Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 5

Ивантеевка МО : НИИ предельных технологий, 2012.

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.

В монографии рассмотрены конструктивные решения как технологических устройств на основе пьезоприводов и магнитострикционных элементов, так и самих приводов, предназначенных в том числе для работы в условиях вакуума. Предложенные технические решения удовлетворяют критериям качества по привносимой дефектности, кинематическим и динамическим параметрам работоспособности. Разработанные модели образования привносимой дефектности в условиях вибрации позволяют реализовать конструкции прецизионных приводов, дефектность от которых наименьшим образом влияет на технологическую среду.

Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».

Ключевые слова: наноинженерия, микроинженерия, электронное машиностроение, пьезоэлектрические приводы