?
Возможности масштабирования в вакуумном оборудовании для нанесения тонких плёнок при переходе размеров от 125×125 мм к 1000×1000 мм
С. 225–228.
Ivashov E., Кузнецов П. С., Лучников П. А., Stepanchikov S. V.
In book
Ч. 4. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011.
Галиуллин А. А., Мартанов С. Г., Скориков М. Л. et al., Приборы и техника эксперимента 2022 № 6 С. 137–139
В оптических исследованиях образец зачастую должен находиться в условиях, отличных от стандартных, например: при повышенной или пониженной температурах, в вакууме, в атмосфере инертного или агрессивного газа. Для создания подобных условий необходима камера с прозрачным окном, помещаемым под объектив микроскопа с большим рабочим отрезком. Зачастую такая камера представляет собой оптический криостат для микроскопии, дорогостоящий и не ...
Added: November 14, 2022
Новелла, 2018.
Опубликованы материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» по направлениям: вакуумные технологии и технологическое оборудование, новые технологии формирования тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс, материалы вакуумной техники; криогенная и криовакуумная техника. ...
Added: April 24, 2018
Дровосеков А. Б., Крейнес Н. М., Савицкий А. О. et al., Журнал экспериментальной и теоретической физики 2015 Т. 147 № 6 С. 1204–1219
The effect of the chromium layer thickness on the magnetic state of an [Fe/Cr/Gd/Cr]n multilayer structure is studied. A series of Fe/Cr/Gd structures with Cr layer thicknesses of 4–30 Å is studied by SQUID magnetometry and ferromagnetic resonance in the temperature range 4.2–300 K. The obtained experimental results are described in terms of an effective ...
Added: June 9, 2015
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции: - физические явления и процессы в вакууме; - расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; - средства получения, измерения вакуума и течеискание; - процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; - вакуумные технологии и нанотехнологии; - вакуумная механика и трибология; - вакуумные биомедицинские технологии, ...
Added: October 3, 2013
Smirnov I. S., Novoselova E., Baranov A. M. et al., Diamond and Related Materials 1997 Vol. 6 P. 1784–1788
We demonstrate the possibility of determining a large group of physical properties of DLC films using only one group of methods based on X-ray interference studies. These include methods for determination of the film thickness, material density and roughness of the surface. We present the analysis of possibilities to use the method of the two-crystal X-ray ...
Added: March 26, 2013
Vasin V. A., Вишневский А. С., Дальская Г. et al., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 249–252.
Анализ тенденций развития современной электронной техники в отечественной практике и в промышленно развитых странах свидетельствует о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для их реализации. Одним из важнейших факторов, определяющих уровень и надёжность оборудования этого класса, является не только его способность формировать необходимые для соответствующих технологических процессов вакуумные условия, но и ...
Added: March 18, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.
Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...
Added: February 8, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...
Added: February 8, 2013
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 134–136.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения и влияния на остаточное давление вблизи зоны трения. ...
Added: February 5, 2013
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Технология машиностроения 2011 № 6 С. 27–28
An actuating device complex motion mathematical model of automated vacuum processing equipment is developed. The model allows for controlling evenness of the thin filming aimed at improving its evenness. Manufacturing advantages of the coordinate actuating devices compared to planetary design are given, as well as main ways of controlling and improving vacuum thin film deposition ...
Added: December 14, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Структурная Надёжность 2011 № 2 С. 40–48
Представлены методы расчёта трибоэкологических параметров, влияющих на загрязнение внутрикамерных объёмов вакуумного оборудования и дефектность, привносимую на обрабатываемые изделия электронной техники. Выполнен расчёт коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме в зависимости от разряжения окружающей среды для случаев упругого и пластичного контактного взаимодействия, а также расчёт интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости ...
Added: December 14, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Электромагнитные волны и электронные системы 2011 № 4 С. 49–55
Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве. Выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а так же – интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного ...
Added: April 12, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника 2011 № 2 С. 66–71
Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности. ...
Added: April 12, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Приводная техника 2009 № 5(87) С. 33–36
Предложены твёрдосмазочные покрытия для элементов приводных систем работающих в условиях вакуума. Проведены экспериментальные исследования фрикционных характеристик данных покрытий. Выведена формула для определения интенсивности изнашивания узлов трения. ...
Added: April 12, 2012