?
Формирование нанопроволок на поверхности наноструктурированных кристаллов сапфира методом магнетронного напыления и термообработки
С. 364–372.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., Егоров А. А., Асадчиков В. Е., Буташин А. В., Муслимов А. Э., Каневский В. М.
Приведены результаты экспериментов по нанесению пленок Au на поверхность наноструктурированных подложек сапфира методом магнетронного напыления. Морфология поверхности пленок при различных режимах нанесения и ее изменение в результате термообработки исследованы методом атомно-силовой микроскопии.
В книге
Т. 1-2. , М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2010.
Калябин Д. В., Демидов В. В., Никитов С. А., Физика металлов и металловедение 2025 Т. 126 № 9 С. 1022–1030
Исследовано влияние толщин ферро- и антиферромагнитных слоев на магнитные свойства синтезированной структуры Pt/Co/FeMn/Pt на кремниевой подложке SiO2. Для экспериментального и теоретического исследования использовали петли магнитного гистерезиса, угловые зависимости спектров ферромагнитного резонанса и выражение для резонансного поля, полученное в ходе решения уравнения Ландау–Лифшица для динамики намагниченности. Установлены величины коэрцитивного поля, а также полей однонаправленной и одноосной анизотропии при толщинах антиферромагнитного слоя 5, ...
Добавлено: 5 февраля 2026 г.
Goncharov V., Сорокин К. С., Fiskin E., Journal of Physics: Conference Series 2017 Vol. 872 No. 1 Article 012046
Добавлено: 15 октября 2021 г.
Monakhov I.S., Bondarenko G.G., Inorganic Materials: Applied Research 2019 Vol. 10 No. 5 P. 1058–1064
Добавлено: 21 сентября 2019 г.
Монахов И. С., Бондаренко Г. Г., Перспективные материалы 2019 № 2 С. 14–22
Исследована кинетика роста наноразмерной пленки германия, осажденной магнетронным
распылением на поверхности Si(001), с помощью разработанной экспериментальной
рентгенорефлектометрической методики, отличающейся совместной регистрацией
зеркально-отраженного и диффузно-рассеянного излучения. С помощью данной методики
можно осуществлять in situ как анализ морфологии растущей пленки, так и контроль
ее толщины с точностью до 1 нм. Получены зависимости интенсивности зеркального
отражения, диффузного рассеяния, скорости роста, среднеквадратичной шероховатости
пленки и ее ...
Добавлено: 31 января 2019 г.
Золотов Ф. И., Divochiy A., Vakhtomin Y. и др., Journal of Physics: Conference Series 2018 No. 1124 P. 1–6
Добавлено: 27 декабря 2018 г.
Смирнов И. С., Монахов И. С., Егоров А. А. и др., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
В настоящее время особую значимость приобретают методы мониторинга, позволяющие измерять параметры пленочных структур непосредственно во время их формирования – in-situ методы. Применение этих методов способствует получению пленок с заданными характеристиками, позволяя оперативно корректировать режимы технологического процесса. В статье описываются возможности метода in-situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок в процессе их формирования.Приведены результаты экспериментов ...
Добавлено: 19 марта 2013 г.
Муслимов А. Э., Буташин А. В., Коновко А. А. и др., Crystallography reports 2012 Vol. 57 No. 3 P. 415–420
В статье показаны возможности использования упорядоченных наноразмерных массивов островков золота на сапфировых подложках с нанорельефом определенной ориентации. Описание морфологии структур выполнено на основе данных атомно-силовой микроскопии. Изучение угловой зависимости коэффициента отражения в видимом диапазоне длин волн электромагнитного излучения выявило некоторые особенности, которые, вероятно, вызваны поверхностным плазмонно-поляритонным возбуждением на границе раздела вакуум-золото под воздействием p-поляризованного излучения. ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.
Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Егоров А. А. и др., В кн.: IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012». Книга тезисов.: СПб.: Научно-образовательный центр нанотехнологий РАН, 2012. С. 304–304.
В докладе приводятся описание созданной экспериментальной установки для напыления наноразмерных пленок различных материалов, а также результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на различные подложки. На основе экспериментальных данных выявлены границы применимости метода и требования к процессам напыления и условиям измерения. ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.
Егоров А. А., Монахов И. С., Новоселова Е. Г. и др., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.
В статье подчеркивается актуальность in situ методов контроля параметров наноразмерных пленок, изложены теоретические основы метода in situ рентгеновской рефлектометрии, обосновывается перспективность данного метода по сравнению с другими широко известными методами. Авторами приведены результаты экспериментов и расчета временных зависимостей параметров (плотности, шероховатости поверхности) наноразмерных пленок углерода, алюминия и титана. На основе этих данных продемонстрированы возможности и указаны ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.
Егоров А. А., Монахов И. С., Новоселова Е. Г. и др., В кн.: Рентгеновская оптика – 2012. Доклады конференции, г. Черноголовка, 1-4 октября 2012.: Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2012. С. 112–114.
В докладе подчеркивается актуальность in situ методов контроля параметров наноразмерных пленок, изложены теоретические основы метода in situ рентгеновской рефлектометрии, обосновывается перспективность данного метода по сравнению с другими широко известными методами. Проведенные расчеты показали, что для каждой длины волны рентгеновского излучения существует верхний предел поглощающей способности пленки, ограничивающий возможности метода. Так, для излучения медного анода верхней ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.