• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Книга

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 3

Т. 1. Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2012.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.

Рассмотрены вопросы разработки принципиально нового подхода к проектированию вакуумной коммутационной аппаратуры для работы в условиях малых перепадов низких давлений. Одним из возможных решений является использование в качестве приводов формирования перемещений и усилий упруго-деформируемых пневматических герметичных элементов, действующих на основе принципа управляемой упругой деформации. В монографии сформулированы основные принципы конструирования вакуумной запорной арматуры, наиболее полно удовлетворяющей требованиям высоковакуумного многомодульного оборудования, выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований, сформулированы требования по широкой реализации направления в технике создания облегченных конструкций бескорпусных вакуумных клапанов и затворов и рассмотрены перспективы дальнейшего развития работ в этом направлении, а так же при создании большинства других устройств вакуумной механики.

Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 3