Снижение загрязнений объектов электронного производства в сверхвысоковакуумном модульном оборудовании

С. В. Степанчиков

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

28 июля 2026 г.

Ученые выяснили, почему во время COVID-19 одни носили маски, а другие - нет

Почему одни люди добровольно следуют новым правилам, а другие их игнорируют? Ученые НИУ ВШЭ выяснили, что дело не столько в готовности действовать сообща, как считалось раньше, сколько в способности сопереживать другим людям. Именно эмпатия лучше всего объяснила, почему во время пандемии COVID-19 одни люди носили маски добровольно, а другие — нет. Результаты исследования опубликованы в журнале Frontiers.

27 июля 2026 г.

Ускорение, точность и самокоррекция: ученые ФКН ВШЭ на международной конференции ICML-2026

Исследователи факультета компьютерных наук (ФКН) ВШЭ представили свои проекты в южнокорейском Сеуле на международной конференции по машинному обучению ICML 2026, одном из главных научных событий в своей области. Сразу несколько исследований сотрудников факультета были удостоены высокого статуса Spotlight .

27 июля 2026 г.

«Конференция усилила ощущение причастности к международному математическому сообществу»

С 13 по 17 июля на факультете математики НИУ ВШЭ прошла международная конференция «Модули, динамика и интегрируемость». Ее участниками стали известные ученые из России, США, Китая, Великобритании и других стран.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Снижение загрязнений объектов электронного производства в сверхвысоковакуумном модульном оборудовании

С. 122–125.

Степанчиков С. В.

Сформулирован принцип создания системы снижения загрязнений построенный на основе анализа источников генерации микрочастиц, привносимых на обрабатываемые объекты в сверхвысоковакуумном модульном оборудовании электронного производства, и анализ факторов, влияющих на них.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: электронное производство сверхвысоковакуумное модульное оборудование многоуровневая система снижения загрязнений источники генерации микрочастиц

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва

Ч. 3: Материалы и технологии. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.

Твёрдосмазочные покрытия для улучшения экологии вакуумной технологической среды в электронном производстве

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Экология промышленного производства 2011 № 3 С. 59–62

Предложены твёрдосмазочные покрытия, предназначенные для улучшения экологических параметров вакуумного оборудования электронного производства. Представлены результаты экспериментальных исследований фрикционных характеристик твёрдосмазочных покрытий. Разработаны конструктивно-технологические решения опорных узлов механических систем, позволяющие улучшить экологию вакуумной технологической среды. ...

Добавлено: 17 мая 2013 г.

Проектирование сверхвысоковакуумного модульного оборудования электронного производства с учетом уровня привносимых загрязнений

Степанчиков С. В., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 7: Проблемы надежности и качества.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 129–132.

Проведена оценка уровня загрязнения микрочастицами технологической среды при работе сверхвысоковакуумного модульного оборудования. Рассмотрены составляющие уровня загрязнения микрочастицами привносимыми в вакуумный объём из атмосферы, с напускаемыми газами и от работающих внутрикамерных механических и технологических систем. ...

Добавлено: 3 февраля 2013 г.