?
Датчик давления с алмазным чувствительным элементом
Прогресс в науке и технике, внедрение новых и совершенствование существующих технологий в станкостроении в значительной степени определяются уровнем развития автоматических и автоматизированных систем управления, контроля и диагностики, а также уровнем технического совершенства их элементов. Основа любых информационно-измерительных систем управëения и контроля — датчики, которые не только первыми воспринимают информацию об измеряемой механической величине, но и подвержены влиянию дестабилизирующих физических факторов, сопровождающих работу станков. В настоящей работе описано устройство, технология изготовления датчика давления, разработанного авторами на основе алмазных материалов. Изготовлены и испытаны емкостные датчики давления с алмазной мембранной, с емкостью 8 пФ и чувствительностью 0,38 пФ/кПа. Ключевые слова: датчик давления, CVD алмаз, алмазный датчик, чувствительный элемент.