• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Articles
  • Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
June 25, 2026
HSE Researchers Make Aldehydes Perform Dual Function
Chemists from HSE University have discovered a way to carry out a reductive addition reaction without using an external reducing agent. Instead, the required 'resource' is supplied by the aldehyde itself, one of the reaction participants. This approach helps prevent unwanted side reactions, reduces toxicity, and simplifies the production and synthesis of organic molecules, including those used in the manufacture of medicines. The study has been published in Journal of Catalysis.
June 25, 2026
HSE Scientists Explain Why Findings in Autism Research Differ
Researchers from the Cognitive Health and Intelligence Centre at HSE University conducted the first-ever systematic review of studies on the specifics of emotion-from-motion perception in autism. The review showed that differences found between autistic and non-autistic individuals are largely associated with the experimental design and the types of tasks given to study participants. The review findings have been published in Research in Autism.
June 22, 2026
‘In Science, You Are Your Own Boss
Polina Nasledskova is interested in identifying gaps in linguistics and topics that have been overlooked by other researchers. In an interview for the  Young Scientists of HSE University project, she spoke about rare ordinal numerals in Nakh-Daghestanian languages, the benefits of knitting for concentration, and the beauty of the Patriarshy Bridge.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности

Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника. 2011. № 2. С. 66–71.
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V.
Priority areas: IT and mathematics
Language: Russian
Full text
Keywords: загрязняющие микрочастицыпривносимая дефектностьвыход годныхфункциональные механизмывнутрипроизводственная средатопология микросхемВакуумная техника
Similar publications
Growth in noncommutative algebras and entropy in derived categories
Piontkovski D., / Series arXiv "math". 2026.
A noncommutative projective variety is defined, following Artin and Zhang, by a graded coherent algebra 𝐴. The category of coherent sheaves is then the quotient qgr(𝐴) of the category of finitely presented graded modules by the subcategory of torsion modules. We consider the categorical and polynomial entropies of the Serre twist, that is, of the ...
Added: June 23, 2026
Multilinear nilalgebras and the Jacobian theorem
Piontkovski D., / Series arXiv "math". 2025.
If a symmetric multilinear algebra is weakly nil, then it is Engel. This result may be regarded as an infinite-dimensional analogue of the well-known Jacobian theorem, which states that if a polynomial mapping has a polynomial inverse, then its Jacobian matrix is invertible. This refines a theorem of Gerstenhaber and partially answers a question posed ...
Added: June 23, 2026
ML-based Fast Simulation of FARICH Responses
Shipilov F., Barnyakov A., Ivanov A. et al., / Series Physics "arxiv.org". 2026.
A fast simulation of the detector response is a vital task in high-energy physics (HEP). Traditional Monte-Carlo methods form the backbone of modern particle physics simulation software but are computationally expensive. We present a machine-learning-based approach to fast simulation of the Focusing Aerogel Ring Imaging Cherenkov (FARICH) detector response. Given a particle track and momentum, ...
Added: May 19, 2026
Natural hazard database from Internet publications: text mining with a large language model
Derkacheva A., Sakirkina M., Kraev G. et al., /. 2026.
Comprehensive data on natural hazards and their consequences are crucial for effective for risk assessment, adaptation planning, and emergency response. However, many countries face challenges with fragmented, inconsistent, and inaccessible data, particularly regarding local-scale events. To address this data gap in Russia, we developed an end-to-end processing pipeline that scrapes news from various online sources, ...
Added: April 28, 2026
Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena
Pilé I., Deng Y., Shchur L., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.
We investigate the spatial overlap of successive spin configurations in Markov chain Monte Carlo simulations using the local Metropolis algorithm and the Svendsen-Wang and Wolff cluster algorithms. We examine the dynamics of these algorithms for two models in different universality classes: the Ising model and the Potts model with three components. The overlap of two ...
Added: April 20, 2026
Using predefined vector systems to speed up neural network multimillion class classification
Gabdullin N., Androsov I., / Series Computer Science "arxiv.org". 2026.
