Динамика температуры монокристалла кремния при нагревании непрерывным ND:YAG лазером

Лапшинов Борис Алексеевич; Захаров Алексей Олегович; Магунов Александр Николаевич

Глава

Динамика температуры монокристалла кремния при нагревании непрерывным ND:YAG лазером

С. 51-54.

Лапшинов Б. А., Захаров А. О., Магунов А. Н.

Впервые проведена регистрация последовательности множества спектров теплового излучения при лазерном нагревании монокристалла кремния (время накопления единичного спектра 15-35 мс). Спектры фиксировались с помощью дифракционных спектрометров с ПЗС-линейками. Создана программа для автоматизированной обработки последовательности спектров и определения нестационарной температуры. Определены зависимости температуры монокристалла кремния от времени после начала нагревания.

Язык: русский

Полный текст (PDF, 885 Кб)

Ключевые слова: спектральная пирометрия тепловое излучение дифракционный спектрометр спектры излучения лазерное излучение регистрация спектров

В книге

Динамика температуры монокристалла кремния при нагревании непрерывным ND:YAG лазером

INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., Москва

Под науч. редакцией: А. С. Сигов Ч. 1. М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011.

Измерение нестационарной температуры методом спектральной пирометрии

Лапшинов Б. А., Магунов А. Н., Захаров А. О. Приборы и техника эксперимента. 2012. № 1. С. 143-148.

Регистрация последовательности спектров теплового излучения позволяет определить нестационарную температуру T(t) без привлечения данных об излучательной способности объекта. При нагревании монокристалла кремния КЭФ_4.5 излучением непрерывного Nd : YAG_лазера (λ = = 1.064 мкм) зарегистрированы последовательности из сотен спектров излучения в интервалах длин волн λ = 350–760 нм и λ = 650–1000 нм при времени накопления сигнала п.з.с._линейкой τ = 15–35 мс и частоте записи спектров f ≈ 30–66 Гц. Проведена автоматизированная обработка спектров, получены зависимости температуры кристалла в диапазоне T ≈ 1100–1450 К от времени после начала облучения.

Добавлено: 23 апреля 2012

Установка для измерения температурной зависимости показателя преломления твердых тел

Лапшинов Б. А., Магунов А. Н. Приборы и техника эксперимента. 2010. Т. 53. № 1. С. 159-164.

Описывается установка для измерения температурной зависимости показателя преломления n(T) полупроводников и диэлектриков в диапазоне температур 300-700К на длинах волн He-Ne-лазера λ=0.633, 1.15 и 3.39 мкм. Образцы в виде плоскопараллельных пластинок выполняют роль эталонов Фабри-Перо, оптическая толщина которых изменяется с температурой. При нагревании и последующем остывании образца регистрируются интерференционные осцилляции интенсивности отраженного света, по которым определяется зависимость n(T). Значения показателя преломления при комнатной температуре и коэффициента термического расширения, используемые для вычислений, берутся из литературы. Сравнение интерферограмм, полученных при нагревании и остывании, позволяет оценить разность температур зондируемого участка образца и измерительной термопары. Относительная погрешность определения термооптического коэффициента dn/dT в диапазоне 300-700 К не превышает 1%.

Добавлено: 23 апреля 2012

Температурная зависимость показателя преломления природного алмаза на длине волны 633 нм

Лапшинов Б. А., Магунов А. Н., Алтухов А. А. В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 1. М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 103-106.

Экспериментально впервые определена температурная зависимость показателя преломления природного алмаза на длине волны 633 нм. Для измерения использован метод интерференции света в нагреваемой плоскопараллельной пластинке. Измерения проводились в температурном диапазоне 20 – 400°С. Обсуждаются перспективы применения полученных результатов в температурных измерениях.

Добавлено: 23 апреля 2012

Модель формирования нанорисунка на подложке с учетом двух внутренних степеней свободы

Ивашов Е. Н., Князева М. П., Гамилова Т. П. В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 3: Материалы и технологии. М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 83-87.

Рассмотрена модель формирования нанорисунка на подложке с учётом двух внутренних степеней свободы. Предложено устройство для формирования нанорисунка на подложке.

Добавлено: 5 февраля 2013

Формирование нанообъектов литографическим методом

Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 2. М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 302-303.

В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии.

Добавлено: 22 сентября 2013

Основы физики. Волновая и квантовая оптика

Трофимова Т. И. М.: КноРус, 2011.

Пособие охватывает все разделы курса физики для инженерно-технических специальностей высших учебных заведений и отвечает программе по физике.. Изложение ведется без громоздких математических выкладок, большое внимание уделено разъяснению физической сути явлений и описывающих их понятий, а также преемственности современной и классической физики.

Для студентов инженерно-технических специальностей высших учебных заведений. Может быть использовано преподавателями всех типов средних учебных заведений, а также студентами техникумов и колледжей.

Добавлено: 12 апреля 2012

Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине. Труды XIV межвузовской научной школы молодых специалистов

Под редакцией: Э. И. Кэбин М.: Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, 2013.

В трудах школы рассмотрены физические основы концентрированных потоков энергии и их воздействия на материалы и изделия космической техники, методы обработки материалов концентрированным излучением, воздействие лазерного и микроволнового излучения на вещество, концентрированные потоки энергии в экологии и медицине, в электронике, проблемы физики нейтрино и ядерной спектроскопии.

Добавлено: 28 ноября 2013