Сильнополевая и плазменная модификация структур метал-диэлектрик-полупроводник

Андреев В. В.; Г. Г. Бондаренко; Масловский В. М.; Столяров А. А.; А. Н. Тихонов; Ахмелкин Д. М.

?

Сильнополевая и плазменная модификация структур метал-диэлектрик-полупроводник

С. 633–642.

Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М., Столяров А. А., Тихонов А. Н., Ахмелкин Д. М.

В работе проведено исследование процессов изменения зарядового состояния МДП-структур в результате сильнополевой инжекционной обработки и последующего отжига, а также плазменной обработки полупроводниковых кристаллов. Найдены режимы обработок, позволяющие улучшить характеристики подзатворного диэлектрика МДП-структур.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: МДП-структура модификация плазма plasma modification MIS structure

ПУБЛИКАЦИЯ ПОДГОТОВЛЕНА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ПРОЕКТА:

Теоретическое и экспериментальное исследование влияния концентрированных потоков энергии и температуры на электрофизические свойства функциональных материалов (2015)

В книге

Труды XXV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 6-11 июля 2015г.)

М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015.

Моделирование влияния температуры на взаимодействие катода с тонкой диэлектрической пленкой и плазмы тлеющего газового разряда в смеси аргона и паров ртути

Г. Г. Бондаренко, Кристя В. И., Савичкин Д. О. и др., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2026 № 4 С. 29–36

Сформулирована модель тлеющего газового разряда в смеси аргона и паров ртути при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. Рассчитаны зависимости характеристик разряда от температуры в интервале ее изменения, в котором заметный вклад в ионизацию рабочей газовой смеси дает ионизация атомов ртути метастабильными возбужденными атомами аргона (реакция Пеннинга). Показано, что в случае катода без диэлектрической пленки при повышении температуры до ...

Добавлено: 20 июня 2026 г.

Сходства и различия библейских прецедентных высказываний и библейских фразеологизмов как интертекстуальных маркеров в детективном рассказе

Оводова М. К., Вопросы психолингвистики 2025 № 4(66) С. 80–95

Данная статья посвящена изучению фразеологических единиц и прецедентных высказываний, а также разработке возможных принципов их разграничения, поскольку эти языковые единицы являются близкими друг другу по ряду признаков. Фразеологизмами называются раздельнооформленные образования, обладающие устойчивостью и воспроизводимостью, вобравшие в себя имплицитные культурные смыслы. Исследователи отмечают два понимания фразеологии: в узком смысле фразеологические единицы представляют собой средство построения ...

Добавлено: 5 февраля 2026 г.

Using Injection-Thermal Treatment to Reduce Defectiveness of Dielectric Films of MIS Structures

Andreev D. V., Kornev S. A., G. G. Bondarenko и др., Inorganic Materials: Applied Research 2025 Vol. 16 No. 5 P. 1301–1305

Добавлено: 12 сентября 2025 г.

Non-linear damped standing slow waves in cooling coronal magnetic loops

Ruderman M. S., N. S. Petrukhin, Kataeva L. Y., Monthly Notices of the Royal Astronomical Society 2025 Vol. 542 No. 2 P. 1076–1087

Добавлено: 21 августа 2025 г.

Физические процессы формирования и особенности плазменно-пылевой экзосферы Луны

Зелёный Л. М., Захаров А. В., Попель С. И. и др., Успехи физических наук 2024 Т. 194 № 6 С. 569–599

Обзор посвящён исследованию физических процессов, связанных с воздействием внешних факторов космического пространства: потоков микрометеороидов, солнечного излучения — на лунный реголит. Под влиянием этих факторов микрочастицы реголита могут отрываться от поверхности и левитировать. Приповерхностная плазма и левитирующие пылевые частицы формируют плазменно-пылевую экзосферу Луны. При антропогенном воздействии на лунную среду заряженные левитирующие микрочастицы могут оказывать крайне негативное ...

Добавлено: 31 июля 2024 г.

Damage to the Surface Layer of Inconel 718 Alloy by Pulsed Beam-Plasma Flows

Borovitskaya I. V., Demin A. S., Komolova O. A. и др., Inorganic Materials: Applied Research 2024 Vol. 15 No. 3 P. 596–605

Добавлено: 25 мая 2024 г.

Effect of Pulsed Plasma Beams on the Structure and Mechanical Properties of the Surface Layer in an Inconel 718 Alloy

Borovitskaya I. V., Demin A. S., Komolova O. A. и др., Russian Metallurgy (Metally) 2023 Vol. 2023 No. 7 P. 891–898

Добавлено: 14 ноября 2023 г.

The effect of flow on transverse oscillations of two parallel magnetic tubes

Ruderman M. S., N. S. Petrukhin, Monthly Notices of the Royal Astronomical Society 2023 Vol. 523 No. 2 P. 2074–2082

Добавлено: 26 июля 2023 г.

О переработке базы данных

Калятин В. О., Патенты и лицензии. Интеллектуальные права 2023 № 6 С. 49–56

Переработка произведений часто вызывает конфликты авторов. Но еще сложнее разрешать вопросы переработки относительно баз данных в силу специфики объекта. Статья В.О.Калятина – канд. юрид. наук, доцента, проф. Исследовательского центра частного права им. С.С.Алексеева при Президенте Российской Федерации, доцента департамента права цифровых технологий и биоправа факультета права Национального исследовательского университета Высшая школа экономики (Москва, kalvit@yandex.ru), посвящена ...

Добавлено: 12 июня 2023 г.

Kinetic Interaction between an Electron Flow with a Wide Velocity Spread and a Short-Adjusted Slipping Wave Pulse at the Cherenkov Resonance

Peter Bespalov, Kuleshova V., Savilov A., Symmetry 2023 Vol. 15 No. 4 Article 838

Добавлено: 5 июня 2023 г.

Релятивизация в малокарачкинском говоре чувашского языка. К типологии обобщенных приименных клаузальных конструкций

Логвинова Н. Н., Урало-алтайские исследования 2023 № 48 С. 70–90

В настоящей статье рассматриваются особенности релятивизации в малокарачкинском говоре чувашского языка (> булгарские > тюркские). На основе данных элицитации показано, что в исследуемом говоре при релятивизации преимущественно используется стратегия пробела [Comrie, Kuteva 2005], а собственно синтаксические ограничения на релятивизуемую позицию слабы. Так, для релятивизации недоступны только позиции каритивного дополнения и основания сравнения. При этом успешность ...

Добавлено: 1 мая 2023 г.