• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Сильнополевая и плазменная модификация структур метал-диэлектрик-полупроводник

С. 633-642.
Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М., Столяров А. А., Тихонов А. Н., Ахмелкин Д. М.
В работе проведено исследование процессов изменения зарядового состояния МДП-структур в результате сильнополевой инжекционной обработки и последующего отжига, а также плазменной обработки полупроводниковых кристаллов. Найдены режимы обработок, позволяющие улучшить характеристики подзатворного диэлектрика МДП-структур.