?
Задача морфологической коррекции в литографической технологии для опто- и наноэлектроники
С. 54-55.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
In book
Ульяновск : УлГУ, 2012
Ульяновск : УлГУ, 2012
«Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы»: Труды XV международной конференции. – Ульяновск: УлГУ, 2012.
В сборнике собраны труды участников конференции, посвященной теоретическому исследованию и моделированию нанотехнологий, наноустройств , наноэлектронных приборов, изучению оптических свойств квантово-размерных структур, наносенсоров, полупроводников, физических процессов в полупроводниковых приборах и схемах.
Рассматриваются также вопросы стратегии финансирования и организации микро- и нанотехнологических исследований и разработок. ...
Added: May 17, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 52-53.
Приведено решение задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Предложены методы снижения размерности объектов на основе линейных методов использующих дискретный вариант разложения Краунена – Лоэва. Предложены также нелинейные методы снижения размерности в ультрафиолетовой литографической технологии на основе отображения множества векторов многомерного пространства в пространство малой размерности. Рассмотрено применение коррекции оптического эффекта близости ...
Added: May 17, 2013
Arutyunov K., Уфа: НИЦ «Аэтерна», 2020
Physical limitations and trends in nanoelectronics development ...
Added: January 25, 2021
Lapshinov B. A., М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2011
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.
Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...
Added: April 23, 2012
М. : ГУ ВНИИТЭ ("Всероссийский научно-исследовательский институт технической эстетики"), 2010
Сборник трудов по тематическому направлению развитие ННС «Наноэлектроника» подготовлен в рамках работ по федеральной целевой программе «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2010 годы» по Государственному контракту Всероссийская школа семинар студентов, аспирантов и молодых ученых по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети «Наноэлектроника» от 11 октября 2010 г. №16.647.12.2001 Шифр «2010-02-2.3-01».
Сборник трудов по тематическому ...
Added: April 12, 2012
Саратов : ООО "Буква", 2014
В докладах научно-технической конференции нашли отражение результаты теоретических и экспериментальных исследований в области электродинамики и микроволновой техники, микроволновой электроники, наноэлектроники, силовой электроники, полупроводниковой электроники, электроэнергетики, систем измерительной и медицинской техники. Излагаются результаты исследования резонаторных и замедляющих систем, устройств СВЧ, приборов вакуумной, плазменной и микроэлектроники, технологические вопросы изготовления изделий электронной техники. Сборник состоит из двух томов ...
Added: October 3, 2014
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2013
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 11–15 марта 2013 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2013 ...
Added: February 26, 2017
Washington : SPIE, 2021
Proceedings of the SPIE Optics + Optoelectronics conference on Integrated Optics: Design, Devices, Systems and Applications VI, 19–23 April 2021 Online Only, Czech Republic. Proc. SPIE volume 11775. ...
Added: August 30, 2021
SPIE, 2019
THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2018 1-5 October 2018 Zvenigorod, Russian Federation ...
Added: November 30, 2019
М., Зеленоград : ИППМ РАН, 2018
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
Блохина Ю. В., Ilin A., Биоорганическая химия 2021 Т. 47 № 6 С. 768-774
Патентная литература представляет собой неотъемлемую и значительную часть знаний человечества, пренебрежение которой может негативным образом сказаться на качестве работы исследователя. Поиск по патентным базам помогает как разыскивать подробные технические данные об объектах или процессах, так и оценивать возможности патентования собственных разработок. При этом подобный поиск несколько отличается от использования стандартных интернет-поисковиков или систем научного цитирования. ...
Added: October 28, 2021
Н. Новгород : ИПФ РАН, 2023
Том 1
Секция 1 Сверхпроводящие наносистемы
Секция 2 Магнитные наноструктуры
Секция 4 Измерения и технологии атомарного и нанометрового масштаба на основе зондовых, электронно-лучевых и ионно-лучевых методов
Секция 6 Твердотельная элементная база квантовых технологий ...
Added: March 26, 2023
Костомаров П. С., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов. : М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 253-254.
В работе рассмотрены аспекты практического применения метода иммерсионной литографии при выборе технологического решения установки, удовлетворяющей производственным требованиям: проектные нормы, диаметры полупроводниковой пластины, скорость обработки. ...
Added: September 21, 2013
М. : НИЯУ МИФИ, 2011
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 13-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 27 июня – 1 июля 2011 г.). Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, а также специалистами других вузов и научно-исследовательских организаций. Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области ...
Added: February 19, 2013
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2020
Труды ХХIV Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 10-13 марта 2020, Нижний Новгород, в двух томах, т1 и т.2, ...
Added: November 9, 2020
Trubochkina N. K., М. : Юрайт, 2016
The book presents the basic concepts of the theory of transition circuitry required for the development of a new element base of different types of supercomputers. The theory of transition circuitry differentiates the new concept of synthesis of nanostructures, in which the minimum component in the synthesis is not a transistor, but the material and ...
Added: February 13, 2017
SPIE, 2018
The Book of Abstracts contains the abstracts of the papers presented at the biannual International
Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2018” (ICMNE-2018) including the extended Session
“Quantum Informatics” (QI-2018). The Conference topics cover the most of the areas dedicated to
the physics of integrated micro- and nanoelectronic devices and related micro- and nanotechnologies.
The Conference is focused on recent ...
Added: October 22, 2018
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 7: Проблемы надежности и качества.: М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 88-92.
В работе рассматриваются основные дефекты технологического процесса иммерсионной ультрафиолетовой литографии, предлагается упорядоченная система критериев оценки качества и интегральный обобщенный критерий качества, используемые при автоматизированном проектировании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии и позволяющие выполнить научно обоснованный, технически целесообразный, технологически и экономически выгодный выбор параметров нового технического решения. ...
Added: February 5, 2013
М. : НИЯУ МИФИ, 2009
Конференция включала работу 3-х секций: 1) Проектирование СБИС, Наноэлектроника; 2) Электронные системы; 3) Радиационная стойкость электронных устройств и систем .
Результаты исследований, представленных в сборнике, будут интересны специалистам в области современной электроники, а также аспирантам и студентам старших курсов электронных специальностей. ...
Added: August 11, 2013
Критерий качества в автоматизированном проектировании устройств оборудования иммерсионной литографии
Балан Н. Н., Васин В. А., Ivashov E. et al., Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России 2012 № 3 С. 69-77
Рассмотрен подход, позволяющий осуществлять выбор параметров нового технического решения, принимаемого за основу при создании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство, обеспечивающее возможность формирования дорожек нанометрового диапазона с проектными нормами не более 32 нм, и минимальной технологической дефектностью процесса. ...
Added: November 16, 2012
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2014
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVIII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 10–14 марта 2014 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2014 ...
Added: February 24, 2017
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., Нелинейный мир 2012 Т. 10 № 7 С. 454-459
Предложена математическая модель непараметрической оценки плотности вероятности в условиях малых выборок обеспечивающая возможность технического моделирования без использования реальных технологических процессов. Реализация «обхода» проблем малых выборок обеспечивает увеличение объема исходных данных и повышает эффективность технического моделирования. Представлено устройство, обеспечивающее возможность формирования дорожек диапазона порядка 32 нм, и минимальной технологической дефектностью процесса. ...
Added: November 16, 2012
М. : НИЯУ МИФИ, 2013
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 15-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 25 – 28 июня 2013 г.).
Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, НИИСИ РАН, а также специалистами других научно-исследовательских организаций и вузов.
Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области современной ...
Added: June 10, 2013
ИППМ РАН, 2021
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X
Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки
перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.).
Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами
российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными
сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций
и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021