?
Многоэлементные SSPD детекторы
В настоящей работе мы представляем первые результаты по созданию и иссле- дованию характеристик сверхпроводниковых детекторов, оптимизированных пу- тем использования соответствующих резонаторных структур для длин волн 1.3 1.55 мкм и состоящих из 7 независимых SSPD, чувствительные области которых заполняли площадку диаметром 20 мкм (рис. 1). Чувствительная область каж- дого SSPD детектора была выполнена в виде узкой ( 100 нм) и тонкой ( 4 нм) полоски NbN, имеющей форму меандра и покрывающей с плотностью 0.5 площадку 7 Ч 7 мкм2. Нами был разработан дизайн многоэлементного детектора, позволяю- щий с максимальной плотностью расположить чувствительные области отдельных SSPD, адаптирован технологический маршрут создания таких детекторов, изготов- лены первые образцы. Результаты измерения температуры перехода в сверхпрово- дящее состояние и плотности критического тока показывают, что все детекторы в составе многоэлементного SSPD имеют близкие температуры сверхпроводящего пе- рехода, находящиеся в диапазоне =10.5 10.8 K, и плотности критического тока, измеренные при температуре 4.2 К и составляющие = 2.3 2.5.106 А/см2. Незна- чительное отклонение указанных величин от их среднего значения свидетельствует, что одна из основных проблем при создании многоэлементных сверхпроводниковых однофотонных детекторов проблема их идентичности, была успешно решена.