?
Опыт применения эталонных зеркал для коррекции аберраций оптической системы интерференционного микроскопа
Предмет исследования. Метод абсолютной калибровки интерференционного микроскопа с использованием поверхности жидкости в качестве эталонной плоскости. Цель работы. Повышение точности измерений профиля поверхности оптических деталей с помощью интерференционного микроскопа за счёт коррекции аберраций оптической системы с использованием жидкого эталонного зеркала. Метод. Метод двух экспозиций с вычитанием фазовых изображений эталонной поверхности. Сравнение результатов измерений высоты ступеньки с использованием жидкого зеркала в качестве эталонной поверхности с измерениями без устранения аберраций или с коррекцией, но с помощью фазового изображения стеклянного эталонного зеркала. Применялись современные алгоритмы восстановления фазового изображения из серии интерферограмм, полученных в условиях вибраций. Основные результаты. Доказано, что применение жидкого зеркала совместно с алгоритмами восстановления фазы, устойчивыми к вибрациям, позволяет уменьшить относительную погрешность измерений высоты профиля поверхности до 0,5% от номинального значения высоты. Практическая значимость. Предложенная методика абсолютной калибровки интерференционного микроскопа с использованием жидкого зеркала позволяет повысить точность измерений микрорельефа. Это может быть особенно полезно в задачах контроля качества супергладких оптических поверхностей с субнанометровой точностью.