Label prediction in neural networks (NNs) has O(n) complexity proportional to the number of classes. This holds true for classification using fully connected layers and cosine similarity with some set of class prototypes. In this paper we show that if NN latent space (LS) geometry is known and possesses specific properties, label prediction complexity can ...
Added: April 2, 2026
Iterative Ricci-Foster Curvature Flow with GMM-Based Edge Pruning: A Novel Approach to Community Detection
Sorokin K., Beketov M., Онучин А. et al., / arxiv.org. Серия cs.SI "Social and Information Networks ". 2025.
Community detection in complex networks is a fundamental problem, open to new approaches in various scientific settings. We introduce a novel community detection method, based on Ricci flow on graphs. Our technique iteratively updates edge weights (their metric lengths) according to their (combinatorial) Foster version of Ricci curvature computed from effective resistance distance between the ...
Added: January 15, 2026
Implementing Transport Coding in OMNeT++ for Message Delay Reduction
Petrovanov I., Sergeev A., / Series Computer Science "arxiv.org". 2025. No. 2512.18332.
Transport coding reduces message delay in packet-switched networks by introducing controlled redundancy at the transport layer:  original packets are encoded into  coded packets, and the message is reconstructed after the first  successful deliveries, effectively shifting latency from the maximum packet delay to the -th order statistic. We present a concise, reproducible discrete-event implementation of transport coding in OMNeT++, including ...
Added: December 24, 2025
Hessian-based lightweight neural network for brain vessel segmentation on a minimal training dataset
Меньшиков И. А., Бернадотт А. К., Elvimov N. S., / Series arXie "Statistical mechanics". 2025.
Accurate segmentation of blood vessels in brain magnetic resonance angiography (MRA) is essential for successful surgical procedures, such as aneurysm repair or bypass surgery. Currently, annotation is primarily performed through manual segmentation or classical methods, such as the Frangi filter, which often lack sufficient accuracy. Neural networks have emerged as powerful tools for medical image ...
Added: December 1, 2025
Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning
Chernyshov D., Satanin A., Shchur L., / Series arXiv "math". 2025.
We investigate the boundary separating regular and chaotic dynamics in the generalized Chirikov map, an extension of the standard map with phase-shifted secondary kicks. Lyapunov maps were computed across the parameter space (K,K(α, τ)) and used to train a convolutional neural network (ResNet18) for binary classification of dynamical regimes. The model reproduces the known critical ...
Added: November 21, 2025
Эффективный алгоритм торговли на фондовом рынке: ретроспективный анализ, основанный на данных по S&P-500.
Rubchinskiy A., Chubarova D., / Series WP7 "Математические методы анализа решений в экономике, бизнесе и политике". 2025. No. WP7/2025/01.
The article examines one of the most famous examples of socio-economic systems, characterized by significant uncertainty – the S&P-500 stock market, where shares of 500 largest US companies are traded. No assumptions are made about the probabilistic characteristics of the stock market. A flexible algorithm for daily trading has been developed, based on both known fixed data ...
Added: November 9, 2025
Оценка влияния промышленного загрязнения атмосферного воздуха микрочастицами на здоровье населения Арктического региона (на примере Мурманской области)
Дядик В. В., Дядик Н. В., Ключникова Е. М. et al., Апатиты: ФИЦ КНЦ РАН, 2022.
Настоящее исследование посвящено изучению проблематики загрязнения воздуха микрочастицами в территориальном контексте Арктического региона (на примере Мурманской области). На информационной базе региональной медицинской статистики, данных о взаимосвязи отдельных групп заболеваний с воздействием определенных поллютантов авторами монографии решается задача комплексной оценки состояния  и динамики здоровья (заболеваемости) населения территорий Мурманской области,  на которых расположены крупные горно-химические и горно-металлургические ...
