• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Статьи
  • Influence of the non-uniformity of surface dielectric film thickness on cathode sputtering in a glow discharge
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
26 мая 2026 г.
Гибкость рынка труда как новая норма: ее формы и адаптация работников
Гибкий рынок труда, который наблюдается сегодня, — не временная тактика или вынужденная мера, а системный ответ на ряд вызовов. Как меняется карьера, какие формы гибкости встречаются и как работникам адаптироваться к ним, в колонке для IQ Медиа размышляет директор Института занятости и профессий НИУ ВШЭ Федор Прокопов.
25 мая 2026 г.
Биологи ВШЭ получили «молекулярный отпечаток» преэклампсии
Исследователи НИУ ВШЭ использовали новый способ моделирования состояния гипоксии в клетках плаценты при беременности, осложненной преэклампсией, и обнаружили молекулярные маркеры кислородного голодания тканей. Гипоксия — один из ключевых механизмов преэклампсии, полученные результаты важны для более точной и своевременной диагностики заболевания, а также для разработки эффективных методов лечения. Работа опубликована в журнале Placenta.
22 мая 2026 г.
Лаборатория живых смыслов: как проект НИУ ВШЭ и СахГУ переосмысляет труд
Проект «Зеркальные лаборатории» НИУ ВШЭ — Пермь и Сахалинского государственного университета (СахГУ) изучает, как культура, среда и технологии формируют и меняют трудовые смыслы. Исследование объединяет индивидуальный опыт, профессиональные нормы, городские проблемы, творческие практики и цифровые условия труда. Руководитель Лаборатории междисциплинарных исследований по антропологии труда НИУ ВШЭ в Перми Лилия Пантелеева рассказала о работе проекта.

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Influence of the non-uniformity of surface dielectric film thickness on cathode sputtering in a glow discharge

Russian Physics Journal. 2016. Vol. 58. No. 9. P. 1313–1320.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Tun Y. N.

Special features of sputtering of the cathode with a thin dielectric film of variable thickness in a glow discharge are studied. It is shown that the flux density of atoms sputtered from the cathode is maximal on its sections with minimal film thickness due to focusing of ion flux caused by the violation of the electric field uniformity near the cathode surface. As a result, the non-uniformity of the film thickness increases with time, thereby leading to the formation of pores in the film.

