?
Сильнополевая и плазменная модификация структур метал-диэлектрик-полупроводник
С. 633-642.
В работе проведено исследование процессов изменения зарядового состояния МДП-структур в результате сильнополевой инжекционной обработки и последующего отжига, а также плазменной обработки полупроводниковых кристаллов. Найдены режимы обработок, позволяющие улучшить характеристики подзатворного диэлектрика МДП-структур.
Язык:
русский
ПУБЛИКАЦИЯ ПОДГОТОВЛЕНА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ПРОЕКТА:
В книге
М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Столяров А. А., В кн. : Труды XXV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 6-11 июля 2015г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015. С. 242-252.
В работе рассмотрена возможность модификации МДП-структур c пленкой SiO2, легированной фосфором путём сильнополевой туннельной инжекции электронов в подзатворный диэлектрик и облучения кристаллов низкоэнергетичными электронами, а также проведено исследование режимов легирования пленки SiO2 фосфором на характеристики МДП-структур.Установлено, что отрицательный заряд, накапливающийся в плёнке ФСС в структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС как в процессе сильнополевой туннельной ...
Добавлено: 16 июля 2015 г.
Andreev D. V., Бондаренко Г. Г., Andreev V. V. и др., Acta Physica Polonica A 2017 Vol. 132 No. 2 P. 245-248
Добавлено: 9 октября 2017 г.
Andreev V. V., Bondarenko G.G., Maslovsky V. M. и др., Physica status solidi C 2015 Vol. 12 No. 1-2 P. 126-130
The effect of high-field injection–thermal and irradiation treatments on the MIS structures reliability and defect reduction in the nanoscale gate dielectric has been investigated. Injection-thermal treatment (ITT) of MIS structures consisted of high-field electron injection into gate dielectric with the charge of defined value and subsequent parameter stabilization of MIS structures by means of thermal ...
Добавлено: 20 января 2015 г.
Проведено исследование процессов изменения зарядового состояния МДП-структур с многослойным подзатворным диэлектриком на основе термической пленки SiO2, легированной фосфором, при воздействии сильнополевой инжекцией электронов. Установлено, что отрицательный заряд, накапливающийся в тонкой плёнке фосфорно-силикатного стекла (ФСС) в МДП-структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС в процессе сильнополевой туннельной инжекции электронов, может использоваться для корректировки пороговых напряжений, повышения зарядовой ...
Добавлено: 19 ноября 2015 г.
Ruderman M. S., Петрухин Н. С., Solar Physics 2022 Vol. 297 No. 6 Article 72
Добавлено: 11 июля 2022 г.
Александров Н. Л., Пономарев А. А., Физика плазмы 2018 Т. 44 № 10 С. 839-848
Методом Монте-Карло исследован процесс релаксации энергичных ионов О–, образованных при диссоциативном прилипании электронов к молекулам в плазме паров воды и смесей Н2О:О2 в сильном электрическом поле. Вычислена вероятность участия энергичных ионов в пороговых ионномолекулярных процессах. Показано, что несколько процентов энергичных ионов О–, образованных при прилипании электронов к молекулам Н2О, в процессе своей термализации превращаются в ионы ...
Добавлено: 20 ноября 2019 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Fusion Engineering and Design 1998 Vol. 39-40 P. 419-426
The sputtering of a number of materials due to an intense polyenergetic flux of hydrogen particles has been investigated. The irradiation of pure tungsten, copper, aluminium, titanium, aluminium-lithium alloys, stainless steel and tungsten-copper composition has been carried out at particle flux densities of 1017-1018 cm~2 s~' and at fluences of 1020-1022 cm~2. Furthermore, W-Cu composition ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Andreev D. V., Бондаренко Г. Г., Andreev V. V. и др., , in : Proceedings of 10th International Conference “New Electrical and Electronic Technologies and their Industrial Implementation” (Zakopane, Poland, June 27 – 30, 2017). : Lublin : lublin University of Technology, 2017. P. 59.
Добавлено: 5 июля 2017 г.
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М. и др., В кн. : Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 7 июля - 12 июля 2014г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014. С. 245-252.
В данной работе рассмотрена возможность модификации электрофизических характеристик МДП-структур путём
сильнополевой туннельной инжекции электронов в диэлектрик и плазменной обработки кристаллов, а также проведена оценка временной и температурной стабильности параметров модифицированных структур ...
Добавлено: 23 января 2015 г.
