?
Обобщённый критерий качества технологического оборудования ультрафиолетовой литографии
С. 293-294.
Корпачев М. Ю.
In book
М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2012
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 7: Проблемы надежности и качества.: М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 75-78.
Предложены функциональные, технологические, структурные, экономические, экологические и локальные критерии, на основании которых строится обобщённый критерий качества технологического процесса ультрафиолетовой литографии, а также оборудования, непосредственно участвующего в его осуществлении. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее предложенным критериям качества и имеющее высокую экономическую эффективность. ...
Added: February 5, 2013
Корпачев М. Ю., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ. : М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 295-296.
В работе рассмотрены волновые процессы в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, приведены проходы к построению отражательных элементов и источников излучения системы формирования изображения для технологического оборудования нанолитографии. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее современным тенденциям по уменьшению минимального характеристического размера элементов интегральных схем ...
Added: May 26, 2014
М. : НИЯУ МИФИ, 2013
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 15-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 25 – 28 июня 2013 г.).
Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, НИИСИ РАН, а также специалистами других научно-исследовательских организаций и вузов.
Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области современной ...
Added: June 10, 2013
Zlatev Z. D., Nedeva V. I., , in : Математика программных систем: межвузовский сборник научных трудов. Вып. 10.: Пермь : Пермский государственный национальный исследовательский университет, 2013. P. 133-139.
The report presents methodology for studying the qualitative and quantitative parameters of quail eggs. The method and system of computer vision are developed. The probability estimations of the health risk from consumption of poor quality food can be determined with developed computer system. ...
Added: May 23, 2015
P. : Atlantis Press, 2015
Added: February 20, 2016
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Added: June 26, 2020
ИППМ РАН, 2021
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X
Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки
перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.).
Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами
российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными
сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций
и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021
Ivanov A. P., Morozova A. V., В кн. : Инновационное развитие современной школы. Практика, проблемы, перспективы. Материалы I Всероссийской научно-практической конференции Университетского округа НИУ ВШЭ. Инновационное развитие современной школы : практика, проблемы, перспективы [Текст] : Материалы I Всероссийской научно-практической конференции Университетского округа НИУ ВШЭ: в 2 кн. Кн. 2.: Пермь : Кунгурская типография, 2013. Гл. 9.
Особую значимость в повышении эффективности образования приобретает педагогический мониторинг, основное назначение которого, во-первых, всолевременное предоставление информации о состоянии математической подготовки учащихся, во-вторых выявление динамики этой подготовки для каждого учащегося и для класса в целом, в-третьих, определение факторов, оказывающих значимое влияние на усвоение учениками обязательных знаний по математике. ...
Added: June 18, 2014
М., Зеленоград : ИППМ РАН, 2018
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
Lapshinov B. A., М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2011
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.
Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...
Added: April 23, 2012
М. : Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", 2022
Added: January 12, 2023
СПб. : ООО "Технолит", 2013
Изложено современное состояние и основные достижения в области сверхвысокочастотной микроэлектроники. Рассмотгены физические принципы, методы проектирования и разработки пассивных и твердотельных активных устройств СВЧ микроэлектроники, а также некоторые их применения в радиосистемах. ...
Added: September 16, 2013
Klimenko A., В кн. : Учебные материалы по дисциплине «Технологии государственного управления». : М. : Издательский дом ГУ-ВШЭ, 2009. Гл. 8.1. С. 114-126.
Лучшие практик и инновации в государственном управлении. Сравнительные оценки качества государственного управления. Цели сравнительных оценок качества государственного управления (глобализация и процесс унификации государственных институтов, изучение и поиск лучшей практики). Ограничения на передачу лучшего опыта (государственное устройство, социальные и культурные особенности стран).
Значение международного опыта (преодоление разрыва в уровне развития, прозрачные условия для международного бизнеса, распространение влияния, ...
Added: June 18, 2013
Зеленоград : МИЭТ, 2013
В сборнике тезисов докладов 20-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции "Микроэлектроника и информатика 2013", которая проводится в год 55-летия образования г. Зеленограда, признанного в стране и мире центра микроэлектроники и нанотехнологий, представлены результаты научных исследований студентов, аспирантов и молодых ученых зеленоградских предприятий и вузов России по следующим приоритетным направлениям развития науки и техники микро- и наноэлектроника, ...
Added: May 31, 2013
Sobolevsky A. A., Качество. Инновации. Образование 2012 № 82 С. 22-27
The paper presents an analysis of learning management systems in a number of Russian and foreign universities. The sets of data stored in the extended electronic systems to support the educational process based on Web services are described. An algorithm for functioning of the system for numerical evaluation of competences of students, as well as ...
Added: March 27, 2013
М. : Радио и связь, 1987
В материалах XLII Всесоюзной научной сессии, посвящённой Дню Радио, представлены тезисы докладов следующих секций:
- автоматизации и механизации производства;
- волоконно-оптических систем и устройств;
- измерений в радиотехнике и электронике;
- квантовой радиооптики;
- микроэлектроники;
- надежности и контроля качества продукции;
- применение радиоэлектроники в биологии и медицине;
- технологии производства радиоаппаратуры;
- электронной микроскопии;
- электроники. ...
Added: March 10, 2014
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Контроль. Диагностика 2009 № 1 С. 32-35
The questions of protecting from the vibrations objects are considered in control-diagnostic and technological equipment. Offered four level system of defence of objects of microelectronics from vibrations. For each of levels of the system the technological decisions of protecting from the vibrations devices are presented ...
Added: February 28, 2013
Красноярск : ИПЦ КГТУ, 2003
Представлены материалы ежегодной Всероссийской научно-технической конференции молодых ученых и студентов, посвященной 108-й годовщине Дня радио, состоявшейся в г. Красноярске 6-7 мая 2003 г.
Отражены последние разработки в области радиотехники и радиоэлектроники по направлениям: радиотехнические системы, радионавигация, СВЧ-технология; антенны и устройства, микроэлектроника, проектирование и технология электронных средств, приборостроение, нейроинформатика в радиоэлектронике, автоматизация проектирования.
Рекомендуется студентам и аспирантам радиотехнических ...
Added: March 26, 2014
Пермь : Кунгурская типография, 2013
Added: June 17, 2014
Kulagin V., Lvov B. G., Пономарев А. Н. et al., Российские нанотехнологии 2010 Т. 5 № 11-12 С. 12-15
МИЭМ, сохраняя научно-образовательные традиции и активно используя междисциплинарные связи, ориентирован на развитие магистральных направлений науки и техники с одновременной подготовкой квалифицированных кадров для этих направлений. В первую очередь это нанотехнологии в многообразии их развития, а также сопутствующие им традиционные отрасли электроники, материаловедения, аналитической техники и машиностроения. ...
Added: March 21, 2013
Aleksandrova M., Мониторинг общественного мнения: Экономические и социальные перемены 2023 № 5 С. 26-49
Measuring the effectiveness of social work is a relevant applied task given the continuous growth of interest in the assessment and development of professional standards and other aspects of the provision of social services. Studies show that the evaluation of social services might sometimes produce significantly different results, depending on the methods of measurement and ...
Added: December 5, 2023
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России 2012 № 3 С. 77-85
Рассмотрены аналитические модели, позволяющие осуществить возможность исследования свойств и особенностей предпочтительных вариантов и помогающие выбрать направление опроса проектировщиков оборудования ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство с использованием эффекта обращения волнового фронта, обеспечивающее создание высоконаправленных пучков, которое позволяет повысить производительность нанесения нанодорожек на подложку. ...
Added: December 14, 2012