?
Технология литографических процессов
Лапшинов Б. А.
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.
Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение».
ИППМ РАН, 2020
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Добавлено: 29 сентября 2020 г.
М. : НИЯУ МИФИ, 2011
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 13-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 27 июня – 1 июля 2011 г.). Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, а также специалистами других вузов и научно-исследовательских организаций. Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области ...
Добавлено: 19 февраля 2013 г.
М., Зеленоград : ИППМ РАН, 2016
Часть II сборника научных трудов составлена по материалам секций 4 и 5 ("Верификация и тестирование", "Высокопроизводительные вычислительные микроэлектронные системы") VII Всероссийской научно-тенчнической конференции "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем -2016" (Москва, Зеленоград 03.10 - 07.10.2016г.). Сборник трудов". Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, ...
Добавлено: 27 сентября 2016 г.
ИППМ РАН, 2021
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Добавлено: 25 октября 2021 г.
НИИСИ РАН, 2019
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук».
Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Добавлено: 15 марта 2020 г.
SPIE, 2019
Добавлено: 30 ноября 2019 г.
ИППМ РАН, 2021
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Добавлено: 26 августа 2021 г.
М. : НИИСИ РАН, 2018
Сборник содержит программу и тезисы докладов 17-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 14 по 18 мая 2018 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», а также ООО «Галактический поток», при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант РФФИ № 18-07-20020).
Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников ...
Добавлено: 7 ноября 2018 г.
М., Зеленоград : ИППМ РАН, 2018
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Добавлено: 21 октября 2018 г.
ИППМ РАН, 2021
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X
Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки
перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.).
Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами
российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными
сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций
и вузов, работающих ...
Добавлено: 12 ноября 2021 г.
М. : НИЯУ МИФИ, 2013
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 15-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 25 – 28 июня 2013 г.).
Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, НИИСИ РАН, а также специалистами других научно-исследовательских организаций и вузов.
Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области современной ...
Добавлено: 10 июня 2013 г.
М. : НИИСИ РАН, 2017
Сборник содержит программу и тезисы докладов 16-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 3 по 7 июля 2017 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», Московским научно-техническим обществом радиотехники, электроники и связи имени А.С. Попова при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант ...
Добавлено: 13 сентября 2017 г.
Блохина Ю. В., Ильин А. С., Биоорганическая химия 2021 Т. 47 № 6 С. 768-774
Патентная литература представляет собой неотъемлемую и значительную часть знаний человечества, пренебрежение которой может негативным образом сказаться на качестве работы исследователя. Поиск по патентным базам помогает как разыскивать подробные технические данные об объектах или процессах, так и оценивать возможности патентования собственных разработок. При этом подобный поиск несколько отличается от использования стандартных интернет-поисковиков или систем научного цитирования. ...
Добавлено: 28 октября 2021 г.
СПб. : ООО "Технолит", 2013
Изложено современное состояние и основные достижения в области сверхвысокочастотной микроэлектроники. Рассмотгены физические принципы, методы проектирования и разработки пассивных и твердотельных активных устройств СВЧ микроэлектроники, а также некоторые их применения в радиосистемах. ...
Добавлено: 16 сентября 2013 г.
Н. Новгород : ИПФ РАН, 2023
Том 1
Секция 1 Сверхпроводящие наносистемы
Секция 2 Магнитные наноструктуры
Секция 4 Измерения и технологии атомарного и нанометрового масштаба на основе зондовых, электронно-лучевых и ионно-лучевых методов
Секция 6 Твердотельная элементная база квантовых технологий ...
Добавлено: 26 марта 2023 г.
Blokhina Y. V., Ильин А. С., Russian Journal of Bioorganic Chemistry 2021 Vol. 47 No. 6 P. 1225-1230
Добавлено: 28 октября 2021 г.
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2014
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVIII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 10–14 марта 2014 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2014 ...
Добавлено: 24 февраля 2017 г.
P. : Atlantis Press, 2015
Добавлено: 20 февраля 2016 г.
Кулагин В. П., Львов Б. Г., Пономарев А. Н. и др., Российские нанотехнологии 2010 Т. 5 № 11-12 С. 12-15
МИЭМ, сохраняя научно-образовательные традиции и активно используя междисциплинарные связи, ориентирован на развитие магистральных направлений науки и техники с одновременной подготовкой квалифицированных кадров для этих направлений. В первую очередь это нанотехнологии в многообразии их развития, а также сопутствующие им традиционные отрасли электроники, материаловедения, аналитической техники и машиностроения. ...
Добавлено: 21 марта 2013 г.
Корпачев М. Ю., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов. : М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 265-265.
В работе рассмотрены аспекты создания и развития систем поддержки и принятия технических решений при разработке литографических процессов изготовления интегральных схем. Предложен алгоритм выбора технического решения в литографической технологии. ...
Добавлено: 26 мая 2014 г.
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Добавлено: 26 июня 2020 г.
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2013
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 11–15 марта 2013 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2013 ...
Добавлено: 26 февраля 2017 г.
Трубочкина Н. К., М. : Юрайт, 2016
В учебнике представлены базовые понятия теории переходной схемотехники, необходимые для разработки новой элементной базы суперкомпьютеров различных типов. Теорию переходной схемотехники отличает новая концепция синтеза наноструктур, в которой минимальным компонентом для синтеза является не транзистор, а материал и переход (связь) между материалами.
Приводятся данные экспериментального 2D и3D моделирования физических и электрических процессов в кремниевых переходных наноструктурах с ...
Добавлено: 13 февраля 2017 г.
М. : НИЯУ МИФИ, 2009
Конференция включала работу 3-х секций: 1) Проектирование СБИС, Наноэлектроника; 2) Электронные системы; 3) Радиационная стойкость электронных устройств и систем .
Результаты исследований, представленных в сборнике, будут интересны специалистам в области современной электроники, а также аспирантам и студентам старших курсов электронных специальностей. ...
Добавлено: 11 августа 2013 г.