Приоритетные направления: инженерные науки
Язык: английский
Полный текст
DOI
Ключевые слова: катодное распылениеglow dischargeтлеющий разрядdielectric filmsдиэлектрическая пленкаcathode sputtering
Похожие публикации
Perovskite nanoparticles Cs4PbBr6 and CsPbBr3: synthesis, analysis and peculiar optical properties
Гущина В. А., / Series chemrxiv-2023-vpzhz-v2 "ChemRxiv". 2023.
Наночастицы полностью неорганических перовскитов CsPbBr3 и Cs4PbBr6 интенсивно изучаются благодаря их уникальным свойствам и широкому спектру применений; однако природа их оптических свойств до сих пор полностью не изучена из-за сложности синтеза однофазных наночастиц. В данной статье мы описываем особенности синтеза однофазных частиц и результаты их химического и фазового анализа. Используя данные о концентрациях наночастиц, мы ...
Добавлено: 14 мая 2026 г.
Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena
Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Measurement of Main Characteristics of a Glow Discharge by Surface Waves Resonance and Optical Emission Spectroscopy
Zheltukhin V. S., Kiselev G. B., A. Yu. Shemakhin и др., High Energy Chemistry 2025 Vol. 59 No. 2 P. 207–214
Добавлено: 25 февраля 2026 г.
Determination of the Electric Field by Particle Tracking in a Plasma Sheath Region during Free Fall
Schmitz A., Hanstein L., Klein M. и др., Microgravity Science and Technology 2025 Vol. 37 Article 7
Добавлено: 25 февраля 2026 г.
Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning
Чернышов Д. П., Сатанин А. М., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2025.
Добавлено: 21 ноября 2025 г.
Influence of the Nonuniform Thickness of a Dielectric Film along a Cathode Surface on Its Heating in a Glow Discharge
Бондаренко Г. Г., Fisher M. R., Kristya V. I., Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques 2025 Vol. 19 No. 1 P. 66–72
Добавлено: 11 июня 2025 г.
Использование инжекционно-термической обработки для уменьшения дефектности диэлектрических пленок МДП-структур
Андреев Д. В., Корнев С. А., Бондаренко Г. Г. и др., Перспективные материалы 2025 № 5 С. 17–23
Рассмотрена инжекционно-термическая обработка (ИТО) МДП-структур в режиме ступенчато-возрастающей плотности сильнополевого инжекционного тока, ограниченной значением Jb, при которой не происходит заметных процессов необратимой зарядовой деградации подзатворного диэлектрика и его границы раздела с полупроводником. Плотность заряда, инжектированного в подзатворный диэлектрик при проведении ИТО, должна обеспечивать выявление образцов с внешними дефектами. Установлено, что проведение инжекционно-термической обработки позволяет существенно снизить плотность внешних дефектов в диэлектрической пленке ...
Добавлено: 17 мая 2025 г.
Влияние неравномерности толщины диэлектрической пленки вдоль поверхности катода на его нагрев в тлеющем разряде
Бондаренко Г. Г., Фишер М. Р., Кристя В. И., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2025 № 1 С. 78–85
Представлена модель катодного слоя тлеющего газового разряда при наличии на катоде диэлектрической пленки, толщина которой различна на разных участках его поверхности, причем на части поверхности она может отсутствовать. Модель учитывает ионно-электронную эмиссию с поверхности катода, термополевую электронную эмиссию из подложки катода в пленку и термическую электронную эмиссию с участков катода без пленки. Показано, что при нагреве катода эмиссионная эффективность пленки, ...
Добавлено: 6 мая 2025 г.
Моделирование влияния неравномерности толщины диэлектрической пленки вдоль поверхности катода на его эмиссионные свойства в тлеющем газовом разряде
Г. Г. Бондаренко, Фишер М. Р., Кристя В. И., Известия РАН. Серия физическая 2024 Т. 88 № 4 С. 549–554
Предложена модель катодного слоя тлеющего газового разряда при наличии на катоде диэлектрической оксидной пленки, толщина которой имеет различные значения на разных участках его поверхности. Изучено влияние неравномерности толщины пленки на эффективный коэффициент электронной эмиссии катода и на характеристики разряда. ...
Добавлено: 13 декабря 2024 г.
Doping dependence of low-energy charge collective excitations in high-Tc cuprates
Каган М. Ю., Silkin V. M., Efremov D. V., / Series arXiv "math". 2024. No. 2411.12836.
Добавлено: 27 ноября 2024 г.
Influence of anisotropy on the study of critical behavior of spin models by machine learning methods
Суховерхова Д. Д., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2410.14523.
...
Добавлено: 21 октября 2024 г.
Моделирование влияния полевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой на его распыление в газовом разряде в смеси аргона и паров ртути
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О. и др., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2024 № 3 С. 81–87
Предложена модель слаботочного газового разряда в смеси аргона и паров ртути при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. Модель учитывает, что в такой смеси существенный вклад в ионизацию рабочего газа может давать ионизация атомов ртути при их столкновениях с метастабильными возбужденными атомами аргона. В разряде на поверхности пленки накапливаются положительные заряды, создающие в диэлектрике электрическое поле, достаточное для возникновения ...
Добавлено: 12 июня 2024 г.
Comparison of the microcanonical population annealing algorithm with the Wang-Landau algorithm
Мозоленко В. К., Fadeeva Marina, Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2405.10865.
Добавлено: 20 мая 2024 г.
Modeling the Effect of the Non-Uniform Thickness of a Dielectric Film along a Cathode’s Surface on Its Emission Properties in a Glow Gas Discharge
G. G. Bondarenko, Fisher M. R., Kristya V. I., Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics 2024 Vol. 88 No. 4 P. 464–468
Добавлено: 15 апреля 2024 г.
Majorana modes and Fano resonances in Aharonov- Bohm ring with topologically nontrivial superconducting bridge
Каган М. Ю., Аксёнов С. В., / Series Research Square "Research Suqare". 2024. No. 1.
Добавлено: 10 апреля 2024 г.
High-frequency dielectric anomalies in a highly frustrated square kagome lattice nabokoite family compounds ACu7(TeO4)(SO4)5Cl (A=Na, K, Rb, Cs)
Ребров Я. В., Глазков В. Н., Murtazoev A. F. и др., / Series cond-mat "arxiv.org". 2023.
Добавлено: 29 января 2024 г.
Nondestructive KPFM-assisted Quality Control in Fabrication of GaAs High-Speed Electronics
Shurakov A., Kaurova N., Belikov I. и др., / Series Physics "arxiv.org". 2022.
Добавлено: 15 сентября 2023 г.
Superconducting spin valves based on a single spiral magnetic layer
Пугач Н. Г., Safonchik M. O., Belotelov V. и др., / Series "cond-mat". 2022. No. 2110.00369.
Добавлено: 16 ноября 2022 г.
Charge transport in the spatially correlated exponential random energy landscape: effect of the non-positive correlation function
Новиков С. В., / Series cond-mat "arxiv.org". 2022. No. 2209.14955.
Добавлено: 1 ноября 2022 г.
Modeling of the Influence of Thermal-Field Electron Emission from the Cathode with a Thin Insulating Film on its Heating in Glow Discharge
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Myo T. H. и др., Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques 2022 Vol. 16 No. 4 P. 581–585
Добавлено: 3 августа 2022 г.
Моделирование влияния термополевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой на его нагрев в тлеющем разряде
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Мью Т. Х. и др., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2022 № 8 С. 25–29
Создана и описана модель тлеющего газового разряда при наличии на катоде тонкой диэлектриче ской пленки, в которой учтена, наряду с ионно-электронной эмиссией с поверхности катода, также термополевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием сильного электрического поля, возникающего в диэлектрике при протекании разрядного тока. На пряженность электрического поля в пленке в установившемся режиме разряда может быть ...
Добавлено: 10 июня 2022 г.
Software Complex for the Numerical Solution of the Isotropic Imaginary-Axis Eliashberg Equations
Ихсанов Р. Ш., Mazur E., Каган М. Ю., / Series "Working papers by Cornell University". 2022. No. 2202.01452.
Добавлено: 4 февраля 2022 г.
Модель термополевой электронной эмиссии из катода с тонкой диэлектрической пленкой в тлеющем разряде
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Мьо Т. Х. и др., В кн.: Труды XXV Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью" (ВИП-2021)Т. 3: Взаимодействие плазмы с поверхностью - физика и технология.: М.: [б.и.], 2021. С. 86–89.
Добавлено: 21 сентября 2021 г.
Theory of Ionic Liquids with Polarizable Ions on a Charged Electrode
Будков Ю. А., Zavarzin S., Kolesnikov A. L., Journal of Physical Chemistry C 2021 Vol. 125 No. 38 P. 21151–21159
Добавлено: 16 сентября 2021 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору