• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Моделирование переосаждения распыленного вещества на поверхность электрода в тлеющем разряде переменного тока

Бондаренко Г.Г., Бонк О. Г., Кристя В. И.

Рассчитан диффузионный перенос вещества, распыляемого с поверхности электрода в тлеющем разряде переменного тока. Получено выражение, описывающее плотность потока распыленного вещества, возвращающегося на распыляемую поверхность. Установлено, что при определенных ус­ловиях поток распыленного вещества, возвращающегося на электрод, практически стационарен при нестационарном его распылении.