?
Химическое распыление поверхности углеродных материалов в ускоренных потоках кислородной плазмы
Представлены результаты измерения коэффициентов химического распыления углеситалла УСБ-15, пироуглерода ПГИ, пирографита УПВ-1, экспонированных в ускоренных частично диссоциированных потоках кислородной плазмы с энергией ионов 90 эВ. Для исследованных нелегированных материалов УПВ-1 и ПГИ коэффициент химического распыления не зависит от степени совершенства кристаллической решетки и составляет 0,94-0,96 атомов/атом. При легировании бором коэффициент распыления углеситалла УСБ-15 с 8% В снижается до 0,25 атомов/атом. С помощью растровой электронной микроскопии исследован рельеф поверхности образцов, Травление поверхности быстрыми частицами кислорода формирует структуру из выступов в форме конусов/столбиков. По мере увеличения потери массы материала размеры образований растут и характер рельефа видоизменяется. На углеродных материалах наблюдается рельеф из отдельно стоящих столбиков или конусов, высота и поперечники которых увеличиваются с возрастанием степени эрозии.