• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site

Book chapter

Контроль параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования

Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Монахов И. С.
We report the results of in-situ studying the process of magnetron sputtering of nanoscale films on smooth substrates.

In book

Волгоград: Волгоградский государственный технический университет, 2014.