• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Датчики давления с уменьшенной температурной погрешностью на основе нано-и микроэлектромеханических систем и частотных интегрирующих развертывающих преобразователей

Николаев Д. П., Васильев В. А., Громков Н. В., Сатыбалдыев О. С.

Рассмотрены датчики давления на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с частотным выходным сигналом, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные схемы частотных преобразователей и топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика.