Обработка информации о предпочтениях при поиске решений отражательных фотошаблонов для ультрафиолетовой литографии

Н. Н. Балан; В. А. Васин; Е. Н. Ивашов; М. Ю. Корпачев; С. В. Степанчиков

?

Обработка информации о предпочтениях при поиске решений отражательных фотошаблонов для ультрафиолетовой литографии

Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3. С. 77–85.

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С. В.

Рассмотрены аналитические модели, позволяющие осуществить возможность исследования свойств и особенностей предпочтительных вариантов и помогающие выбрать направление опроса проектировщиков оборудования ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство с использованием эффекта обращения волнового фронта, обеспечивающее создание высоконаправленных пучков, которое позволяет повысить производительность нанесения нанодорожек на подложку.

Научное направление: Строительство Механика и машиностроение Рациональное природопользование Электроника и электротехника

Приоритетные направления: математика инженерные науки

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: Обработка информации в проектировании ультрафиолетовая литография отражательные фотошаблоны устройство для формирования нанодорожек на подложке повышение производительности методы исследования и моделирования математические и кибернетические методы

Integrating grazing intensity regulation and livestock mobility restoration: A practical test for China’s next-generation rangeland policies

Ли А., Agriculture, Ecosystems and Environment 2026 Vol. 412 Article 110676

Добавлено: 28 сентября 2026 г.

Pairings on the algebra of Laurent series over a ring

Левашев В. А., / Series arXiv "math". 2026. No. 2609.06010.

Добавлено: 24 сентября 2026 г.

Iterative construction of the R-matrices in arbitrary dimensions

Пятов П. Н., Пивоваров П. А., / Series math "arxiv.org". 2026. No. 2609.06274.

Добавлено: 24 сентября 2026 г.

When does high-tech research investment enable green energy transition?

Bergougui B., Ghosh S., Doğan B. и др., Energy Conversion and Management: X 2026 Vol. 30 P. 1–18

Добавлено: 24 сентября 2026 г.

Navigating Chinese green deals through green investment, green technology, and green energy development: a race for sustainability or greenwashing?

Doğan B., Hossain M. R., Khalfaoui R. и др., Financial Innovation 2026 Vol. 12 P. 1–29

Добавлено: 23 сентября 2026 г.

How does smart cities and digital economy facilitate energy security and energy transition? Empirical evidence from China

Xu Y., Tiwari S., Kazemzadeh E. и др., Energy and Buildings 2026 Vol. 351 P. 1–23

Добавлено: 23 сентября 2026 г.

On static manifolds with boundary admitting a nowhere-vanishing static potential

Медведев В. О., / Series arXiv "math". 2026.

We study complete static manifolds with boundary admitting a nowhere-vanishing static potential. Our main result shows that, under a natural lower bound relating the scalar curvature and the boundary mean curvature, a simple static manifold with boundary must in fact have positive scalar curvature, negative boundary mean curvature, and be compact; we also obtain explicit ...

Добавлено: 19 сентября 2026 г.

Динамика систем, механизмов и машин

Издательство ОмГТУ, 2025.

. ...

Добавлено: 18 сентября 2026 г.

Моделирование биполярно-полевого технологического процесса с полной диэлектрической изоляцией

Дюканов П. А., Кожухов М. В., Попов Д. А. и др., Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника 2026 Т. 201 № 1 С. 28–34

В работе представлены результаты приборно-технологического моделирования биполярных транзисторов на структуре «кремний - оксид кремния - кремний». Сравнение выходных характеристик моделей и образцов транзисторов показало высокую точность разработанной модели. Для улучшения характеристик полевых транзисторов с управляющим p-n-переходом рассмотрены варианты коррекции конструкции. На основе рассчитанного технологического маршрута проведено моделирование топологии двухзатворного полевого транзистора. ...

Добавлено: 17 сентября 2026 г.

Обоснование параметров разравнивающего устройства для измельчения соломы

Богданчиков И. Ю., Бачурин А. Н., Есенин М. А. и др., Достижения науки и техники АПК 2026 Т. 40 № 6 С. 73–80

Исследования проводили с целью теоретического и экспериментального обоснования параметров разравнивающего устройства с регулируемым заглублением для повышения равномерности загрузки ротора измельчителя и качества распределения соломы в агрегате МдУС-2,3. Оптимальный угол при вершине равнобедренного треугольного профиля разравнивающего устройства 90° обеспечивает условие скольжения (tan 45° = 1 > μ = 0,55). Теоретическая величина заглубления разравнивающего устройства в валок 0,075 м (20…25 ...

Добавлено: 17 сентября 2026 г.

Vague stimulating ideas, images and metaphors in scientific thinking: researchers' work with horizons of unclear knowledge

Поддьяков А. Н., / Series Social Science Research Network "Social Science Research Network". 2026. No. 7437658.

Добавлено: 15 сентября 2026 г.

On phase-lock area parquet in a special slow-fast limit of model of Josephson junction.

Глуцюк А. А., / Series arXiv "math". 2026.

Добавлено: 8 сентября 2026 г.

Infinitely many graph manifolds with unique geometrical piece that admit arbitrarily many Anosov flows

Починка О. В., Шмуклер В. И., / Series math.RT "arXiv:1808.06395 [math.RT]". 2026.

Добавлено: 31 августа 2026 г.

Алгебра, теория чисел, дискретная геометрия и многомасштабное моделирование. Современные проблемы, приложения и проблемы истории. Материалы XXIV Международной конференции, посвящённой 110-летию со дня рождения академика Юрия Владимировича Линника и 110-летию со дня рождения профессора Андрея Борисовича Шидловского и 80-летию со дня рождения профессора Геннадия Ивановича Архипова

Тула: Тульский государственный педагогический университет им. Л.Н. Толстого, 2025.

Сборник содержит материалы, представленные на XXIV Международной конференции «Алгебра, теория чисел, дискретная геометрия и многомасштабное моделирование: современные проблемы, приложения и проблемы истории», посвящённой 110-летию со дня рождения академика Юрия Владимировича Линника и 110-летию со дня рождения профессора Андрея Борисовича Шидловского и 80-летию со дня рождения профессора Геннадия Ивановича Архипова. Материалы конференции будут полезны научным работникам, ...

Добавлено: 27 августа 2026 г.

Characterizing the Scheduling Performance of 5G NR Base Stations Under Signaling and Data Traffic Constraints

Eduard Sopin, Назарьин А. И., Бегишев В. О. и др., IEEE Transactions on Vehicular Technology 2026 Vol. 75 No. 6 P. 10995–11007

Добавлено: 26 августа 2026 г.

Understanding the electric double layer at electrode–electrolyte interfaces, Part III: crystallographic-face dependence of silver capacitance in aqueous NaF solutions

Мазур Д. А., Petr E. Brandyshev, Doronin S. и др., Electrochimica Acta 2026 Vol. 577 Article 149729

Добавлено: 20 августа 2026 г.

2025 Dynamics of Systems, Mechanisms and Machines (Dynamics). International scientific and technical conference Omsk State Technical University, Omsk, Russia

IEEE, 2025.

Добавлено: 19 августа 2026 г.

Stiefel filters

A. Bogatyrev, Transactions of the Moscow Mathematical Society 2024 Vol. 85 No. 2 P. 323–337

Добавлено: 14 августа 2026 г.

Hall effect in electrolyte solutions: Self-consistent Debye–Hückel–Onsager theory

Будков Ю. А., Каликин Н. Н., Journal of Chemical Physics 2026 Vol. 165 Article 064506

Добавлено: 12 августа 2026 г.

Assessing walkability and climate adaptive capacity in relation to urban morphology and historical development

Шартова Н. В., Mironova E., Geo Journal 2026 Vol. 91 Article 78

Добавлено: 9 августа 2026 г.

Картографирование усыхания хвойных лесов по данным дистанционного зондирования Земли на примере лесов хребта Хамар-Дабан

Цыдыпова М. В., Современные проблемы дистанционного зондирования Земли из космоса 2026 Т. 23 № 3 С. 263–275

Представлена методика картографирования усыхания хвойных лесов, основанная на интеграции методов автоматизированного дешифрирования данных дистанционного зондирования Земли, вегетационных индексов, дистанционных данных о надземной биомассе Biomass CCI (англ. Climate Change Initiative) и материалов наземных лесопатологических обследований на примере лесов хребта Хамар-Дабан (Республика Бурятия). Актуальность исследования обусловлена распространением усыхания темнохвойных лесов на территории исследования и необходимостью эффективного мониторинга ...

Добавлено: 9 августа 2026 г.

Encyclopedia of Ecology, 3rd Edition. Volume 3

Сандлерский Р. Б., Elsevier, 2026.

Добавлено: 9 августа 2026 г.

Основы технологии производства и машинное обучение : учебник для вузов

Трубочкина Н. К., М.: Юрайт, 2026.

Учебник посвящен формированию у студентов целостного представления о современных производственных процессах и методах их анализа и управления на основе технологий машинного обучения. В условиях четвертой промышленной революции, когда традиционные инженерные дисциплины неразрывно переплетаются с интеллектуальными методами обработки данных, возникает потребность в специалистах, способных интегрировать знания из обеих областей. Настоящий учебник призван удовлетворить эту потребность, предлагая ...

Добавлено: 8 августа 2026 г.

Методика определения параметров донного аппарата с гусеничным движителем для добычи полезных ископаемых

Бяков К. Е., Мокрецов Н. А., Наумов В. Н., Инженерный журнал: наука и инновации 2025

Рассмотрена перспективная технология разведки и добычи залежей полезных ископаемых непосредственно на дне Мирового океана с использованием роботизированных донных аппаратов с различными контактными движителями. Для определения основных конструктивных параметров экспериментального образца на стадии проектирования требуется выполнение тягового расчета. Приведены основные зависимости, необходимые для такого расчета, на базе которых выбираются основные параметры донного аппарата с гусеничным движителем ...

Добавлено: 7 августа 2026 г.