• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Повышение разрешающей способности проекционной литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
June 5, 2026
Neural Network Maps as a Method for Constructing Mathematical Models
Scientists from HSE University–Nizhny Novgorod and the Institute of Physics Belgrade, Serbia, are jointly exploring the application of machine learning techniques and neural networks to the study of nonlinear dynamics. Natalya Stankevich, Leading Research Fellow at the Laboratory of Topological Methods in Dynamics of the Faculty of Informatics, Mathematics, and Computer Science at HSE University–Nizhny Novgorod, spoke to the HSE News Service about this international project.
June 5, 2026
‘In the Age of Technology, It Is Interesting to Look into the Past and Think about What We Can Take from It
Polina Tabakova decided to apply for a Philology degree at HSE in Nizhny Novgorod because she grew up in Mari El and did not want to move far away from the Russian forests. In an interview for the Young Scientists of HSE University project, she spoke about the genre of the campus novel, the existential drama of Kolobok, and a blackout version of Eugene Onegin.
June 5, 2026
HSE Scientists Develop Method to Compress Large Language Models Without Losing Quality
Researchers from the AI and Digital Science Institute at the HSE Faculty of Computer Science have developed a new compression method for large language models such as GPT and LLaMA that reduces their size by 25–36% without additional training or significant loss of accuracy. This is the first approach to use mathematical transformations—specifically, rotations of model weights—to make models more amenable to compression with structured matrices. The study results have been published in ACL Findings 2025. The code is available on GitHub.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Повышение разрешающей способности проекционной литографии

С. 300–301.
Костомаров П. С.
Language: Russian
Full text
Keywords: микроэлектроникатехнологическая дефектность процессаМетод иммерсииоборудование литографииультрафиолетовое излучениекогерентный волновой пучокдорожки нанометрового диапазона

In book

Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ
М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012.
Similar publications
Исследование влияния температуры и мощности на интенсивность отказов транзистора
Chashkin L., Polesskiy S., Tumkovskiy S., В кн.: Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.: М.: Техносфера, 2025. С. 273–274.
Данное исследование анализирует взаимосвязь температуры и мощности в германиевом транзисторе МП37, выявляя их совместное влияние на интенсивность отказов через экспериментальные измерения и цифровое моделирование с использованием цифрового двойника. Основным результатом стало обнаружение критической точки температуры, после которой характер зависимости интенсивности отказов от температуры изменяется. ...
Added: October 24, 2025
Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.
М.: Техносфера, 2025.
В выпуск включены тезисы докладов конференции, освещающие актуальные вопросы разработки, производства и применения электронной компонентной базы и электронных модулей. ...
Added: October 24, 2025
Analysis of the Preflare Phase of Eruptive and Noneruptive Flares Using Data on the Spatial Dynamics of Coronal Magnetic Structures and Their Microwave and Ultraviolet Emission
I. A. Bakunina, Melnikov V. F., Shain A. V. et al., Geomagnetism and Aeronomy 2022 Vol. 62 No. 8 P. 1066–1072
The dynamics of the preflare phase of microwave and ultraviolet emission for M-class X-ray flares in three active regions (ARs), two flares with coronal mass ejections (CMEs) and one flare without a CME, were considered. Extrapolation of the magnetic field in the AR corona showed that eruptive events were associated with the formation of a ...
Added: February 16, 2023
Пространственные и временные особенности поведения микроволнового и ультрафиолетового излучения в эруптивных событиях
Bakunina I. A., Мельников В. Ф., Шаин А. В. et al., Известия Крымской астрофизической обсерватории 2022 Т. 118 № 1 С. 65–74
To date, observational signs that determine the ability of  solar active region to cause an eruption of matter into the high layers of the solar corona (CME) are not entirely clear. This makes it difficult to understand the physical mechanism of the CME trigger. This paper presents a search for observational signs that may indicate ...
Added: March 23, 2022
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021
Спецвыпуск Наноиндустрия. Российский форум "Микроэлектроника-2021". 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Сборник тезисов
М.: Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2021.
Российский форум «Микроэлектроника-2021» 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов Республика Крым, г. Алушта, 03–09 октября 2021 г. ...
Added: October 31, 2021
Features of the Behavior of Microwave and Ultraviolet Emission of Solar Active Regions in Relation to Eruptive and Confined Flares
Bakunina I. A., Melnikov V. F., Abramov-Maximov V. E. et al., Geomagnetism and Aeronomy 2021 Vol. 61 No. 8 P. 1159–1171
In this study, a comparative analysis was carried out on the preflare and flare conditions for six flares accompanied by coronal mass ejections (CMEs) and five events not accompanied by CMEs. All of the events occurred in the period 2011–2014. The features of the spatial dynamics of microwave emission of active regions (data from the ...
Added: October 29, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Added: October 25, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Added: August 26, 2021
Международный форум «Микроэлектроника-2020». Школа молодых ученых. Сборник тезисов. Республика Крым, г. Ялта, 21-25 сентября 2020 г.
М.: МАКС Пресс, 2020.
This issue provides abstracts of XIII International Conference «Silicon – 2020» and XII Young Scientists Scholarship participants presentations devoted to the actual problems of silicon electronics and nano-devices. Presentations touch issues of advanced electronic elements, their fabrication processes and the way of application. Beside traditional topics of silicon bulk, surface and interface interaction influence upon ...
Added: November 29, 2020
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2020).
ИППМ РАН, 2020.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: September 29, 2020
Наноиндустрия. Специальный выпуск: Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули"
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020.
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Added: June 26, 2020
XVIII Научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 24 - 27 июня 2019 года, г. Суздаль, Россия
НИИСИ РАН, 2019.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук». Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Added: March 15, 2020
Proceedings of SPIE 11022. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
SPIE, 2019.
THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2018 1-5 October 2018 Zvenigorod, Russian Federation ...
Added: November 30, 2019
XVII Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 14 - 18 мая 2018 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2018.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 17-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 14 по 18 мая 2018 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», а также ООО «Галактический поток», при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант РФФИ № 18-07-20020). Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников ...
Added: November 7, 2018
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2018)
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2018.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
XVI Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 3 - 7 июля 2017 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2017.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 16-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 3 по 7 июля 2017 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», Московским научно-техническим обществом радиотехники, электроники и связи имени А.С. Попова при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант ...
Added: September 13, 2017
Современные сверхпроводниковые устройства
Chulkova G., Физика в школе 2015 № 8 С. 49–53
The article treats of one of the current trends of microelectronics, which can be a basis for creation of elective courses or project studies of the students. The article gives the basic theoretical principles and practical applications ...
Added: October 19, 2016
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем Сборник трудов конференции (МЭС-2016). Сборник трудов
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2016.
отсутствует ...
Added: September 27, 2016
Сб. трудов Международной конференции "Интегральные схемы и микроэлектронные модули -- проектирование, производство и применение" (Микроэлектроника -- 2015)
М.: Техносфера, 2016.
В сборник включены  тезисы докладов конференции, освещающие актуалные вопросы разаработки, производства и применения отечественных интегральных схем и высокоинтегрированных микроэлектронных модулей. ...
Added: April 13, 2016
2nd International Conference on Modeling Identification and Control. MIC 2015
P.: Atlantis Press, 2015.
Added: February 20, 2016
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit