• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Критерий качества в УФ – литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2028
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
October 5, 2026
‘The Climate Transition Is Not Necessarily a Limitation for Business
Linara Khadimullina works in the field of low-carbon development. In an interview with the Young Scientists of HSE project, she spoke about why nature is not just a beautiful backdrop, her research on the role of sustainable corporate governance in reducing greenhouse gas emissions, and growing plants as a source of inspiration.
October 5, 2026
Africa, Youth, and Civic Dialogue: Public Diplomacy Discussed at HSE University
In late September, HSE University hosted a roundtable discussion titled Civil Society in African Countries and Youth Participation in Public Diplomacy. Representatives of non-governmental organisations from Ghana, Ethiopia, and Russia, along with students from HSE University’s Bachelor’s Programme in Public Administration, discussed how young people without official diplomatic status can influence relations between countries and how the nonprofit sector can remain sustainable amid declining grant funding.
October 1, 2026
HSE Researchers Show How Congenital Motor Disorders Affect Brain Development
Researchers from HSE University’s Institute for Cognitive Neuroscience have synthesised the findings of their previous studies on brain development in children with obstetric brachial plexus palsy and arthrogryposis. Their analysis shows that impaired motor function in early childhood not only limits children’s motor experience but also affects memory, categorical thinking, and information processing. The study has been published in Frontiers in Psychology.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Критерий качества в УФ – литографии

С. 75–78.
Балан Н. Н., Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Stepanchikov S. V.
Language: Russian
Keywords: микроэлектроникаоценка качестваустройство для формирования изображениятехнологическое оборудование ультрафиолетовой литографии

