Лазерная модификация титановой пленки на поверхности оптических волноводов в ниобате лития

Письма в Журнал технической физики. 2020. Т. 46. № 17. С. 51–54.

Тронев А. В., Парфенов М. В., Соломонов Н. А., Ионов А. М., Божко С. И., Ильичев И. В., Агрузов П. М., Шамрай А. В.

Показано, что лазерная модификация нанометровой титановой пленки может быть использована для точно-го управления уровнем потерь в оптических волноводах на подложках ниобата лития. Теоретические оценкиизменения погонных потерь на уровне 0.95 dB/mm подтверждены экспериментами по локальной лазерноймодификации с использованием излучения на длине волны 976 nm с пороговой интенсивностью 1 kW/mm2.Предложенная методика может быть эффективно использованадля прецизионной подгонки характеристикинтегрально-оптических устройств, например контраста модуляции модуляторов Маха−Цендера

Ключевые слова: интегральная оптика, Ниобат лития, lithium niobate, integrated optics, optical waveguide, оптический волновод,