• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Книга

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 3

Т. 2. Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2012.
Васин В. А., Ветров В. А., Ивашов Е. Н., Львов Б. Г., Степанчиков С. В.

Показана разработанная методика поиска физического принципа действия вакуумного насоса нового класса, в основе которой лежат эвристические правила, позволяет применять при поиске многокритериальный логико-эвристический выбор вида насоса. Предложена методика формирования моделей функционирования миниатюрных низковакуумных насосов, которая позволяет разработчику вакуумной техники создавать виртуальные процессы изменения давления в насосе при произвольном изменении его структуры. Разработанная методика обобщена для многокамерных вакуумных систем, что позволит автоматизировать процесс их проектирования.

Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающимся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 3