• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Формирование топологии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2028
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
August 25, 2026
Scientists Develop Algorithm for More Reliable Processors in Data Centres
Researchers from HSE MIEM and Samara University have developed the LRF-3D algorithm to automatically bypass idle nodes in three-dimensional networks-on-chip. Thanks to its hierarchical architecture, the algorithm outperforms existing solutions in both speed and path accuracy, improving processor reliability for use in data centres, supercomputers, and AI computing. The source code and test results are publicly available.
August 24, 2026
Researchers Develop Method for Direct Generation of Regulatory DNA
Researchers at HSE University have developed a model for generating promoters and enhancers—DNA sequences that regulate gene activity. The model works directly with DNA nucleotides, without first transforming them into a continuous numerical representation. This solution could be useful for applications in synthetic biology and gene therapy. The study results were presented at the ICLR 2026 Workshop ‘Generative AI in Genomics (Gen^2): Barriers and Frontiers.’
August 21, 2026
Social Integration: At the Crossroads of Knowledge and Values
The International Laboratory for Social Integration Research (ILSIR) at HSE University studies the challenges faced by vulnerable groups and explores ways to help them participate fully in everyday life. To develop effective solutions, the laboratory’s researchers combine cutting-edge methods with practical fieldwork. In this interview with the HSE News Service, Laboratory Head Elena Iarskaia-Smirnova discusses the laboratory’s work.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Формирование топологии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне

С. 295–296.
Корпачев М. Ю.
Language: Russian
Full text
Keywords: микроэлектроникаустройство для формирования изображениятехнологическое оборудование ультрафиолетовой литографииэкстремальный ультрафиолетмягкий рентген

In book

Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ
М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012.
Similar publications
Исследование влияния температуры и мощности на интенсивность отказов транзистора
Chashkin L., Polesskiy S., Tumkovskiy S., В кн.: Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.: М.: Техносфера, 2025. С. 273–274.
Данное исследование анализирует взаимосвязь температуры и мощности в германиевом транзисторе МП37, выявляя их совместное влияние на интенсивность отказов через экспериментальные измерения и цифровое моделирование с использованием цифрового двойника. Основным результатом стало обнаружение критической точки температуры, после которой характер зависимости интенсивности отказов от температуры изменяется. ...
Added: October 24, 2025
Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.
М.: Техносфера, 2025.
В выпуск включены тезисы докладов конференции, освещающие актуальные вопросы разработки, производства и применения электронной компонентной базы и электронных модулей. ...
Added: October 24, 2025
The Dynamics of XUV Plasma Emission in a Low-Inductance Vacuum Spark at the Initial Stage of Discharge Development
Анциферов П. С., Степанов Л. В., Матюхин Н. Д., Plasma Physics Reports 2024 Vol. 50 No. 6 P. 742–748
The emission dynamics of a vacuum spark with a peak current of ~50 kA in the wavelength range of λ = 5–40 nm is analyzed. The radiation was detected by means of the microchannel-plate detectors with a frame temporal resolution of 20 ns. The technique of simultaneous acquisition of the spatial distribution and spectrograms of ...
Added: September 24, 2024
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021
Спецвыпуск Наноиндустрия. Российский форум "Микроэлектроника-2021". 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Сборник тезисов
М.: Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2021.
Российский форум «Микроэлектроника-2021» 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов Республика Крым, г. Алушта, 03–09 октября 2021 г. ...
Added: October 31, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Added: October 25, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Added: August 26, 2021
Международный форум «Микроэлектроника-2020». Школа молодых ученых. Сборник тезисов. Республика Крым, г. Ялта, 21-25 сентября 2020 г.
М.: МАКС Пресс, 2020.
This issue provides abstracts of XIII International Conference «Silicon – 2020» and XII Young Scientists Scholarship participants presentations devoted to the actual problems of silicon electronics and nano-devices. Presentations touch issues of advanced electronic elements, their fabrication processes and the way of application. Beside traditional topics of silicon bulk, surface and interface interaction influence upon ...
Added: November 29, 2020
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2020).
ИППМ РАН, 2020.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: September 29, 2020
Наноиндустрия. Специальный выпуск: Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули"
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020.
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Added: June 26, 2020
XVIII Научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 24 - 27 июня 2019 года, г. Суздаль, Россия
НИИСИ РАН, 2019.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук». Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Added: March 15, 2020
Proceedings of SPIE 11022. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
SPIE, 2019.
THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2018 1-5 October 2018 Zvenigorod, Russian Federation ...
Added: November 30, 2019
XVII Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 14 - 18 мая 2018 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2018.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 17-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 14 по 18 мая 2018 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», а также ООО «Галактический поток», при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант РФФИ № 18-07-20020). Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников ...
Added: November 7, 2018
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2018)
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2018.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
XVI Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 3 - 7 июля 2017 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2017.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 16-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 3 по 7 июля 2017 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», Московским научно-техническим обществом радиотехники, электроники и связи имени А.С. Попова при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант ...
Added: September 13, 2017
Современные сверхпроводниковые устройства
Chulkova G., Физика в школе 2015 № 8 С. 49–53
The article treats of one of the current trends of microelectronics, which can be a basis for creation of elective courses or project studies of the students. The article gives the basic theoretical principles and practical applications ...
Added: October 19, 2016
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем Сборник трудов конференции (МЭС-2016). Сборник трудов
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2016.
отсутствует ...
Added: September 27, 2016
Сб. трудов Международной конференции "Интегральные схемы и микроэлектронные модули -- проектирование, производство и применение" (Микроэлектроника -- 2015)
М.: Техносфера, 2016.
В сборник включены  тезисы докладов конференции, освещающие актуалные вопросы разаработки, производства и применения отечественных интегральных схем и высокоинтегрированных микроэлектронных модулей. ...
Added: April 13, 2016
2nd International Conference on Modeling Identification and Control. MIC 2015
P.: Atlantis Press, 2015.
Added: February 20, 2016
Обобщённый критерий качества технологического оборудования ультрафиолетовой литографии
Корпачев М. Ю., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ.: М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 293–294.
Предложены функциональные, технологические, структурные, экономические, экологические и локальные критерии, на основании которых строится обобщённый критерий качества технологического процесса ультрафиолетовой литографии, а также оборудования, непосредственно участвующего в его осуществлении. Предложено концептуальное решение устройства осуществляющего формирование нанодорожек на подложке. ...
Added: May 26, 2014
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit