• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
  • HSE University
  • Publications of HSE
  • Articles
  • Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования

Article

Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.