М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014
Труды конференции содержат доклады ученых из России, Польши,Белоруссии, Украины, Казахстана, Узбекистана, посвященные важнейшим проблемам радиационной физики твердого тела (развитие теории радиационной физики твердого тела, исследование радиационно-индуцированных процессов в твердых телах, создание экологически чистых малоактивируемых материалов, разработка новых радиационных методов и технологий получения и модификации материалов с улучшенными свойствами для различных отраслей науки и техники и ...
Добавлено: 19 марта 2015 г.
Зотов М. Г., Качество. Инновации. Образование 2014 № 10 С. 42-45
В статье акцентируется внимание на трудностях практического использования классических частотных критериев устойчивости Михайлова и Найквиста, предлагаются способы их модификации с целью устранения сложностей использовани. ...
Добавлено: 20 марта 2015 г.
Andreev D. V., Bondarenko G.G., Andreev V. V. и др., High Temperature Material Processes 2017 Vol. 21 No. 4 P. 299-307
Добавлено: 24 июня 2018 г.
Andreev V. V., Бондаренко Г. Г., Maslovsky V. M. и др., Acta Physica Polonica A 2015 Vol. 12 No. 5 P. 887-890
Добавлено: 31 декабря 2015 г.
Borovitskaya I. V., Pimenov V. N., Gribkov V. A. и др., Russian Metallurgy (Metally) 2020 No. 3 P. 238-249
Добавлено: 21 марта 2020 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Yakushin V. L., Fusion Engineering and Design 2000 Vol. 51-52 P. 81-84
The behaviour and erosion of tungsten, copper and W-Cu composition under irradiation by high intensive hydrogen plasma have been investigated. The erosion coefficients of these materials have been determined. The importance of copper redepositions in the mechanism of sputtering and erosion of W-Cu composition has been emphasised. ...
Добавлено: 21 ноября 2013 г.
Шалагинов Д. С., Вестник Российского университета дружбы народов. Серия: Философия 2016 № 2 С. 122-127
В статье рассмотрена идея телесной модификации как эмансипаторной практики, которую можно обнаружить в работе Негри и Хардта "Империя".Теоретики считают телесные преобразования первым признаком антропологического исхода - трансформации субъекта, которая способна избавить его от капиталистической эксплуатации. С целью проблематизации этой идеи мы обращаемся к телесным мотивам в творчестве Кроненберга. ...
Добавлено: 31 мая 2016 г.
Borovitskaya I. V., Demin A. S., Komolova O. A. и др., Russian Metallurgy (Metally) 2023 Vol. 2023 No. 7 P. 891-898
Добавлено: 14 ноября 2023 г.
Калятин В. О., Патенты и лицензии. Интеллектуальные права 2023 № 6 С. 49-56
Переработка произведений часто вызывает конфликты авторов. Но еще сложнее разрешать вопросы переработки относительно баз данных в силу специфики объекта. Статья В.О.Калятина – канд. юрид. наук, доцента, проф. Исследовательского центра частного права им. С.С.Алексеева при Президенте Российской Федерации, доцента департамента права цифровых технологий и биоправа факультета права Национального исследовательского университета Высшая школа экономики (Москва, kalvit@yandex.ru), посвящена ...
Добавлено: 12 июня 2023 г.
Демин А. С., Масляев С. А., Пименов В. Н. и др., В кн. : Тезисы докладов XLVII Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, МГУ, 30 мая – 1 июня 2017). М. МГУ, 2017. : КДУ, 2017. С. 121.
Исследовано воздействие мощных импульсных потоков ионов дейтерия и дейтериевой плазмы на молибден как перспективный материал для зеркал диагностических систем термоядерного реактора. ...
Добавлено: 14 июня 2017 г.
Дидык А. Ю., Ерискин А. А., Бондаренко Г. Г. и др., В кн. : Труды XXV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 6-11 июля 2015г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015. С. 90-104.
Методом регистрации ядер отдачи дейтерии я водорода (ERDА) изучен процесс накопления и перераспределения дейтерия и водорода при импульсном воздействии высокотемпературной дейтериевой плазмы (ИВТДП) на установке «Плазменный Фокус» (ПФ-4) в сборке из двух Ni, Ti и Zr фольг высокой чистоты. Установлено, что при ИВТДП происходит перераспределение имплантированного дейтерия и газовой примеси водорода на большие ...
Добавлено: 10 августа 2015 г.
Добавлено: 12 марта 2018 г.
Добавлено: 5 июня 2023 г.
Andreev D., Gennady G. Bondarenko, Andreev V. и др., High Temperature Material Processes 2019 Vol. 23 No. 4 P. 303-312
Добавлено: 30 января 2020 г.