• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Моделирование фокусирующей микролинзы для Оже-анализатора с ЦЗА

Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77. № 8. С. 1059-1062.
Львов Б. Г., Бельский М. Д., Рыбалко В. В.

Изложены методика и результаты моделирования пленочной зондоформирующей линзы, удовлетворяющей жестким массогабаритным требованиям и предназначенной для использования в составе оже-анализатора с ЦЗА. Получены оптимизированные, электронно-оптические характеристики линзы (распределение рабочих потенциалов, геометрия электродного пространства).