• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Сравнительный анализ вариантов УИУФЛ по показателям с использованием порядковой шкалы оценок

С. 251-252.
Костомаров П. С.

В работе представлено сравнение вариантов устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии (УИУФЛ) по показателям с использованием порядковой шкалы оценок. В перечне предпочтительных вариантов можно найти такие, которые будут обладать высшими оценками по какому-либо локальному показателю. Предложен алгоритм поиска множества независимых вариантов УИУФЛ. Показаны этапы создание автоматизированной подсистемы выбора УИУФЛ.