Сдвиговая спекл-интерферометрия методом фазовых шагов

Квантовая электроника. 2020. Т. 50. № 7. С. 636–642.

Вишняков Г. Н., Иванов А. Д., Левин Г. Г., Минаев В. Л.

Проведено численное моделирование процесса измерения напряженно-деформированных состояний методом сдвиговой спекл-интерферометрии с использованием метода фазовых шагов. Разработана компьютерная модель с возможностью задания ее деформации и шероховатости, в которую входит модель диффузно отражающего тест-объекта, соответствующая по характеристикам реальной мембране, а также модель спекл-интерферометра, позволяющая получать спекл-интерферограммы при различных размерах спеклов и углов между интерферирующими пучками. Реализован процесс восстановления топограммы поверхности объекта по модельным спекл-интерферограммам методом фазовых шагов. С помощью разработанных моделей получена двумерная шерограмма, представляющая собой производную от поля деформации круглой мембраны. Сопоставлене результатов численного моделирования с экспериментальными данными показало, что различия (среднеквадратичные отклонения) не превышают 0.02 мкм. Также показано, что погрешность реконструкции интерферограмм методом фазовых шагов значительно возрастает при деформациях тест-объекта более 12 мкм

Ключевые слова: моделирование, simulation, напряженно-деформированное состояние, stress-strain state, electronic speckle pattern interferometry, электронная спекл-интерферометрия, шерография, shearography, phase shifting method, метод фазовых шагов