• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Modification of gate dielectric in MOS devices by injection-thermal and plasma treatments

Acta Physica Polonica A . 2014. Vol. 125. No. 6. P. 1371-1373.
Andreev V. V., Bondarenko G., Maslovsky V. M., Stolyarov A. A.