In book

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Ч. 7: Проблемы надежности и качества. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.
Similar publications
Микроэлектроника и информатика-2021 28-я всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов (Зеленоград, 29-30 апреля 2021 г.). тезисы докладов
М.: МИЭТ, 2021.
Микроэлектроника и информатика-2021 28-я всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов (Зеленоград, 29-30 апреля 2021 г.)., тезисы докладов / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". — Москва : МИЭТ, 2021. — 251 с.; 20. — ISBN 978-5-7256-0964-6. ...
Added: September 25, 2026
Оценка качества использования больших языковых моделей в задачах машинного перевода
Mylnikova A., Mylnikov L., Научно-техническая информация. Серия 2: Информационные процессы и системы 2026 № 2 С. 24–33
Представлены результаты сравнительной оценки качества машинного перевода, выполненного большими языковыми моделями (LLM): DeepSeek, Grok, Mistral, Qwen, GigaChat, Yandex, на основе перевода выразительных языковых средств (фразеологизмов, омонимов, каламбуров и т.д.) и текстов различных функциональных стилей. Качество перевода оценивалось количественно с помощью метрик когерентности (BLEU, METEOR, chrF) и качественно — путем экспертного анализа на соответствие критериям адекватности, ...
Added: February 27, 2026
Экспертный подход в оценке качества онлайн-курсов
Belova P., В кн.: Подготовка экспертов гуманитарных специальностей в современных реалиях.: М.: Государственный институт русского языка им. А.С. Пушкина, 2025. С. 55–60.
This article raises the currently relevant problem of determining the quality of online courses, identifies the possibility of involving an expert-linguist in the analysis of course materials and introduces a new type of linguistic expertise aimed at establishing compliance of the information provided with the declared course program. ...
Added: February 4, 2026
Lost and found: преподаватели вузов об изменении качества образования
Ananin D., Баранников К. А., Стрикун Н. Г. et al., Университетское управление: практика и анализ 2023 Т. 27 № 1 С. 12–22
The article considers last three years’ changes of higher education quality from the perspective of university teachers as key actors of an educational process. The study focuses on the main factors influencing the quality of higher education and the nature of changes in the post-pandemic educational environment, in particular, through the use of digital solutions. ...
Added: November 19, 2025
Исследование влияния температуры и мощности на интенсивность отказов транзистора
Chashkin L., Polesskiy S., Tumkovskiy S., В кн.: Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.: М.: Техносфера, 2025. С. 273–274.
Данное исследование анализирует взаимосвязь температуры и мощности в германиевом транзисторе МП37, выявляя их совместное влияние на интенсивность отказов через экспериментальные измерения и цифровое моделирование с использованием цифрового двойника. Основным результатом стало обнаружение критической точки температуры, после которой характер зависимости интенсивности отказов от температуры изменяется. ...
Added: October 24, 2025
Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.
М.: Техносфера, 2025.
В выпуск включены тезисы докладов конференции, освещающие актуальные вопросы разработки, производства и применения электронной компонентной базы и электронных модулей. ...
Added: October 24, 2025
Совершенствование информационного цикла управления телекоммуникационными системами путем внедрения методов и способов оценки качества
Билятдинов К. З., Meniailo V. V., Орлов И. В., Вестник воздушно-космической обороны 2024 № 1(41) С. 100–107
В работе представлены схема декомпозиции информационных процессов, схемы информационных циклов управления, схема принятия управленческих решений по результатам оценки качества телекоммуникационных систем и схема реализации систем поддержки принятия решений в системах управления телекоммуникационных систем, имеющих в своем составе мультиагентные системы. Совершенствование информационных циклов управления основано на использовании цикла Дёминга (PDCA), информационных ресурсов, а также апробированных методов и ...
Added: April 19, 2024
Возможности применения количественного анализа для оценки эффективности в социальной работе: кейс социальных технологий оказания социальной помощи семьям с детьми
Aleksandrova M., Мониторинг общественного мнения: Экономические и социальные перемены 2023 № 5 С. 26–49
Measuring the effectiveness of social work is a relevant applied task given the continuous growth of interest in the assessment and development of professional standards and other as­pects of the provision of social services. Studies show that the evaluation of so­cial services might sometimes produce significantly different results, depending on the methods of measurement and ...
Added: December 5, 2023
Применение многомерного статистического анализа в экономике и оценке качества: XII Международная научная конференция им. С. А. Айвазяна
М.: Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", 2022.
Added: January 12, 2023
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций и вузов, работающих ...
Added: November 12, 2021
Спецвыпуск Наноиндустрия. Российский форум "Микроэлектроника-2021". 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Сборник тезисов
М.: Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2021.
Российский форум «Микроэлектроника-2021» 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов Республика Крым, г. Алушта, 03–09 октября 2021 г. ...
Added: October 31, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Added: October 25, 2021
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Added: August 26, 2021
Международный форум «Микроэлектроника-2020». Школа молодых ученых. Сборник тезисов. Республика Крым, г. Ялта, 21-25 сентября 2020 г.
М.: МАКС Пресс, 2020.
This issue provides abstracts of XIII International Conference «Silicon – 2020» and XII Young Scientists Scholarship participants presentations devoted to the actual problems of silicon electronics and nano-devices. Presentations touch issues of advanced electronic elements, their fabrication processes and the way of application. Beside traditional topics of silicon bulk, surface and interface interaction influence upon ...
Added: November 29, 2020
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2020).
ИППМ РАН, 2020.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: September 29, 2020
Наноиндустрия. Специальный выпуск: Международный форум "Микроэлектроника-2019". 5-я Международная научная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули"
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020.
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Added: June 26, 2020
XVIII Научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 24 - 27 июня 2019 года, г. Суздаль, Россия
НИИСИ РАН, 2019.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук». Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Added: March 15, 2020
Proceedings of SPIE 11022. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
SPIE, 2019.
THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2018 1-5 October 2018 Zvenigorod, Russian Federation ...
Added: November 30, 2019
Integrated information system for the assessment of quality and organizational sustainability of the mining industry
Prokofyeva E. N., Vostrikov A. V., Starykh V., , in: 2019 International Science and Technology Conference "EastСonf" (March, 1-2 2019).: IEEE, 2019. P. 1–4.
The most competitive in the current global market remains products of extractive industries, which determines the increased attention to the problems of functioning of these industries and clarify the terms of their most sustainable development. Unique mineral-raw material complex of Russia can ensure the continued economic development of the state only on condition of effective ...
Added: March 5, 2019
XVII Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 14 - 18 мая 2018 года, г. Суздаль, Россия
М.: НИИСИ РАН, 2018.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 17-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 14 по 18 мая 2018 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», а также ООО «Галактический поток», при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант РФФИ № 18-07-20020). Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников ...
Added: November 7, 2018
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2018)
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2018.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Added: October 21, 2018
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit