• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Критерий качества в УФ – литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
July 16, 2026
Team Success: Aligning Means with Objectives
In corporations, sports, and academia, people often face challenges they cannot handle alone. In such cases, selecting the right team is crucial. Tatiana Mayskaya, Associate Professor at the HSE Faculty of Economic Sciences and the International College of Economics and Finance, together with colleagues from foreign universities, examined team characteristics and found that less diverse teams are better suited to objectives where a high average performance is important, whereas more diverse teams are preferable when avoiding failure is critical. The paper has been published in Economic Theory.
July 15, 2026
Economists Propose More Effective Approach to Reducing Smoking
Economists at HSE University have examined how smokers respond to changes in cigarette prices. When tobacco prices increase, cigarette consumption does not always decline. In fact, spending on tobacco may even rise: according to the researchers, a 1% decrease in cigarette affordability leads to a 0.28% increase in per capita tobacco expenditure. The findings suggest that to reduce smoking rates, tobacco prices must rise faster than household incomes. The study has been published in Voprosy Statistiki.
July 15, 2026
HSE MIEM Students to Develop Two Satellites from Scratch for Orbital Experiments
The devices, created by student teams, will conduct space research on the properties of promising solar cells, on-board energy storage systems, and serial electronics for student satellites.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Критерий качества в УФ – литографии

С. 75–78.
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Stepanchikov S. V.
Language: Russian
Keywords: микроэлектроникаоценка качестваустройство для формирования изображениятехнологическое оборудование ультрафиолетовой литографии

In book

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Ч. 7: Проблемы надежности и качества. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.
Similar publications
Russian Microelectronics, vol. 54, 2025
Nauka, 2025.
Russian Microelectronics is a peer-reviewed journal devoted to technological, physical, and circuit engineering aspects of micro- and nanoelectronics. Special attention is paid to new trends in lithography (optical, X-ray, electron, ion), etching, doping, deposition, and planarization at the submicron and nanometer scales. The journal also encompasses an array of topics, including beam and plasma technologies, molecular ...
Added: July 1, 2026
Оценка качества использования больших языковых моделей в задачах машинного перевода
Mylnikova A., Mylnikov L., Научно-техническая информация. Серия 2: Информационные процессы и системы 2026 № 2 С. 24–33
Представлены результаты сравнительной оценки качества машинного перевода, выполненного большими языковыми моделями (LLM): DeepSeek, Grok, Mistral, Qwen, GigaChat, Yandex, на основе перевода выразительных языковых средств (фразеологизмов, омонимов, каламбуров и т.д.) и текстов различных функциональных стилей. Качество перевода оценивалось количественно с помощью метрик когерентности (BLEU, METEOR, chrF) и качественно — путем экспертного анализа на соответствие критериям адекватности, ...
Added: February 27, 2026
Экспертный подход в оценке качества онлайн-курсов
Belova P., В кн.: Подготовка экспертов гуманитарных специальностей в современных реалиях.: М.: Государственный институт русского языка им. А.С. Пушкина, 2025. С. 55–60.
This article raises the currently relevant problem of determining the quality of online courses, identifies the possibility of involving an expert-linguist in the analysis of course materials and introduces a new type of linguistic expertise aimed at establishing compliance of the information provided with the declared course program. ...
Added: February 4, 2026
Lost and found: преподаватели вузов об изменении качества образования
Ananin D., Баранников К. А., Стрикун Н. Г. et al., Университетское управление: практика и анализ 2023 Т. 27 № 1 С. 12–22
The article considers last three years’ changes of higher education quality from the perspective of university teachers as key actors of an educational process. The study focuses on the main factors influencing the quality of higher education and the nature of changes in the post-pandemic educational environment, in particular, through the use of digital solutions. ...
Added: November 19, 2025
Исследование влияния температуры и мощности на интенсивность отказов транзистора
Chashkin L., Polesskiy S., Tumkovskiy S., В кн.: Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.: М.: Техносфера, 2025. С. 273–274.
Данное исследование анализирует взаимосвязь температуры и мощности в германиевом транзисторе МП37, выявляя их совместное влияние на интенсивность отказов через экспериментальные измерения и цифровое моделирование с использованием цифрового двойника. Основным результатом стало обнаружение критической точки температуры, после которой характер зависимости интенсивности отказов от температуры изменяется. ...
Added: October 24, 2025
Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.
М.: Техносфера, 2025.
В выпуск включены тезисы докладов конференции, освещающие актуальные вопросы разработки, производства и применения электронной компонентной базы и электронных модулей. ...
Added: October 24, 2025
Совершенствование информационного цикла управления телекоммуникационными системами путем внедрения методов и способов оценки качества
Билятдинов К. З., Meniailo V. V., Орлов И. В., Вестник воздушно-космической обороны 2024 № 1(41) С. 100–107
В работе представлены схема декомпозиции информационных процессов, схемы информационных циклов управления, схема принятия управленческих решений по результатам оценки качества телекоммуникационных систем и схема реализации систем поддержки принятия решений в системах управления телекоммуникационных систем, имеющих в своем составе мультиагентные системы. Совершенствование информационных циклов управления основано на использовании цикла Дёминга (PDCA), информационных ресурсов, а также апробированных методов и ...
Added: April 19, 2024
Возможности применения количественного анализа для оценки эффективности в социальной работе: кейс социальных технологий оказания социальной помощи семьям с детьми
Aleksandrova M., Мониторинг общественного мнения: Экономические и социальные перемены 2023 № 5 С. 26–49
Measuring the effectiveness of social work is a relevant applied task given the continuous growth of interest in the assessment and development of professional standards and other as­pects of the provision of social services. Studies show that the evaluation of so­cial services might sometimes produce significantly different results, depending on the methods of measurement and ...
Added: December 5, 2023
Применение многомерного статистического анализа в экономике и оценке качества: XII Международная научная конференция им. С. А. Айвазяна
М.: Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", 2022.
Added: January 12, 2023
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021
Спецвыпуск Наноиндустрия. Российский форум "Микроэлектроника-2021". 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Сборник тезисов
М.: Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2021.
Российский форум «Микроэлектроника-2021» 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов Республика Крым, г. Алушта, 03–09 октября 2021 г. ...
Added: October 31, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Added: October 25, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Added: August 26, 2021
Международный форум «Микроэлектроника-2020». Школа молодых ученых. Сборник тезисов. Республика Крым, г. Ялта, 21-25 сентября 2020 г.
М.: МАКС Пресс, 2020.
This issue provides abstracts of XIII International Conference «Silicon – 2020» and XII Young Scientists Scholarship participants presentations devoted to the actual problems of silicon electronics and nano-devices. Presentations touch issues of advanced electronic elements, their fabrication processes and the way of application. Beside traditional topics of silicon bulk, surface and interface interaction influence upon ...
Added: November 29, 2020
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2020).
ИППМ РАН, 2020.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: September 29, 2020
Наноиндустрия. Специальный выпуск: Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули"
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020.
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Added: June 26, 2020
XVIII Научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 24 - 27 июня 2019 года, г. Суздаль, Россия
НИИСИ РАН, 2019.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук». Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Added: March 15, 2020
Proceedings of SPIE 11022. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
SPIE, 2019.
THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2018 1-5 October 2018 Zvenigorod, Russian Federation ...
Added: November 30, 2019
Integrated information system for the assessment of quality and organizational sustainability of the mining industry
Prokofyeva E. N., Vostrikov A. V., Starykh V., , in: 2019 International Science and Technology Conference "EastСonf" (March, 1-2 2019).: IEEE, 2019. P. 1–4.
The most competitive in the current global market remains products of extractive industries, which determines the increased attention to the problems of functioning of these industries and clarify the terms of their most sustainable development. Unique mineral-raw material complex of Russia can ensure the continued economic development of the state only on condition of effective ...
Added: March 5, 2019
XVII Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 14 - 18 мая 2018 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2018.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 17-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 14 по 18 мая 2018 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», а также ООО «Галактический поток», при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант РФФИ № 18-07-20020). Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников ...
Added: November 7, 2018
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2018)
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2018.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
XVI Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 3 - 7 июля 2017 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2017.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 16-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 3 по 7 июля 2017 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», Московским научно-техническим обществом радиотехники, электроники и связи имени А.С. Попова при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант ...
Added: September 13, 2017
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit