• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Формирование нанообъектов литографическим методом
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
May 15, 2026
Preserving Rationality in a Period of Turbulence
The HSE International Laboratory for Logic, Linguistics and Formal Philosophy studies logic and rationality in a transformed world characterised by a diversity of logical systems and rational agents. The laboratory supports and develops academic ties with Russian and international partners. The HSE News Service spoke with the head of the laboratory, Prof. Elena Dragalina-Chernaya, about its work.
May 15, 2026
‘All My Time Is Devoted to My Dissertation
Ilya Venediktov graduated from the Master’s programme at the HSE Tikhonov Moscow Institute of Electronics and Mathematics through the combined Master’s–PhD track and is currently studying at the HSE Doctoral School of Engineering Sciences. At present, he is undertaking a long-term research internship at the University of Science and Technology of China in Hefei, where he is preparing his dissertation. In this interview, he explains how an internship differs from an academic mobility programme, discusses his research topic, and describes the daily life of a Russian doctoral student in China.
May 15, 2026
‘What Matters Is Not What You Study, but Who You Study with
Katerina Koloskova began studying Arabic expecting to give it up after a year—now she cannot imagine her life without it. In an interview for the Young Scientists of HSE University project, she spoke about two translated books, an expedition to Socotra, and her love for Bethlehem.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Формирование нанообъектов литографическим методом

С. 302–303.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
Language: Russian
Full text
Keywords: лазерное излучениеультрафиолетовое излучениедорожки нанометрового диапазоналитографическая технология

In book

INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
Ч. 2. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Similar publications
Государственный первичный эталон единицы средней мощности лазерного излучения ГЭТ 28-2022
Иванов В. С., Krutikov V., Микрюков А. С. et al., Измерительная техника 2023 № 4 С. 5–10
The article presents the metrology of high-intensity laser radiation for technological and special equipment. A laser power stabilization system with an output power of 2-1·104 W has been developed and studied. The presented stabilization system makes it possible to reduce the error in the transmission of a unit of average laser radiation power when using ...
Added: February 5, 2024
Analysis of the Preflare Phase of Eruptive and Noneruptive Flares Using Data on the Spatial Dynamics of Coronal Magnetic Structures and Their Microwave and Ultraviolet Emission
I. A. Bakunina, Melnikov V. F., Shain A. V. et al., Geomagnetism and Aeronomy 2022 Vol. 62 No. 8 P. 1066–1072
The dynamics of the preflare phase of microwave and ultraviolet emission for M-class X-ray flares in three active regions (ARs), two flares with coronal mass ejections (CMEs) and one flare without a CME, were considered. Extrapolation of the magnetic field in the AR corona showed that eruptive events were associated with the formation of a ...
Added: February 16, 2023
Nonlinear focusing of terahertz laser beam using a layered superconductor
Ovcharenko H. V., Maizelis Z. A., Apostolov S. S. et al., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 17 Article 174511
We theoretically study the propagation of a terahertz (THz) Gaussian beam through a thin sample of layered superconductor. We consider the beam axis and the superconducting layers to be perpendicular to the sample interface, while the electric field in the beam is perpendicular to the layers. We show that, in such a geometry, the Josephson ...
Added: February 6, 2023
Influence of a nonuniform thermal quench and circular polarized radiation on spontaneous current generation in superconducting rings
Lounis B., Buzdin A. I., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 105 No. 2 Article L020504
We theoretically study the nonequilibrium dynamics of the order parameter of a superconducting ring inhomogeneously quenched through its transition temperature. Numerical simulations based on spectral decomposition of the time-dependent Ginzburg-Landau equation reveal that current-carrying superconducting states can be generated in the ring under certain fast local temperature quench conditions. We also show that illumination of ...
Added: December 10, 2022
Пространственные и временные особенности поведения микроволнового и ультрафиолетового излучения в эруптивных событиях
Bakunina I. A., Мельников В. Ф., Шаин А. В. et al., Известия Крымской астрофизической обсерватории 2022 Т. 118 № 1 С. 65–74
To date, observational signs that determine the ability of  solar active region to cause an eruption of matter into the high layers of the solar corona (CME) are not entirely clear. This makes it difficult to understand the physical mechanism of the CME trigger. This paper presents a search for observational signs that may indicate ...
Added: March 23, 2022
Features of the Behavior of Microwave and Ultraviolet Emission of Solar Active Regions in Relation to Eruptive and Confined Flares
Bakunina I. A., Melnikov V. F., Abramov-Maximov V. E. et al., Geomagnetism and Aeronomy 2021 Vol. 61 No. 8 P. 1159–1171
In this study, a comparative analysis was carried out on the preflare and flare conditions for six flares accompanied by coronal mass ejections (CMEs) and five events not accompanied by CMEs. All of the events occurred in the period 2011–2014. The features of the spatial dynamics of microwave emission of active regions (data from the ...
Added: October 29, 2021
Исследование комплексного воздействия интенсивных потоков ионов аргона и импульсного лазерного излучения на поверхность ванадия и сплавов на его основе
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. et al., Вопросы атомной науки и техники. Термоядерный синтез 2021 Т. 44 № 3 С. 82–93
В работе представлен обзор исследований о влиянии интенсивных потоков ионов аргона и мощного импульсного лазерного излучения на свойства: микротвёрдость, радиационную эрозию, структурные изменения, сопротивление коррозии в жидком литии, а также изменение топографии поверхности в условиях отдельного и последовательного облучения ионами Ar+ и лазер-ного излучения малоактивируемых сплавов ванадия (V—0,59Ga; V—1,86Ga; V—3,49Ga; V—3,4Ga—0,62Si; V—4,51Ga—5,66Cr; V—4,8Ti—4,82Cr) в сравнении ...
Added: October 7, 2021
Разработка и исследование туннельных p-i-n-диодов GaAs/AlGaAs для многопереходных преобразователей мощного лазерного излучения
Калиновский В. С., Контрош Е. В., Климко Г. В. et al., Физика и техника полупроводников 2020 № 3 С. 285–291
Создание соединительных туннельных диодов с высокой плотностью пикового туннельного тока, превышающей плотность тока короткого замыкания фотоактивных p-n-переходов, является важной задачей при разработке многопереходных фотопреобразователей (AIIIBV) мощного оптического излучения. На основе результатов численного моделирования вольт-амперных характеристик туннельных диодов предложен способ повышения плотности пикового туннельного тока путем включения между вырожденными слоями туннельного диода тонкого нелегированного i-слоя толщиной ...
Added: November 13, 2020
Синергетические эффекты в поверхностных слоях сплава V-10Ti-6Cr-0,05Zr-0,1Si в условиях раздельного и последовательного воздействия ионов аргона и импульсного лазерного излучения
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. et al., В кн.: Труды ХХХ Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 22 августа – 29 августа 2020г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2020. С. 440–447.
Added: September 10, 2020
Оптика и спектроскопия единичной плазмонной наноструктуры
Balykin V. I., Melentiev P. N., Успехи физических наук 2018 Т. 188 № 2 С. 143–168
Рассматривается взаимодействие лазерного света с единичными плазмонными наноструктурами. Из-за чрезвычайно слабого оптического отклика единичной наноструктуры исследования в наноплазмонике до недавнего времени осуществлялись с ансамблями наночастиц. В ансамбле наночастиц как структурные, так и материальные параметры варьируются от одной наночастицы к другой, поэтому оптический отклик является усреднённым по ансамблю. Измерения на уровне единичных наноструктур являются эффективным методом ...
Added: February 4, 2019
Воздействие импульсных потоков энергии на алюминиевые образцы с керамическим покрытием на основе оксида Al2O3
Епифанов Н. А., В кн.: Тезисы докладов XLVII Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, МГУ, 30 мая – 1 июня 2017). М. МГУ, 2017.: КДУ, 2017.
Исследованы особенности повреждаемости керамического покрытия толщиной 20 мкм на основе оксида Al2O3 со структурой γ-корунда на алюминиевой подложке при импульсном воздействии концентрированных потоков энергии различной природы. Показано, что при воздействии лазерного излучения в милисекундном и наносекундном диапазонах длительности импульса на полупрозрачное керамическое покрытие происходит отславивание керамического слоя от металлической подложки. Экспериментально оценены пороговые значения плотности потока ...
Added: December 19, 2018
Damage of Al2O3 Ceramics under the Action of Pulsed Ion and Plasma Fluxes and Laser Irradiation
Maslyaev S. A., Morozov E. V., Romakhin P.A. et al., Inorganic Materials: Applied Research 2016 Vol. 7 No. 3 P. 330–339
Alumina ceramics with corundum structure (α-Аl2О3) manufactured by powder technology method was irradiated by pulsed ion beams and high-temperature plasma in Plasma Focus device and by free running mode laser radiation. Irradiation in the PF-5M device was carried out with nitrogen and air working gases with power flux density for the plasma flow q ≈ ...
Added: May 17, 2016
Low Pressure Microwave Discharge of AR/HG Mixture
Barkhudarov E. M., Denisova N. V., Kossyi I. A. et al., Инженерная физика 2013 No. 11 P. 42–46
The results from experimental and theoretical research of the characteristics of microwave discharge performed at a low pressure of argon-mercury mixture in a coaxial waveguide are presented. The discharge is formed and maintained due to the transformation of microwave radiation into a surface wave propagating along the boundary between plasma and dielectric. The electron density ...
Added: July 13, 2015
Повреждаемость оксида алюминия мощными импульсными потоками ионов, плазмы и лазерного излучения
Масляев С. А., Морозов Е. В., Romakhin P. et al., Физика и химия обработки материалов 2015 № 3 С. 5–17
Представлены результаты облучения керамики на основе оксида алюминия со структурой корунда (α-Аl2О3), приготовленной методом порошковой металлургии, импульсными потоками ионов и высокотемпературной плазмы с использованием установки Плазменный фокус (ПФ), а также лазерного  излучения (ЛИ) режиме свободной генерации. Облучение в установке ПФ-5М проводилось в атмосфере азота и воздуха при плотности мощности излучения для потока плазмы q ≈ ...
Added: May 28, 2015
Влияние режимов лазерного удаление тонких пленок с поверхности стекла на его оптические характеристики
Lapshinov B. A., Физика и химия обработки материалов 2014 № 2 С. 9–13
It was investigated influence of modes of laser removal of thin films from a surface of glass К8 on change of its transparent coefficient. Removal of thin films was made at various lengths of impulses of laser radiation - 200 mks, 100 ns and 12 ns. ...
Added: May 27, 2014
Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине. Труды XIV межвузовской научной школы молодых специалистов
М.: Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, 2013.
В трудах школы рассмотрены физические основы концентрированных потоков энергии и их воздействия на материалы и изделия космической техники, методы обработки материалов концентрированным излучением, воздействие лазерного и микроволнового излучения на вещество, концентрированные потоки энергии в экологии и медицине, в электронике, проблемы физики нейтрино и ядерной спектроскопии. ...
Added: November 28, 2013
Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования
Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Added: October 22, 2013
Применение литографических технологий для обработки генетической информации в молекулах ДНК и РНК
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: May 17, 2013
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Added: May 17, 2013
Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306–307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Added: February 8, 2013
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit