• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Книга

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 2

Ивантеевка МО: НИИ предельных технологий, 2012.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузькин В. И., Львов Б. Г., Степанчиков С. В.

Рассмотрены общие и специальные вопросы технологии формирования стабильных электропроводящих объектов с минимальными размерами 3нм на углеродной основе методами сканирующей зондовой литографии. Решается задача о нестационарном локальном нагреве подложки точечным источником тепла. Приведены некоторые технические решения устройств, предназначенных для исследования и модификации поверхности твёрдого тела зондовыми методами. Подробно описана, впервые разработана технология производства ультраострых зондов на основе соединений олова для сканирующих зондовых микроскопов. Монография предназначена для инженерно-технических и научных работников, занимающихся микро- и наноинженерией в электронном машиностроении, в том числе и наноинженерией углеродных структур и может быть рекомендована аспирантам вузов и студентам, обучающихся по специальности 210107 – «Электронное машиностроение» и направлению подготовки бакалавров и магистров 210100 – «Электроника и наноэлектроника» профиля «Микро- и наноинженерия в электронике».

Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении: Серия из 7-и монографий. Монография 2