Исследование процессов сильнополевой инжекционной модификации и деградации МДП-структур

Перспективные материалы. 2004. № 2. С. 20–27.

Андреев В. В., Бондаренко Г.Г., Дегтярев В. Т., Столяров А. А., Драч В. Е.

Предложена модель модификации и деградации МДП-структур с термической пленкой SiO2, пассивированной слоем фосфорно-силикатного стекла, в условиях управляемой сильнополевой туннельной инжекции электронов в диэлектрик. Исследованы процессы зарядовой деградации и модификации МДП-структур Si - SiO2-Аl, Si- SiO 2-ФСС-Аl и Si-SiO2- поликремний при сильнополевой туннельной инжекции электронов. Моделирование процессов зарядовой деградации с учетом распределения локальных электрических полей в системе Si-SiO2-ФСС-А1 указывает на существенное ослабление генерации дырок в слое ФСС. Показано, что процессы изменения зарядового состояния двуокиси кремния, пассивированной фосфорно-силикатным стеклом, необходимо рассматривать с учетом изменения параметров захваченных зарядов и локальных электрических полей в диэлектрике.

Ключевые слова: МДП-структура, инжекционная модификация, деградация