?
Свойства хромоникелевого сплава после воздействия пучка ионов углерода
В работе исследованы особенности фазовых превращений в пленках состава Cr– Ni, возникающих после воздействия пучка ионов углерода. Нихромовая пленка субмикронной толщины наносилась методом термического испарения навески Х20Н80 (80% Ni, 20% Cr) в вакууме на кремниевую подложку, покрытую тонкими барьерными слоями SiO2 (600 нм) и Si3N4 (120 нм). После этого без напуска воздуха в вакуумную камеру на поверхность полученной пленки нихрома методом электродугового распыления графитового катода в магнитном поле осаждалась пленка углерода. Исследование методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показало образование в хромоникелевом сплаве соединения карбида хрома Cr7C3 после воздействия углеродным пучком.
Полученные данные позволяют предположить следующее. В процессе бомбардировки ионами углерода пленки состава Cr–Ni, нагреваемую дугой, происходит активация атомов хрома к процессам химического взаимодействия с внедренными в пленку атомами углерода, обладающими высокой реакционной способностью, до тех пор, пока не образуется структура Cr7C3 –Ni.