• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
Menu

Book chapter

Возможности и ограничения метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров растущих пленок

С. 112-114.
Егоров А. А., Монахов И. С., Новоселова Е. Г., Смирнов И. С.

The relevance of in situ methods for control of nanoscale films parameters is emphasized . The theoretical basis of the method of in situ X-ray reflectivity is considered. The calculations allowed us to estimate the upper-limit of the film absorption for each X-ray wavelength that restricts possibilities of the method

In book

Возможности и ограничения метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров растущих пленок
Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2012.