?
Построение литографических отображений в двухмерном пространстве
С. 263-264.
Корпачев М. Ю.
В работе рассмотрены вопросы решения задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Рассмотрены также технологические методы коррекции оптического эффекта близости, искусственного фазового сдвига, иммерсирования, а также двойного экспонирования и паттернирования.
Язык:
русский
В книге
М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013