• A
  • A
  • A
  • ABC
  • ABC
  • ABC
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Regular version of the site
  • HSE University
  • Publications of HSE
  • Articles
  • Датчики давления с уменьшенной температурной погрешностью на основе нано-и микроэлектромеханических систем и частотных интегрирующих развертывающих преобразователей

Article

Датчики давления с уменьшенной температурной погрешностью на основе нано-и микроэлектромеханических систем и частотных интегрирующих развертывающих преобразователей

Николаев Д. П., Васильев В. А., Громков Н. В., Сатыбалдыев О. С.

Pressure sensors on the basis of thin-film tenzorezistorny nano – and microelectromechanical systems with the frequency output signal, steady to influence of temperatures are considered. Original schemes of frequency converters and topology of an arrangement of tenzoelement on a membrane of a sensitive element of the sensor are submitted.