Химическое распыление поверхности углеродных материалов в ускоренных потоках кислородной плазмы

Известия высших учебных заведений. Физика. 2008. Т. 51. № 11/2. С. 6–9.

Черник В. Н., Бондаренко Г. Г., Гайдар А. И., Виргильев Ю. С.

Представлены результаты измерения коэффициентов химического распыления углеситалла УСБ-15, пироуглерода ПГИ, пирографита УПВ-1, экспонированных в ускоренных частично диссоциированных потоках кислородной плазмы с энергией ионов 90 эВ. Для исследованных нелегированных материалов УПВ-1 и ПГИ коэффициент химического распыления не зависит от степени совершенства кристаллической решетки и составляет 0,94-0,96 атомов/атом. При легировании бором коэффициент распыления углеситалла УСБ-15 с 8% В снижается до 0,25 атомов/атом. С помощью растровой электронной микроскопии исследован рельеф поверхности образцов, Травление поверхности быстрыми частицами кислорода формирует структуру из выступов в форме конусов/столбиков. По мере увеличения потери массы материала размеры образований растут и характер рельефа видоизменяется. На углеродных материалах наблюдается рельеф из отдельно стоящих столбиков или конусов, высота и поперечники которых увеличиваются с возрастанием степени эрозии.

Ключевые слова: растровая электронная микроскопия, легирование, коэффициент химического распыления, углеродные материалы, кислородная плазма, поверхность, oxygen plasma, accelerated flows, carbon materials, surface, coefficient of chemical spraying, alloying, scanning electron microscopy, surface structure, ускоренные потоки, структура поверхности, влияние облучения на свойства твердых тел