Микродисковые лазеры с вынесенной контактной площадкой мостиковой конструкции, сформированные жидкостным химическим травлением

Физика и техника полупроводников. 2025. Т. 59. № 1. С. 37–42.

Образцова А. А., Пивоварова А. А., Комаров С. Д., Федосов И. С., Иванов К. А., Калюжный Н. А., Минтаиров С. А., Ильинская Н. Д., Яковлев Ю. П., Махов И. С., Крыжановская Н. В., Жуков А. Е.

Представлен подход к созданию микролазеров с квантовыми точками на подложках GaAs с дисковым резонатором, электрическим контактом мостикового типа и опорной мезой, сформированными методом жидкостного химического травления. Мостиковая конструкция представляет собой две соединенные подвешенной золотой балкой мезаструктуры, одна из которых является, собственно, микродисковым резонатором, а вторая служит для создания вынесенного электрического контакта. Предложенный метод открывает пути для изготовления инжекционных микролазеров малого диаметра, поскольку исключает необходимость прикрепления электрического провода к верхней поверхности резонатора микролазера. Изготовлены микролазеры с мостиковым контактом, продемонстрировано формирование близкой к вертикальной стенки микрорезонатора вблизи активной области структуры, получены спектры электролюминесценции микролазеров в широком интервале токов накачки, подтверждающие возможность лазерной генерации как при комнатной, так и при повышенных температурах.

Ключевые слова: моды шепчущей галереи, микролазеры, мостиковый контакт, жидкостное химическое травление