• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Модификация структур металл-диэлектрик- полупроводник сильнополевой инжекцией и плазменными обработками

С. 245-252.
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М., Столяров А. А., Соловьев И. В.

В данной работе рассмотрена возможность модификации электрофизических характеристик МДП-структур путём
сильнополевой туннельной инжекции электронов в диэлектрик и плазменной обработки кристаллов, а также проведена оценка временной и температурной стабильности параметров модифицированных структур