?
Модификация диэлектрических пленок МДП-структур инжекционно-термической обработкой
Перспективные материалы. 2014. № 12. С. 25-31.
Проведена модификация диэлектрических пленок МДП-структур и границ раздела кремний-
диэлектрик методом инжекционно-термической обработки (ИТО), заключающейся в
сильнополевой инжекции заданной величины заряда в подзатворный диэлектрик с последующим
отжигом структуры. Исследовано влияние режимов ИТО на модификацию МДП-структур.
Показано, что проведение ИТО позволяет снижать дефектность диэлектрических пленок,
повышая надежность МДП-приборов. Установлено, что процессы модификации МДП-структур,
наблюдающиеся при ИТО, во многом идентичны процессам, происходящим при радиационно-
термической обработке (РТО), и, следовательно, для определенных видов МДП-приборов РТО
может быть заменена на ИТО.
ПУБЛИКАЦИЯ ПОДГОТОВЛЕНА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ПРОЕКТА:
Andreev V. V., Bondarenko G.G., Maslovsky V. M. и др., Physica status solidi C 2015 Vol. 12 No. 1-2 P. 126-130
The effect of high-field injection–thermal and irradiation treatments on the MIS structures reliability and defect reduction in the nanoscale gate dielectric has been investigated. Injection-thermal treatment (ITT) of MIS structures consisted of high-field electron injection into gate dielectric with the charge of defined value and subsequent parameter stabilization of MIS structures by means of thermal ...
Добавлено: 20 января 2015 г.
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Столяров А. А., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2016 № 4 С. 94-99
Исследовано изменение зарядового состояния МДП-структур с двухслойным подзатворным диэлектриком диоксид кремния–фосфорно-силикатное стекло при их модификации в процессе электронного облучения и инжекции электронов в сильных электрических полях. Тонкая пленка стекла образовывалась в результате легирования фосфором термической пленки SiO2, сформированной на поверхности кремниевой пластины. Установлено, что отрицательный заряд, накаплива
ющийся в тонкой пленке фосфорно-силикатного стекла в процессе туннельной ...
Добавлено: 1 августа 2016 г.
Andreev D. V., Бондаренко Г. Г., Stolyarov A. A., Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques 2016 Vol. 10 No. 2 P. 450-454
Добавлено: 28 мая 2016 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Savichkin D. O., Russian Physics Journal 2017 Vol. 60 No. 2 P. 346-353
Добавлено: 8 июня 2017 г.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О., Известия высших учебных заведений. Физика 2017 Т. 60 № 2 С. 129-134
Построена теоретическая модель катодного слоя нормального тлеющего разряда при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. В ней, кроме ионно-электронной эмиссии, учитывается также полевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием возникающего в диэлектрике сильного электрического поля. Установлено, что влияние полевой электронной эмиссии на характеристики тлеющего разряда определяется эмиссионной эффективностью пленки, равной ...
Добавлено: 6 апреля 2017 г.
В этой статье мы представляем измерения и сравнение длины распространения SPP на практически важной длине волны излучения, широко используемой в телекоммуникациях (1560 нм), а также в ближнем инфракрасном и видимом спектральных диапазонах. Измерения проводились для плоских плазмонных волн, возбуждаемых на поверхности пленки Ag, с помощью оптической микроскопии плазмонных волн в дальнем поле. Мы также демонстрируем возможность визуализации распространения SPP-волн ...
Добавлено: 15 января 2021 г.
Казанцев Д. В., Казанцева Е. А., Кузнецов Е. В. и др., Известия РАН. Серия физическая 2017 Т. 81 № 12 С. 1709-1714
Описаны принципы работы безапертурного сканирующего микроскопа ближнего оптического поля (ASNOM). Зондом в приборе служит металлизированная игла атомно-силового микроскопа, и оптическое взаимодействие с объектами на поверхности локализовано вблизи ее острия размером в несколько нанометров. Тело иглы имеет длину в несколько микрон, и это обеспечивает высокую эффективность ее электромагнитного взаимодействия с падающими на нее извне и излучаемыми ...
Добавлено: 6 декабря 2020 г.
Добавлено: 25 февраля 2020 г.
Ермилов А. И., Ивашов Е. Н., Международный журнал экспериментального образования 2014 № 1 С. 98-101
Разработаны устройства наноперемещений с зондами, выполняющие операции, необходимые для формирования квантовых точек. Показаны варианты выполнения устройств. ...
Добавлено: 20 января 2014 г.
Болдырев К. Н., Романов А., Хаула Е. и др., Journal of the American Ceramic Society 2019 Vol. 102 No. 5 P. 2745-2751
Добавлено: 8 февраля 2019 г.
M. : Faculty of Physics, MSU, 2017
The Low Temperature Physics Conference is an international event held every three years, under the auspices of the IUPAP through its Commission C5 on Low Temperature Physics. The aim of these conferences is to exchange information and views among the members of the international scientific community in the general field of Low Temperature Physics. It ...
Добавлено: 1 октября 2017 г.
Будков Ю. А., Kolesnikov A. L., Polymer Science - Series C 2018 Vol. 60 No. Supplement 1 P. 148-159
Представлен критический анализ теоретических моделей конформационного поведения гибких
полимерных цепей в смешанных растворителях, сформулированных в мировой литературе за последние десять лет. Освещены модели, описывающие различные механизмы переходов клубок–
глобула в хорошем растворителе, индуцированных добавкой сорастворителя. Особое внимание уделено анализу теоретических подходов к описанию коллапса полимерных цепей в бинарных смесях
хороших растворителей. Обзор адресован исследователям, работающим в области физики ...
Добавлено: 30 ноября 2018 г.
Antipov A., Seleznev V., Vakhtomin Y. и др., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2020 Vol. 781 No. 1 P. 012011-1-012011-5
Spectral characteristics of WSi and NbN superconducting single-photon detectors with different surface resistance and width of nanowire strips have been investigated in the wavelength range of 1.3-2.5 µm. WSi structures with narrower strips demonstrated better performance for detection of single photons in longer wavelength range. The difference in normalized photon count rate for such structures ...
Добавлено: 10 декабря 2020 г.
Kuzmin N. N., Maltsev V. V., Volkova E. A. и др., Inorganic Materials 2020 Vol. 56 No. 8 P. 828-835
Исследованы и оптимизированы условия спонтанной раствор-расплавной кристаллизации
TbCr3(BO3)4. Изучены фазовые соотношения в псевдотройной системе TbCr3(BO3)4–K2Mo3O10–
B2O3 в интервале температур 1130–900°С. Выявлена зона однофазной кристаллизации тербийхромового бората. Показано, что с увеличением содержания TbCr3(BO3)4 в исходном растворе-расплаве его ромбоэдрическая модификация меняется на моноклинную. Из растворов-расплавов на
основе K2Mo3O10 получены однофазные или со значительным преобладанием ромбоэдрической
формы (пр. гр. R32) над моноклинной ...
Добавлено: 22 октября 2020 г.
Терехович В. Э., Эпистемология и философия науки 2019 Т. 56 № 1 С. 169-184
Анализ представлений о реальности ненаблюдаемых объектов квантовой теории не укладывается в рамки оппозиции реализм – анти-реализм. Во-первых, необходимо различать реализм в отношении к теории и в отношении ее объектов. Во-вторых, реализм в отношении классических объектов может совмещаться, как с реализмом, так и с анти-реализмом в отношении квантовых объектов. В-третьих, понятия «существование» и «объективная реальность» могут ...
Добавлено: 12 февраля 2020 г.
Добавлено: 31 октября 2019 г.
Бланк В. Д., Болдырев К. Н., Денисов В. Н. и др., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2020 Vol. 102 P. 115153-1-115153-10
Добавлено: 22 октября 2020 г.
K. I. Kugel, Bianconi A., Poccia N. и др., Superconductor Science and Technology 2015 Vol. 28 No. 2 P. 024005-1-024005-8
Добавлено: 12 марта 2016 г.
Dziom V., Shuvaev A. V., Щепетильников А. В. и др., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2019 Vol. 99 No. 4 Article 045305
Добавлено: 11 декабря 2020 г.
Демин А. С., Масляев С. А., Пименов В. Н. и др., Физика и химия обработки материалов 2017 № 6 С. 5-17
Изучено влияние облучения в установке Плазменный фокус PF-1000 экстремальными энергетическими потоками быстрых ионов дейтерия (Ei≈100 кэВ, плотность мощности qi≈1011-1012 Вт/см2, длительность импульса ti≈10-50 нс) и дейтериевой плазмы (qpl≈109- 1010 Вт/см2, tpl≈50-100 нс) на структуру поверхностного слоя молибденовой пластины с учетом его плавления, частичного испарения и закалки расплава. На облученной поверхности обнаружено образование капельных структур, пор, ...
Добавлено: 25 декабря 2017 г.
Kuzmichev S. A., Kuzmicheva T. E., Tchesnokov S. N. и др., Journal of Superconductivity and Novel Magnetism 2016 Vol. 29 No. 4 P. 1111-1116
We present temperature dependences of the large and the small superconducting gaps measured directly by SnS-Andreev spectroscopy in various Fe-based superconductors and MgB2. The experimental L,S(T ) are wellfitted with a two-gap model based on Moskalenko and Suhl system of equations (supplemented with a BCSintegral renormalization). From the fitting procedure, we
estimate the key attribute of ...
Добавлено: 19 марта 2016 г.
М. : National Instruments Russia, 2017
Содержание сборника составляют доклады с результатами оригинальных исследований и технических решений, ранее не публиковавшиеся. Мы надеемся, что предлагаемый сборник окажется полезным для специалистов, работающих в различных областях науки и техники, для широкого круга преподавателей, аспирантов и студентов ВУЗов, а также для преподавателей средних школ и технических колледжей. ...
Добавлено: 10 мая 2017 г.