Added: January 27, 2023
ПРОСТАЯ ГЕРМЕТИЧНАЯ КАМЕРА С КОНТРОЛИРУЕМОЙ ТЕМПЕРАТУРОЙ ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ МИКРОСКОПИИ
Галиуллин А. А., Мартанов С. Г., Скориков М. Л. et al., Приборы и техника эксперимента 2022 № 6 С. 137–139
В оптических исследованиях образец зачастую должен находиться в условиях, отличных от стандартных, например: при повышенной или пониженной температурах, в вакууме, в атмосфере инертного или агрессивного газа. Для создания подобных условий необходима камера с прозрачным окном, помещаемым под объектив микроскопа с большим рабочим отрезком. Зачастую такая камера представляет собой оптический криостат для микроскопии, дорогостоящий и не ...
Added: November 14, 2022
Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники, 2018, 24-26 апреля 2018г.). М.: Новелла. 2018, 272с.
Новелла, 2018.
Опубликованы материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» по направлениям: вакуумные технологии и технологическое оборудование, новые технологии формирования тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс, материалы вакуумной техники;  криогенная и криовакуумная техника. ...
Added: April 24, 2018
Вакуумная наука и техника: Материалы ХХ юбилейной научно-технической конференции
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции: - физические явления и процессы в вакууме; - расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; - средства получения, измерения вакуума и течеискание; - процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; - вакуумные технологии и нанотехнологии; - вакуумная механика и трибология; - вакуумные биомедицинские технологии, ...
Added: October 3, 2013
Идеология проектирования вакуумного оборудования радиоэлектронного приборостроения
Vasin V. A., Вишневский А. С., Дальская Г. et al., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 249–252.
Анализ тенденций развития современной электронной техники в отечественной практике и в промышленно развитых странах свидетельствует о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для их реализации. Одним из важнейших факторов, определяющих уровень и надёжность оборудования этого класса, является не только его способность формировать необходимые для соответствующих технологических процессов вакуумные условия, но и ...
Added: March 18, 2013
Деятельность подрядчика в условиях саморегулирования строительной деятельности
Vershinin V. R., М.: Спутник+, 2010.
Особенности производственного контроля за качеством строительства в условиях саморегулирования. ...
Added: February 28, 2013
Расчёт и выбор шарикоподшипников для сверхвысоковакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.
Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...
Added: February 8, 2013
Возможности масштабирования в вакуумном оборудовании для нанесения тонких плёнок при переходе размеров от 125×125 мм к 1000×1000 мм
Ivashov E., Кузнецов П. С., Лучников П. А. et al., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 225–228.
Рассматриваются особенности современного вакуумного технологического оборудования по получению тонкоплёночных структур, в котором габаритные размеры обрабатываемых поверхностей достигают 300 мм и более. ...
Added: February 8, 2013
Исследование и моделирование газовыделения из устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в вакуумном оборудовании электронного производства
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...
Added: February 8, 2013
Исследование газовыделения из вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
Ivashov E., Кузнецов П. С., Stepanchikov S. V., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 134–136.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения и влияния на остаточное давление вблизи зоны трения. ...
Added: February 5, 2013
Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме
Vasin V. A., Ivashov E., Stepanchikov S. V., Технология машиностроения 2011 № 6 С. 27–28
An actuating device complex motion mathematical model of automated vacuum processing equipment is developed. The model allows for controlling evenness of the thin filming aimed at improving its evenness. Manufacturing advantages of the coordinate actuating devices compared to planetary design are given, as well as main ways of controlling and improving vacuum thin film deposition ...
Added: December 14, 2012
Расчёт трибоэкологических параметров приводов вакуумного оборудования электронной техники
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Структурная Надёжность 2011 № 2 С. 40–48
Представлены методы расчёта трибоэкологических параметров, влияющих на загрязнение внутрикамерных объёмов вакуумного оборудования и дефектность, привносимую на обрабатываемые изделия электронной техники. Выполнен расчёт коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме в зависимости от разряжения окружающей среды для случаев упругого и пластичного контактного взаимодействия, а также расчёт интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости ...
Added: December 14, 2012
Проектирование внутрикамерных устройств вакуумного оборудования для экологически чистых и энергосберегающих технологий
Vasin V. A., Ivashov E., Кузнецов П. С. et al., Электромагнитные волны и электронные системы 2011 № 4 С. 49–55
Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве. Выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а так же – интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного ...
Added: April 12, 2012
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit