?
Задача снижения размерности для опто- и наноэлектроники в литографической технологии
С. 52-53.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
In book
Ульяновск : УлГУ, 2012
Ivashov E., Корпачев М. Ю., В кн. : Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: материалы международной научно-технической конференции (2012). : М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 284-287.
Рассмотрены основные вопросы снижения размерности изображения топологии на фотошаблоне при отображении коллекции изображений в двухмерное пространство. Предложены методы снижения минимального характеристического размера элементов СБИС с использованием коррекции оптического эффекта близости. ...
Added: February 12, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 54-55.
В работе приведено решение задачи морфологической фильтрации одномерной функции, как задача поиска экстремума функционала штрафа в литографической технологии для опто- и наноэлектроники. Рассмотрено также применение методов математической фильтрации и сегментации в иммерсионной ультрафиолетовой литографии. ...
Added: May 17, 2013
Ульяновск : УлГУ, 2012
«Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы»: Труды XV международной конференции. – Ульяновск: УлГУ, 2012.
В сборнике собраны труды участников конференции, посвященной теоретическому исследованию и моделированию нанотехнологий, наноустройств , наноэлектронных приборов, изучению оптических свойств квантово-размерных структур, наносенсоров, полупроводников, физических процессов в полупроводниковых приборах и схемах.
Рассматриваются также вопросы стратегии финансирования и организации микро- и нанотехнологических исследований и разработок. ...
Added: May 17, 2013
Корпачев М. Ю., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов. : М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 263-264.
В работе рассмотрены вопросы решения задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Рассмотрены также технологические методы коррекции оптического эффекта близости, искусственного фазового сдвига, иммерсирования, а также двойного экспонирования и паттернирования. ...
Added: May 26, 2014
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 3: Материалы и технологии.: М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 66-73.
Рассмотрены основные методы снижения минимального характеристического размера в литографической технологии, включающие в себя коррекцию оптического эффекта близости, метод искусственного фазового сдвига, иммерсирования, двойного экспонирования и паттернирования. Рассмотрены также методы отображения коллекции изображений в двухмерное пространство. ...
Added: February 5, 2013
Саратов : ООО "Буква", 2014
В докладах научно-технической конференции нашли отражение результаты теоретических и экспериментальных исследований в области электродинамики и микроволновой техники, микроволновой электроники, наноэлектроники, силовой электроники, полупроводниковой электроники, электроэнергетики, систем измерительной и медицинской техники. Излагаются результаты исследования резонаторных и замедляющих систем, устройств СВЧ, приборов вакуумной, плазменной и микроэлектроники, технологические вопросы изготовления изделий электронной техники. Сборник состоит из двух томов ...
Added: October 3, 2014
Н. Новгород : ИПФ РАН, 2023
Том 1
Секция 1 Сверхпроводящие наносистемы
Секция 2 Магнитные наноструктуры
Секция 4 Измерения и технологии атомарного и нанометрового масштаба на основе зондовых, электронно-лучевых и ионно-лучевых методов
Секция 6 Твердотельная элементная база квантовых технологий ...
Added: March 26, 2023
Arutyunov K., Уфа: НИЦ «Аэтерна», 2020
Physical limitations and trends in nanoelectronics development ...
Added: January 25, 2021
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2014
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVIII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 10–14 марта 2014 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2014 ...
Added: February 24, 2017
М. : НИЯУ МИФИ, 2013
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 15-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 25 – 28 июня 2013 г.).
Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, НИИСИ РАН, а также специалистами других научно-исследовательских организаций и вузов.
Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области современной ...
Added: June 10, 2013
Блохина Ю. В., Ilin A., Биоорганическая химия 2021 Т. 47 № 6 С. 768-774
Патентная литература представляет собой неотъемлемую и значительную часть знаний человечества, пренебрежение которой может негативным образом сказаться на качестве работы исследователя. Поиск по патентным базам помогает как разыскивать подробные технические данные об объектах или процессах, так и оценивать возможности патентования собственных разработок. При этом подобный поиск несколько отличается от использования стандартных интернет-поисковиков или систем научного цитирования. ...
Added: October 28, 2021
М. : ГУ ВНИИТЭ ("Всероссийский научно-исследовательский институт технической эстетики"), 2010
Сборник трудов по тематическому направлению развитие ННС «Наноэлектроника» подготовлен в рамках работ по федеральной целевой программе «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2010 годы» по Государственному контракту Всероссийская школа семинар студентов, аспирантов и молодых ученых по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети «Наноэлектроника» от 11 октября 2010 г. №16.647.12.2001 Шифр «2010-02-2.3-01».
Сборник трудов по тематическому ...
Added: April 12, 2012
М. : НИЯУ МИФИ, 2011
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 13-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 27 июня – 1 июля 2011 г.). Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, а также специалистами других вузов и научно-исследовательских организаций. Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области ...
Added: February 19, 2013
ИППМ РАН, 2021
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X
Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки
перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.).
Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами
российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными
сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций
и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021
М., Зеленоград : ИППМ РАН, 2018
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
Washington : SPIE, 2021
Proceedings of the SPIE Optics + Optoelectronics conference on Integrated Optics: Design, Devices, Systems and Applications VI, 19–23 April 2021 Online Only, Czech Republic. Proc. SPIE volume 11775. ...
Added: August 30, 2021
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E. et al., Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России 2012 № 3 С. 77-85
Рассмотрены аналитические модели, позволяющие осуществить возможность исследования свойств и особенностей предпочтительных вариантов и помогающие выбрать направление опроса проектировщиков оборудования ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство с использованием эффекта обращения волнового фронта, обеспечивающее создание высоконаправленных пучков, которое позволяет повысить производительность нанесения нанодорожек на подложку. ...
Added: December 14, 2012
Trubochkina N. K., М. : Юрайт, 2016
The book presents the basic concepts of the theory of transition circuitry required for the development of a new element base of different types of supercomputers. The theory of transition circuitry differentiates the new concept of synthesis of nanostructures, in which the minimum component in the synthesis is not a transistor, but the material and ...
Added: February 13, 2017
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2013
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 11–15 марта 2013 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2013 ...
Added: February 26, 2017
М. : НИЯУ МИФИ, 2009
Конференция включала работу 3-х секций: 1) Проектирование СБИС, Наноэлектроника; 2) Электронные системы; 3) Радиационная стойкость электронных устройств и систем .
Результаты исследований, представленных в сборнике, будут интересны специалистам в области современной электроники, а также аспирантам и студентам старших курсов электронных специальностей. ...
Added: August 11, 2013
SPIE, 2019
THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2018 1-5 October 2018 Zvenigorod, Russian Federation ...
Added: November 30, 2019
Blokhina Y. V., Ilin A., Russian Journal of Bioorganic Chemistry 2021 Vol. 47 No. 6 P. 1225-1230
Patent literature is an integral and significant part of human knowledge, the disrespect for which can negatively affect the quality of a researcher’s work. A search in patent databases helps both to look for detailed technical data on objects or processes and to evaluate the possibility of patenting one’s own results. At the same time, ...
Added: October 28, 2021
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2020
Труды ХХIV Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 10-13 марта 2020, Нижний Новгород, в двух томах, т1 и т.2, ...
Added: November 9, 2020