• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Планарная технология с использованием иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 297-298.
Костомаров П. С.

В работе рассмотрены основные методы повышения разрешающей способности процесса ультрафиолетовой литографии, предложена их сравнительная характеристика и проведён анализ эффективности использования в современных литографических установках. Рассмотрены физические аспекты применения метода иммерсионной литографии и предложен способ его технического воплощения. Предложено также техническое решение устройства формирования изображения на подложке отвечающее современным тенденциям снижения размеров шаблона в ультрафиолетовой литографии.

В книге

М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012.