения монографии содержатся при каждом описании теории построения моделей на основе комплексного подхода к проектированию телекоммуникационных устройств, а также ...
Добавлено: 31 января 2025 г.
Doping dependence of low-energy charge collective excitations in high-Tc cuprates
Каган М. Ю., Silkin V. M., Efremov D. V., / Series arXiv "math". 2024. No. 2411.12836.
Добавлено: 27 ноября 2024 г.
Influence of anisotropy on the study of critical behavior of spin models by machine learning methods
Суховерхова Д. Д., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2410.14523.
...
Добавлено: 21 октября 2024 г.
«Живые артефакты»: перспективы развития цифровых технологий в биодизайне
Дьяченкова О. В., Международный журнал исследований культуры 2025 Т. 58 № 1 С. 6–17
Биодизайн является новой промышленной парадигмой материальных артефактов XXI века. Эта новая практика проектирования предполагает интеграцию в дизайн живых организмов, таких как бактерии, микроводоросли, грибы и растения, в качестве источников материалов, генераторов энергии и пищи, источников света, очистителей воды и воздуха, регуляторов тепла и т. д. Сегодня биодизайн вступает в игру с цифровой реальностью на стыке ...
Добавлено: 12 сентября 2024 г.
Comparison of the microcanonical population annealing algorithm with the Wang-Landau algorithm
Мозоленко В. К., Fadeeva Marina, Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2405.10865.
Добавлено: 20 мая 2024 г.
Majorana modes and Fano resonances in Aharonov- Bohm ring with topologically nontrivial superconducting bridge
Каган М. Ю., Аксёнов С. В., / Series Research Square "Research Suqare". 2024. No. 1.
Добавлено: 10 апреля 2024 г.
High-frequency dielectric anomalies in a highly frustrated square kagome lattice nabokoite family compounds ACu7(TeO4)(SO4)5Cl (A=Na, K, Rb, Cs)
Ребров Я. В., Глазков В. Н., Murtazoev A. F. и др., / Series cond-mat "arxiv.org". 2023.
Добавлено: 29 января 2024 г.
Nondestructive KPFM-assisted Quality Control in Fabrication of GaAs High-Speed Electronics
Shurakov A., Kaurova N., Belikov I. и др., / Series Physics "arxiv.org". 2022.
Добавлено: 15 сентября 2023 г.
Superconducting spin valves based on a single spiral magnetic layer
Пугач Н. Г., Safonchik M. O., Belotelov V. и др., / Series "cond-mat". 2022. No. 2110.00369.
Добавлено: 16 ноября 2022 г.
Charge transport in the spatially correlated exponential random energy landscape: effect of the non-positive correlation function
Новиков С. В., / Series cond-mat "arxiv.org". 2022. No. 2209.14955.
Добавлено: 1 ноября 2022 г.
Structural and functional modeling of processes with a dedicated control subject
Мыльников Л. А., Automatic Documentation and Mathematical Linguistics 2022 Vol. 56 No. 1 P. 42–54
Добавлено: 6 октября 2022 г.
Software Complex for the Numerical Solution of the Isotropic Imaginary-Axis Eliashberg Equations
Ихсанов Р. Ш., Mazur E., Каган М. Ю., / Series "Working papers by Cornell University". 2022. No. 2202.01452.
Добавлено: 4 февраля 2022 г.
Theory of Ionic Liquids with Polarizable Ions on a Charged Electrode
Будков Ю. А., Zavarzin S., Kolesnikov A. L., Journal of Physical Chemistry C 2021 Vol. 125 No. 38 P. 21151–21159
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
Synthesis, structure, and PDE inhibiting activity of the anionic DNIC with 5-(3-pyridyl)-4H-1,2,4-triazole-3-thiolyl, the nitric oxide donor.
Sanina N., Isaeva U., Utenyshev A. и др., Inorganica Chimica Acta 2021 Vol. 527 Article 120559
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
Импорт данных из САПР Altium Designer в систему АСОНИКА-К-СЧ для автоматизации исследований надежности радиоэлектронных средств
Жаднов В. В., Зотов А. Н., Вестник компьютерных и информационных технологий 2020 Т. 17 № 6 С. 31–41
Рассмотрены вопросы импорта данных из систем автоматизированного проектирования электронных модулей первого уровня в автоматизированные системы проектных исследований надежности. Очевидно, что чем полнее и достовернее исходная информация, которую пользователь введет в программу, тем точнее результат. На основе анализа существующих способов, применяемых для обмена данными между программами разных производителей, обоснована возможность использования Excel-файла и настраиваемого шаблона для ...
Добавлено: 31 мая 2020 г.
Тезисы докладов. XXI Научно-технической конференции молодых ученых и специалистов. Том 2
Королев: ПАО "РРК "Энергия им. С.П. Королева", 2017.
Сборник тезисов докладов. XXI Научно-технической конференции молодых ученых и специалистов. В 2-х Томах. В шестнадцати секциях было представлено 327 докладов по научным исследованиям, проектно-конструкторским и методическим разработкам, экспериментальным работам, а также работам по созданию и внедрению в производство прогрессивных технологических процессов, материалов, совершенствованию методов управления и организации разработок. Около половины представленных докладов подготовлены сотрудниками РКК «Энергия» ...
Добавлено: 26 февраля 2018 г.
Method of increasing the reliability of on-board electronic equipment with an analysis of reserves for the electrical, thermal and mechanical loads
Кофанов Ю. Н., Сотникова С. Ю., Субботин С. А., , in: Proceedings of the 2016 IEEE Conference on Quality Management, Transport and Information Security, Information Technologies (IT&MQ&IS-2016).: St. Petersburg: IEEE, 2016. P. 94–98.
Добавлено: 10 декабря 2016 г.
Увеличение эффективности проектирования с использованием непараметрических методов обработки информации
Ивашов Е. Н., Яговцев В. О., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: Материалы международной научно-технической конференции INTERMATIC-2015Ч. 3: Материалы и технологии.: М.: Редакционно-издательский отдел МИРЭА, 2015. С. 213–215.
При автоматизированном проектировании элементов, узлов и устройств технологического оборудования разработчик встречается с проблемой малых выборок, т.е. отсутствия необходимого количества эмпирических данных для принятия рационального конструктивно-технологического решения. ...
Добавлено: 6 декабря 2015 г.
Технологии углеродных материалов и структур в наноинженерии
Воротилов К. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., М.: Редакционно-издательский отдел МИРЭА, 2015.
Рассмотрены некоторые вопросы информационных технологий проектирования в микро- и наноинженерии, в частности формирование углеродных нанообъектов в тонкоплёночных структурах, автоматизированное проектирование процесса получения углеродных нанотрубок и фуллеренов, моделирование процесса управления качеством электронных устройств, функциональное моделирование системы менеджмента качества, математическое моделирование управления качеством электронных устройств на основе углеродных структур. Учебное пособие рекомендовано студентам вуза, обучающимся по направлениям: 210100 ...
Добавлено: 4 ноября 2015 г.
Стратегия технического обслуживания систем управления
Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. и др., Вестник машиностроения, СТИН 2015 № 7 С. 3–5
Рассмотрена стратегия технического обслуживания сложной технической системы, обеспечивающая максимальную эффективность ее эксплуатации. Решенная оптимизационная задача целочисленного программирования позволяет объединить структурные элементы проекта в группы, оптимальные с позиции минимизации межгрупповых связей. ...
Добавлено: 23 сентября 2015 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору