• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Контроль параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования

Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Монахов И. С.
В докладе приведены результаты in-situ исследований процесса магнетронного напыления наноразмерных пленок на гладкие подложки.

В книге

Волгоград: Волгоградский государственный технический университет, 2014.