Исследование оптических и механических свойств плёнок на основе углерода (управление процессами нанесения плёнок)

Д. П. Николаев

?

Исследование оптических и механических свойств плёнок на основе углерода (управление процессами нанесения плёнок)

Физика волновых процессов и радиотехнические системы. 2000. Т. 3. № 2. С. 68–75.

Николаев Д. П.

Обоснование эффективности технологии нанесения пленок на основе углерод, титана, никеля, ванадия, вольфрама, карбида кремния в различных электронных приборах и устройствах.

Экспериментально исследованы механические, физические, оптические характеристики пленок. Показано, что, меняя состав плазмообрабатывающей среды, величину вакуума и другие составляющие, можно управлять процессом осаждения пленок, добиваясь требуемых параметров.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: свойства пленок углерод плазменная технология тальпия плазмы

Quantum accurate SNAP carbon potential for MD shock simulations

Belonoshko Anatoly B., Willman J., Williams A. и др., AIP Conference Proceedings 2020 Vol. 2272 No. 1 P. 070055-1–070055-5

Добавлено: 21 января 2021 г.

Reactive molecular-dynamics study of onion-like carbon nanoparticle formation

Остроумова Г. М., Орехов Н. Д., Стегайлов В. В., Diamond and Related Materials 2019 Vol. 94 P. 14–20

Добавлено: 22 февраля 2019 г.

Применение метода РОР для определения профиля распределения и элементного состава пленок, напыленных на установке плазменный фокус

Ерискин А. А., Бондаренко Г. Г., Колокольцев В. Н. и др., В кн.: Тезисы докладов XLV международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами.: Университетская книга, 2015. С. 166–166.

Методом обратного резерфордовского рассеяния ионов He+ энергией 2 МэВ изучены профили распределения C, Cu и W в пленках, напыленных на установке ПФ-4, ФИАН. Пленки напылялись на стеклянные подложки в газах Ar, D2. Установлено, что профили распределения элементов существенно зависят от кинетической энергии частиц и их размеров. При скоростях частиц ~100 км/с частицы проникают на глубину ...

Добавлено: 5 июня 2015 г.

Свойства хромоникелевого сплава после воздействия пучка ионов углерода

Хамдохов Э. З., Тешев Р. Ш., Хамдохов З. М. и др., В кн.: Тезисы докладов XLV международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами.: Университетская книга, 2015. С. 88–88.

В работе исследованы особенности фазовых превращений в пленках состава Cr– Ni, возникающих после воздействия пучка ионов углерода. Нихромовая пленка субмикронной толщины наносилась методом термического испарения навески Х20Н80 (80% Ni, 20% Cr) в вакууме на кремниевую подложку, покрытую тонкими барьерными слоями SiO2 (600 нм) и Si3N4 (120 нм). После этого без напуска воздуха в вакуумную камеру ...

Добавлено: 5 июня 2015 г.

Carbon electrodes with high pseudocapacitance for supercapacitors

Vol’fkovich Y., Mikhalin A. A., Бограчев Д. А. и др., Russian Journal of Electrochemistry 2012 Vol. 48 No. 4 P. 424–433

Добавлено: 27 февраля 2015 г.

Влияние отжига на оптические свойства пленок, полученных на установке “ПФ-4”

Ерискин А. А., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. С. 225–226.

Исследовалось влияние отжига на оптические свойства металлических пленок, полученных с помощью установки плазменный фокус “ПФ-4” на стеклянных подложках. Получены спектры пропускания данных пленок до и после отжига на воздухе при ~900 К в течение ~10 минут. Показано влияние углерода на оптические свойства и на электропроводность пленок. ...

Добавлено: 6 декабря 2014 г.