Рентгеновская оптика – 2014. Доклады конференции, г. Черноголовка

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2014.

В докладах конференции рассмотрены проблемы рентгеновской кристаллооптики, многослойной оптики для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона, технологии изготовления элементов рентгеновской оптики, применения рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур, рентгеновской литографии, рентгеновской микроскопии и томографии, новых методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучения.

Главы книги

Проблемы томографии в полихроматических схемах.

Чукалина М. В., Ингачева А. С., Бузмаков А. В. и др., В кн.: Рентгеновская оптика – 2014. Доклады конференции, г. Черноголовка.: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2014. С. 107–107.

Тенденции развития метода компьютерной томографии (КТ), такие как – стремление повысить пространственное разрешение и уменьшить геометрические размеры измерительной системы, обеспечив их применение буквально в “полевых” условиях, приводят к тому, что обеспечение монохроматичности используемого зонда становится невыполнимой задачей. Происходит это по следующим причинам. Чтобы добиться повышения пространственного разрешения в монохроматической моде необходимо использовать измерительную схему с ...

Добавлено: 30 ноября 2015 г.

Ключевые слова: физика наноструктур, низкоразмерные структуры, мезоскопические структуры, излучение и волновая оптика