?
Возможности и ограничения метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров растущих пленок
С. 112–114.
В докладе подчеркивается актуальность in situ методов контроля параметров наноразмерных пленок, изложены теоретические основы метода in situ рентгеновской рефлектометрии, обосновывается перспективность данного метода по сравнению с другими широко известными методами. Проведенные расчеты показали, что для каждой длины волны рентгеновского излучения существует верхний предел поглощающей способности пленки, ограничивающий возможности метода. Так, для излучения медного анода верхней границей поглощающей способности пленки является значение маccового коэффициента поглощения меньшее или равное 25 см2/г. Реализация метода при напылении более тяжелых металлов (медь, вольфрам и др.) требует использования жестких излучений.
В книге
Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2012.
Калябин Д. В., Демидов В. В., Никитов С. А., Физика металлов и металловедение 2025 Т. 126 № 9 С. 1022–1030
Исследовано влияние толщин ферро- и антиферромагнитных слоев на магнитные свойства синтезированной структуры Pt/Co/FeMn/Pt на кремниевой подложке SiO2. Для экспериментального и теоретического исследования использовали петли магнитного гистерезиса, угловые зависимости спектров ферромагнитного резонанса и выражение для резонансного поля, полученное в ходе решения уравнения Ландау–Лифшица для динамики намагниченности. Установлены величины коэрцитивного поля, а также полей однонаправленной и одноосной анизотропии при толщинах антиферромагнитного слоя 5, ...
Добавлено: 5 февраля 2026 г.
Левин Г. Г., Минаев В. Л., Самойленко А. А. и др., Оптика и спектроскопия 2023 Т. 131 № 2 С. 280–286
Представлена оригинальная методика точного восстановления фазы волнового фронта при интерферометрических измерениях, основанная на оценке амплитуд сигналов. Искомая фаза рассчитывается из геометрических принципов на основе восстановленных статистическими методами неискаженных значений амплитуд. Представлены как математические основы методики, так и результаты ее проверки с помощью численных экспериментов. Также приведены результаты физической экспериментальной проверки метода. Разработанная методика основана на ...
Добавлено: 23 марта 2023 г.
Goncharov V., Сорокин К. С., Fiskin E., Journal of Physics: Conference Series 2017 Vol. 872 No. 1 Article 012046
Добавлено: 15 октября 2021 г.
Monakhov I.S., Bondarenko G.G., Inorganic Materials: Applied Research 2019 Vol. 10 No. 5 P. 1058–1064
Добавлено: 21 сентября 2019 г.
Мелентьев П. Н., Кузин А. А., Гритченко А. С. и др., Optics Communications 2017 Vol. 393 No. 15 P. 509–513
Добавлено: 4 февраля 2019 г.
Монахов И. С., Бондаренко Г. Г., Перспективные материалы 2019 № 2 С. 14–22
Исследована кинетика роста наноразмерной пленки германия, осажденной магнетронным
распылением на поверхности Si(001), с помощью разработанной экспериментальной
рентгенорефлектометрической методики, отличающейся совместной регистрацией
зеркально-отраженного и диффузно-рассеянного излучения. С помощью данной методики
можно осуществлять in situ как анализ морфологии растущей пленки, так и контроль
ее толщины с точностью до 1 нм. Получены зависимости интенсивности зеркального
отражения, диффузного рассеяния, скорости роста, среднеквадратичной шероховатости
пленки и ее ...
Добавлено: 31 января 2019 г.
Золотов Ф. И., Divochiy A., Vakhtomin Y. и др., Journal of Physics: Conference Series 2018 No. 1124 P. 1–6
Добавлено: 27 декабря 2018 г.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., Монахов И. С. и др., Russian Microelectronics 2014 Vol. 43 No. 8 P. 587–589
The monitoring methods for measuring the film structure parameters in formation process, namely, the in situ methods, are currently of special significance. Their application provides obtaining the films with the given characteristics, which results in a fast correction of the technological modes. The possibilities of the in situ method of the X-ray reflectometry for defining ...
Добавлено: 11 марта 2015 г.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., Егоров А. А. и др., В кн.: Труды ХХ Международного совещания «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 июля - 10 июля 2010 г.)Т. 1-2.: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2010. С. 364–372.
Приведены результаты экспериментов по нанесению пленок Au на поверхность наноструктурированных подложек сапфира методом магнетронного напыления. Морфология поверхности пленок при различных режимах нанесения и ее изменение в результате термообработки исследованы методом атомно-силовой микроскопии. ...
Добавлено: 28 марта 2013 г.
Смирнов И. С., Монахов И. С., Егоров А. А. и др., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
В настоящее время особую значимость приобретают методы мониторинга, позволяющие измерять параметры пленочных структур непосредственно во время их формирования – in-situ методы. Применение этих методов способствует получению пленок с заданными характеристиками, позволяя оперативно корректировать режимы технологического процесса. В статье описываются возможности метода in-situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок в процессе их формирования.Приведены результаты экспериментов ...
Добавлено: 19 марта 2013 г.
Муслимов А. Э., Буташин А. В., Коновко А. А. и др., Crystallography reports 2012 Vol. 57 No. 3 P. 415–420
В статье показаны возможности использования упорядоченных наноразмерных массивов островков золота на сапфировых подложках с нанорельефом определенной ориентации. Описание морфологии структур выполнено на основе данных атомно-силовой микроскопии. Изучение угловой зависимости коэффициента отражения в видимом диапазоне длин волн электромагнитного излучения выявило некоторые особенности, которые, вероятно, вызваны поверхностным плазмонно-поляритонным возбуждением на границе раздела вакуум-золото под воздействием p-поляризованного излучения. ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.
Егоров А. А., Монахов И. С., Новоселова Е. Г. и др., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.
В статье подчеркивается актуальность in situ методов контроля параметров наноразмерных пленок, изложены теоретические основы метода in situ рентгеновской рефлектометрии, обосновывается перспективность данного метода по сравнению с другими широко известными методами. Авторами приведены результаты экспериментов и расчета временных зависимостей параметров (плотности, шероховатости поверхности) наноразмерных пленок углерода, алюминия и титана. На основе этих данных продемонстрированы возможности и указаны ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.