• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
June 25, 2026
HSE Researchers Make Aldehydes Perform Dual Function
Chemists from HSE University have discovered a way to carry out a reductive addition reaction without using an external reducing agent. Instead, the required 'resource' is supplied by the aldehyde itself, one of the reaction participants. This approach helps prevent unwanted side reactions, reduces toxicity, and simplifies the production and synthesis of organic molecules, including those used in the manufacture of medicines. The study has been published in Journal of Catalysis.
June 25, 2026
HSE Scientists Explain Why Findings in Autism Research Differ
Researchers from the Cognitive Health and Intelligence Centre at HSE University conducted the first-ever systematic review of studies on the specifics of emotion-from-motion perception in autism. The review showed that differences found between autistic and non-autistic individuals are largely associated with the experimental design and the types of tasks given to study participants. The review findings have been published in Research in Autism.
June 22, 2026
‘In Science, You Are Your Own Boss
Polina Nasledskova is interested in identifying gaps in linguistics and topics that have been overlooked by other researchers. In an interview for the  Young Scientists of HSE University project, she spoke about rare ordinal numerals in Nakh-Daghestanian languages, the benefits of knitting for concentration, and the beauty of the Patriarshy Bridge.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете

С. 303–305.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.
Language: Russian
Full text
Keywords: литографическая технологияэкстремальный ультрафиолетрентгеновское излучениеминимальный характеристический размер элементов

In book

INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
Ч. 1. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Similar publications
X-ray flux–mass relation for z ≳ 0.7 galaxy clusters
Lyskova N., Churazov E., Khabibullin I. et al., Astronomy and Astrophysics 2025 Vol. 702 Article A175
We use a subsample of co-detections of the ACT and MaDCoWS cluster catalogs to verify the predicted relation between the observed X-ray flux FX in the 0.5−2 keV band and the cluster mass M500c for halos at z > 0.6 − 0.7. We modified this relation by introducing a correction coefficient, η, which is supposed to encapsulate factors associated with a particular method of flux ...
Added: March 6, 2026
The Dynamics of XUV Plasma Emission in a Low-Inductance Vacuum Spark at the Initial Stage of Discharge Development
Анциферов П. С., Степанов Л. В., Матюхин Н. Д., Plasma Physics Reports 2024 Vol. 50 No. 6 P. 742–748
The emission dynamics of a vacuum spark with a peak current of ~50 kA in the wavelength range of λ = 5–40 nm is analyzed. The radiation was detected by means of the microchannel-plate detectors with a frame temporal resolution of 20 ns. The technique of simultaneous acquisition of the spatial distribution and spectrograms of ...
Added: September 24, 2024
X-ray variability of SDSS quasars based on the SRG/eROSITA all-sky survey
S. A. Prokhorenko, S. Yu. Sazonov, Gilfanov M. R. et al., Monthly Notices of the Royal Astronomical Society 2024 Vol. 528 No. 4 P. 5972–5989
We examine the long-term (rest-frame time scales from a few months to ∼20 years) X-ray variability of a sample of 2344 X-ray bright quasars from the SDSS DR14Q Catalogue, based on the data of the SRG/eROSITA All-Sky Survey complemented for ∼7% of the sample by archival data from the XMM-Newton Serendipitous Source Catalogue. We characterise variability by a structure ...
Added: February 1, 2024
X-ray study of nanosized multilayer heterosturctures
Likhachev I. A., Subbotin I. A., Prutskov G. V. et al., , in: First AfLS Conference and Workshop 2015. Book of abstracts.: [б.и.], 2015. P. 23–23.
A complementary approach for studying multilayer heterostructes with X-Ray investigation methods was represented. Approach examination was conducted by analysis XRR and HRXRD data for the δ-Mn/InGaAs/GaAs heterostructure and series of XRR experiments with a different wavelengths for the Fe/Cr/Gd/Cr superlattice. ...
Added: June 17, 2016
Исследование многослойных структур на основе оксида европия совместным анализом рентгеновских методов
Prutskov G. V., Rogachev A., Terevtyev A. V., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2016. С. 284–284.
В работе показаны результаты структурных исследований гетерокомпозиций Si/EuO/cap-layer, при помощи совместной обработки результатов рентгеновской дифракции и рефлектометрии. Получены профили распределения компонент поляризуемости для образцов по глубине. ...
Added: June 17, 2016
Постановка метода абсорбционной спектроскопии на синхротронной станции "Ленгмюр"
Rogachev A., Prutskov G. V., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 250–250.
В работе описаны особенности проведения исследования органических образцов, сформированных на поверхности жидкости, методами абсорбционной спектроскопии с применением синхротронного излучения. Представлены первые экспериментальные данные. ...
Added: July 22, 2015
Исследование материалов спинтроники совместной обработкой данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии
Prutskov G. V., Лихачев И. А., В кн.: Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.: М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015. С. 105–106.
В работе описан подход комплексного обсчета данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии для структур спинтроники. ...
Added: July 13, 2015
Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.
М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015.
Сборник содержит аннотации докладов, преставленных участниками национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследований наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования". Материалы представлены в авторской редакции. ...
Added: July 13, 2015
Формирование топологии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне
Корпачев М. Ю., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ.: М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 295–296.
В работе рассмотрены волновые процессы в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, приведены проходы к построению отражательных элементов и источников излучения системы формирования изображения для технологического оборудования нанолитографии. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее современным тенденциям по уменьшению минимального характеристического размера элементов интегральных схем ...
Added: May 26, 2014
Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования
Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Added: October 22, 2013
Формирование нанообъектов литографическим методом
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 302–303.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии. ...
Added: September 22, 2013
Применение литографических технологий для обработки генетической информации в молекулах ДНК и РНК
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: May 17, 2013
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Added: May 17, 2013
Технологическое устройство для рентгенолитографии высокого разрешения
Ефимов И. А., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 244–245.
В настоящей работе рассмотрен метод фокусировки рентгеновского излучения с использованием элементов на основе углеродных нанотрубок. В основу положена задача обеспечения возможности формирования квантовых ям в структуре твердого тела в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров. Применение устройства для формирования квантовых ям на подложке позволяет обеспечить возможность их формирования в диапазоне размеров от нескольких ...
Added: February 8, 2013
Устройство для технологических операций с нанообъектами на основе рентгеновского излучения
Ефимов И. А., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 242–243.
Авторам работы предложено устройство для выполнения наноопераций, где решается проблема обеспечения направленного излучения (фокусировки) в диапазоне длин волн λ = 4  ÷ 5 нм (4・10-12 ÷ 5・10-9 м). Введение в устройство фокусирующих линз, на основе фуллеренов, расположенных в каналах свинцовой матрицы (в каждом не менее 103), даёт возможность фокусировать рентгеновское излучение с уменьшением фокусного расстояния ...
Added: February 8, 2013
Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306–307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Added: February 8, 2013
Фотомозаика чипа для фракционирования ДНК на основе литографических технологий
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 2.: М.: МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112–113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: February 5, 2013
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit