?
Идеология проектирования вакуумного оборудования радиоэлектронного приборостроения
С. 249–252.
Vasin V. A., Вишневский А. С., Дальская Г., Stepanchikov S. V.
In book
Ч. 2. , М.: Энергоатомиздат, 2009.
Галиуллин А. А., Мартанов С. Г., Скориков М. Л. et al., Приборы и техника эксперимента 2022 № 6 С. 137–139
В оптических исследованиях образец зачастую должен находиться в условиях, отличных от стандартных, например: при повышенной или пониженной температурах, в вакууме, в атмосфере инертного или агрессивного газа. Для создания подобных условий необходима камера с прозрачным окном, помещаемым под объектив микроскопа с большим рабочим отрезком. Зачастую такая камера представляет собой оптический криостат для микроскопии, дорогостоящий и не ...
Added: November 14, 2022
М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК «INTERMATIC–2018», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области прикладной физики твердого тела, наноструктур, физической электроники, радиоматериалов и технологий, радиоэлектронного приборостроения, информационных технологий и телекоммуникаций, проблем надежности и качества. ...
Added: December 12, 2018
Новелла, 2018.
Опубликованы материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» по направлениям: вакуумные технологии и технологическое оборудование, новые технологии формирования тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс, материалы вакуумной техники; криогенная и криовакуумная техника. ...
Added: April 24, 2018
М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК «INTERMATIC–2014», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы VI Всероссийской научно-технической школы-конференции ...
Added: June 2, 2015
М.: МГТУ МИРЭА, 2014.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК «INTERMATIC–2014», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоэлектронного приборостроения. Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов. В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы VI Всероссийской научно-технической ...
Added: December 8, 2014
М.: Энергоатомиздат, 2013.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК INTERMATIC – 2013, отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий. Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов. В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы ...
Added: January 28, 2014
МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013.
В настоящий сборник включены материалы НТК «INTERMATIC-2013», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы V Всероссийской научно – технической ...
Added: January 25, 2014
М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013.
В настоящий сборник включены материалы НТК «INTERMATIC-2013», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы V Всероссийской научно – технической ...
Added: January 24, 2014
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции: - физические явления и процессы в вакууме; - расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; - средства получения, измерения вакуума и течеискание; - процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; - вакуумные технологии и нанотехнологии; - вакуумная механика и трибология; - вакуумные биомедицинские технологии, ...
Added: October 3, 2013
М.: Энергоатомиздат, 2010.
В настоящий сборник включены материалы НТК INTERMATIC-2010, отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области материалов и компонентов радиоэлектроники и приборов РЭА.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической радиоэлектроники. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы II Всероссийской научно – технической ...
Added: September 22, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.
Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...
Added: February 8, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Лучников П. А. et al., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 225–228.
Рассматриваются особенности современного вакуумного технологического оборудования по получению тонкоплёночных структур, в котором габаритные размеры обрабатываемых поверхностей достигают 300 мм и более. ...
Added: February 8, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...
Added: February 8, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 134–136.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения и влияния на остаточное давление вблизи зоны трения. ...
Added: February 5, 2013
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Технология машиностроения 2011 № 6 С. 27–28
An actuating device complex motion mathematical model of automated vacuum processing equipment is developed. The model allows for controlling evenness of the thin filming aimed at improving its evenness. Manufacturing advantages of the coordinate actuating devices compared to planetary design are given, as well as main ways of controlling and improving vacuum thin film deposition ...
Added: December 14, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Структурная Надёжность 2011 № 2 С. 40–48
Представлены методы расчёта трибоэкологических параметров, влияющих на загрязнение внутрикамерных объёмов вакуумного оборудования и дефектность, привносимую на обрабатываемые изделия электронной техники. Выполнен расчёт коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме в зависимости от разряжения окружающей среды для случаев упругого и пластичного контактного взаимодействия, а также расчёт интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости ...
Added: December 14, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Электромагнитные волны и электронные системы 2011 № 4 С. 49–55
Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве. Выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а так же – интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного ...
Added: April 12, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника 2011 № 2 С. 66–71
Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности. ...
Added: April 12, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Приводная техника 2009 № 5(87) С. 33–36
Предложены твёрдосмазочные покрытия для элементов приводных систем работающих в условиях вакуума. Проведены экспериментальные исследования фрикционных характеристик данных покрытий. Выведена формула для определения интенсивности изнашивания узлов трения. ...
Added: April 12, 2012